【課題】バーコーターのワイヤーバーおよびマニホールドを自動的に洗浄することが可能な洗浄ユニットを有する塗布装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも搬送する基材に接するようにワイヤーバーと、ワイヤーバーの下部にマニホールド及びマニホールドに接続される液供給管を備える塗布装置であって、そのワイヤーバー上部に洗浄用流水ノズルと乾燥用エアーノズルを有する洗浄ユニットを備えている塗布装置であって、そのワイヤーバー上部に超音波振動子を有する洗浄流水用ユニットと乾燥用エアーノズルを有する洗浄ユニットを備えていることを特徴とする塗布装置。 （もっと読む）

【課題】基板保持部において、前記基板が嵌入される角型の凹部の洗浄処理に要する時間を短縮し、前記基板へのパーティクルの付着を抑えること。
【解決手段】塗布ユニットは、角型の基板Ｇが嵌入される角型の凹部３を備え、鉛直軸周りに回転自在に設けられたスピンチャックＳを備え、このスピンチャックＳを洗浄するときには、回転されるスピンチャックＳに対して前記凹部の辺に沿って洗浄液ノズル６１から洗浄液を供給し、次いで洗浄液が供給された後のスピンチャックＳ対して、ガスノズルから洗浄液の乾燥を促進させるための乾燥用気体を、前記凹部の辺に沿って供給する。 （もっと読む）

【課題】粒子混合インクに含まれる微小粒子の表面修飾を損傷することなく、且つ単純な装置構成で正確にインク粘度を測定し、インク粘度が増大した場合には、適正なインク粘度に調整可能なインクジェット記録装置を提供することを課題とする。
【解決手段】制御部２１９は、粒子混合インクが供給タンク２０２からＩＪヘッド１０６を介して循環タンク２０３に送液される第１の流路６０４における粒子混合インクの流量変化を、供給タンク２０２と循環タンク２０３に備わる第１液面センサ２２０及び第２液面センサ２２１が検出する液面の高さに基づいて算出する。さらに、算出した流量変化に基づいて、粒子混合インクのインク粘度を算出する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の製造時におけるレジスト吐出ノズルの先端、ノズル先端付近、ノズル内部の先端付近に付着して固着するレジストが、レジスト吐出の際に基板上に剥がれ落ち品質異常を引き起こすことのない確実なノズルの洗浄を行うことができる半導体装置の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造時における半導体基板へのレジスト塗布手段（レジスト吐出ノズル１０４）の洗浄手段（洗浄ノズル１０１）として溶剤による洗浄（第１の管体１０２よりの溶剤）に次いで気体による乾燥（第２の管体１０３よりの気体）をレジスト吐出方向（レジスト吐出ノズル１０４のレジスト吐出方向）と対向する方向より順次行う。 （もっと読む）

【課題】インクとの置換性に優れ、液滴吐出装置のインクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消できる洗浄液、このような洗浄液を用いた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の洗浄液は、インクジェット方式によるカラーフィルターの製造に用いられる、顔料が分散媒に分散したインクの液滴吐出装置を洗浄するための洗浄液であって、溶剤と、所定の酸価を有する酸価分散剤と所定のアミン価を有するアミン価分散剤とを有する分散剤とを含み、溶剤は、インクに含まれる分散媒を構成する成分である液体を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体吐出装置において、液体タンクを交換した後に、交換前の液体と交換後の液体が液体吐出ヘッド内で混合してしまうのを抑制する。
【解決手段】液体吐出装置は、液体の入った複数の液体タンクが着脱可能に装着される、液体タンク装着部と、前記液体タンク装着部に装着された液体タンクから供給された液体を、所定の比率で外部に吐出する、液体吐出ヘッドと、前記液体タンク装着部に装着された液体タンクを別の液体タンクに交換する場合に、前記液体吐出ヘッドに残存している液体を吸引する、第１吸引実行手段と、前記第１吸引実行手段で液体の吸引をした後、前記液体吐出ヘッドに、前記液体吐出ヘッドの洗浄を行うための洗浄用液体の入った洗浄用液体タンクから供給された前記洗浄用液体を吐出させて、洗浄を行う、洗浄実行手段とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】清掃効果の高い液滴吐出ヘッドの清掃装置を提供する。
【解決手段】洗浄液供給機構を備えた洗浄ノズルに洗浄液排出口を設けた液滴吐出ヘッドの清掃装置。 （もっと読む）

