【課題】ヘッドの下方に移動して、吐出口の清掃と検査ができるように構成されたメンテナンス装置及びメンテナンス装置を有する吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明のメンテナンス装置１０は、基板９５を主レール７２に沿って移動させ、ヘッド保持部８０の下方を通過させ、複数のヘッド８１の吐出口８２から吐出液の液滴を基板９５に吐出し、着弾させる吐出装置７０の主レール７２に沿って移動するメンテナンス装置１０である。 （もっと読む）

【課題】塗布領域に異常があった場合に、その原因が、塗布対象物の異常にあるのか否かを判別する。
【解決手段】本発明の液滴塗布装置１００は、塗布処理が実行される毎に、上記塗布領域が正常か否かを判断する領域判断部６１と、塗布対象物は液滴の塗布前に、複数個よりなる単位毎に塗布前処理を受けており、塗布対象物が塗布前処理を受けたときに属していた単位を示す単位情報を取得するロット情報取得部６４と、領域判断部６１が塗布領域が異常であると判断したとき、該塗布領域を有する塗布対象物について、ロット情報取得部６４が取得した単位情報が、領域判断部６１が最後に塗布領域を判断したときの塗布対象物の単位情報と異なっている場合、塗布領域の異常の原因は塗布対象物にあると判別する異常原因判別部６２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】材料利用効率及び稼働率の向上を実現するとともに、塗布ノズルの汚れに起因する膜厚均一性の低下を防止する。
【解決手段】成膜装置１において、塗布対象物Ｗが載置される載置面２ａを有するステージ２と、ステージ２を載置面２ａに沿う回転方向に回転させる回転機構３と、ステージ２上の塗布対象物Ｗに材料を吐出して塗布する塗布ノズル４と、ステージ２と塗布ノズル４とを回転方向に交わる交差方向に載置面２ａに沿って相対移動させる移動機構５と、塗布対象物Ｗが載置されたステージ２を回転機構３により回転させながら、移動機構５によりステージ２と塗布ノズル４とを交差方向に載置面２ａに沿って相対移動させ、塗布ノズル４によりステージ２上の塗布対象物Ｗに材料を塗布する制御を行う制御部１０と、塗布ノズル４を洗浄する洗浄装置７とを備える。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減す
ること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に
対して平行に対向させ、プライミングローラ１４を静止させたままで、スリッ
トノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させる。次に、プライミングロー
ラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒ
を巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、ス
リットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト
液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をその
まま継続させて、レジスト液膜ＲＭ_１を自然乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部の塗布状態を良好にすることが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】基板を立てた状態で回転させつつ前記基板の表面及び裏面にそれぞれ液状体を吐出するノズルを有する塗布機構と、前記基板の外周部における前記液状体の塗布状態を調整する調整機構とを備え、前記調整機構は、前記基板を回転させながら前記基板の外周部を溶解液に漬け込んで溶解させるディップ部と、前記溶解液に漬け込んだ後の前記基板の外周部近傍を吸引する吸引部とを有する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスユニットをクリーニングする作業員の安全を確保するインクジェット装置を提供する。
【解決手段】印刷室内１００に設置されるメンテナンスユニット３を、上面に開口部を形成する略箱状の第１のユニットケース５の内部に収容し、この第１のユニットケース５を、上面に開口部を形成する略箱状の第２のユニットケース６の内部に支持し、さらに、第２のユニットケース６の底部または側壁部に設けた排気口部と印刷室の外部との間を排気装置７で接続した。これにより、印刷室内１００へ進入するメンテナンスユニット３をクリーニングする作業員の安全を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドを一時的に待機させるフラッシングエリアにおいて、噴射ノズルに流体が