【課題】複数の種類の液状体を吐出することが可能であり、液状体供給流路の洗浄が容易な液状体吐出装置を提供する。
【解決手段】液状体を吐出するノズル５２と、前記ノズル５２に前記液状体を供給する供給流路と、前記供給流路に連通し、第１の液状体を収容する第１の収容容器８２と、前記供給流路に連通し、第２の液状体を収容する第２の収容容器６２と、前記第１の液状体の供給と、前記第２の液状体の供給と、を切り替える切り替え手段８６と、を備えた液状体吐出装置。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて大幅にレジスト液の回収を効率化することができ、回収コストを低下してレジスト液のリサイクル率を高めることができるシステムを提供する。
【解決手段】このレジスト液供給回収システムは、スピンコーター２５０などのレジスト液塗布装置と、前記レジスト液塗布装置へレジスト液を供給する目的、及び、前記レジスト液塗布装置から使用済レジスト液を回収する目的で兼用される所定容量の供給兼回収容器である専用容器１と、レジスト液の供給時に用いられ、専用容器１と気密状態で接続可能な供給配管と、使用済レジスト液の回収時に用いられ、専用容器１と気密状態で接続可能な回収配管２５３とを備える。これにより、ユーザー側での回収やリサイクルの設備負担が不要であり、回収費用と労力を大幅に削減できる。 （もっと読む）

【課題】高精度の吐出検査が可能であると共に、吐出検査に対し反応性の機能液を用いるものであっても、機能液滴吐出ヘッドの寿命を延命することができる機能液滴吐出ヘッドの管理方法および機能液滴吐出ヘッドの管理システムを提供する。
【解決手段】機能液を導入して機能液滴吐出ヘッド１の吐出検査を行う検査工程と、検査工程の後、ヘッド内流路１０に洗浄液を通液して機能液滴吐出ヘッド１を洗浄する洗浄工程と、洗浄工程から実描画までの間、ヘッド内流路１０に非反応性の保管液を充填して機能液滴吐出ヘッド１を保管する保管工程と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドに液膜となっているインクのクリーニングと乾燥して固着した状態のスペーサビーズのクリーニングとの２つのクリーニングに対応することを目的とする。
【解決手段】スペーサビーズを含むインクを下方に向けて噴射する複数のノズル３０を１列に配列して設けたインクジェットヘッド２４に付着したインクの液膜を非接触で吸引して除去する吸引機構４３と、インクが乾燥してインクジェットヘッド２４に固着したスペーサビーズを含む固化汚れに洗浄液を供給して洗浄する洗浄機構４２と、を備えている。インクが液膜となって付着している程度であれば、短時間で処理が終了する吸引機構４３を用いた液膜除去のクリーニングを行い、固化汚れとなっている場合には、洗浄効果の高い洗浄液を供給する洗浄機構４２を用いた洗浄によるクリーニングを行うようにする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートに残留する溶液を確実に除去することができ、例えば機能性薄膜の形成に悪影響を与えない信頼性にすぐれた溶液吐出装置を提供する。
【解決手段】 塗布ヘッド６のノズルプレート３０に各螺子穴３１と連通する溝３４を形成し、この溝３４に吸込み圧力を加える。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ装置の蛍光体や色素材の塗布に用いる塗布ノズルの検査方法において、塗布ノズルに形成された多数の微小な塗液量が適切であるかどうかを検査し、吐出量の適切さを評価できる塗布ノズル検査装置を提供する。
【解決手段】吐出口９２から連続的に液体を吐出させ柱状流を形成させておき、その柱状流に光をあてて３５，３６、透過光の輝度を測定する。透過光の状態は柱状流の直径に応じて変化するため、得られた輝度情報を処理することによって吐出量の違いを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布開始部にパーティクル欠点やすじ欠点等の塗布欠点が発生しないプレートを使用した初期化手段と、繰り返し予備塗布をしてもプレートの清浄度を一定に保つ洗浄手段とを具現化することによって、常に安定した塗布品質を実現するプレートの初期化システムを提供するとともに、低コストで高品質の液晶ディスプレイ用部材を高い生産性で製造できる液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出するために一方向に伸びる吐出口を有する塗布器から平面を有するプレートに向かって塗布液を吐出して予備塗布を行い、引き続いて被塗布部材に塗布を行う塗布方法において、少なくとも２個以上のプレートに予備塗布を行うことを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】 異種ＳＯＧ材料を搭載するＳＯＧコート装置において、ノズルからの不所望なＳＯＧの滴下を防止し、かつ、結晶化または固化したパーティクルの塗布を防止する。
【解決手段】 ＳＯＧの供給方法は、ロットに対して第１のノズルから第１のスピンオンガラスを供給する処理を実行するとき、当該ロットへの処理の開始時または終了時に、第２のノズルから第２のスピンオンガラスを一定量だけ吐出するステップを含む。さらにＳＯＧの供給方法は、ロットに含まれる基板の処理開始時に第２のノズルを洗浄するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】導体パターン形成用インクとの置換性に優れ、液滴吐出装置の導体パターン形成用インクの流路における汚れ、液滴吐出ヘッドの目詰まりを好適に解消できる洗浄液、このような洗浄液を用いた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の洗浄液は、インクジェット方式による導体パターンの形成に用いられ、金属粒子が水系分散媒に分散した導体パターン形成用インクを吐出する液滴吐出装置を洗浄するための洗浄液であって、前記水系分散媒と、糖アルコールＡと、界面活性剤Ａとを含むことを特徴とする。洗浄液は、導体パターン形成用インク中に含まれる糖アルコールＢと同種のものを含むのが好ましい。洗浄液中に含まれる界面活性剤Ａは、導体パターン形成用インク中に含まれる界面活性剤Ｂを構成する成分の少なくとも一部を含むものであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】予備吐出面におけるメンテナンス性に優れた、予備吐出装置、及び予備吐出方法を提供する。
【解決手段】塗布装置における予備吐出動作において液状体が塗布される予備吐出面８１を有する予備吐出板８０を備える予備吐出装置である。予備吐出板８０は、予備吐出面８１を含む板状部材８３とベース部材８２とが着脱可能に接合されてなる。 （もっと読む）

【課題】導体パターン形成用インクとの置換性に優れる充填液を提供すること。
【解決手段】本発明の充填液は、インクジェット方式による導体パターンの形成に用いられ、金属粒子が水系分散媒に分散した導体パターン形成用インクを吐出する液滴吐出装置を保管する際に、該液滴吐出装置内を充填する充填液であって、前記水系分散媒と、糖アルコールＡと、界面活性剤Ａとを含むことを特徴とする。充填液は、導体パターン形成用インク中に含まれる糖アルコールＢと同種のものを含むのが好ましい。充填液中に含まれる界面活性剤Ａは、導体パターン形成用インク中に含まれる界面活性剤Ｂを構成する成分の少なくとも一部を含むものであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ノズル先端を洗浄することができ、安定した洗浄を行うことが可能なノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】ノズル先端の形状に対応する形状の当接部を有し、一方向に摺動するパッドと、当該パッドに対応する位置に設けられノズル先端に洗浄液を供給する洗浄液供給部とを備えることとしたので、パッドをノズルに当接させたときにパッドの当接部がノズル先端にも当接することになる。これにより、ノズル先端についても洗浄することができる。また、パッドの当接部がノズル先端の形状に対応する形状であるため、パッドの一部のみが窪んでしまうことを回避することができ、安定した洗浄を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】吸引処理の後にキャップ部材で覆われた空間が負圧状態から大気圧に戻ったことを検出して、メンテナンス処理時間の短縮を図ることができる液体噴射装置のメンテナンス方法、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドのノズル開口面に対して液体受部を接触状態で覆い被せると共にノズル開口面と液体受部との間に電界を付与する第一工程と、ノズル形成面と液体受部との間に形成される空間を負圧状態にして液体噴射ヘッドの各ノズルから流体を液体受部に向けて強制排出させる第二工程と、液体受部に向けて強制液体を排出したときの静電誘導に基づく電圧変化を検出する第三工程と、電圧変化の検出結果に基づいて空間の負圧状態を検出する第四工程と、空間の負圧状態が解消されると液体受部を流体噴射ヘッドから離間させる第五工程と、を有する。 （もっと読む）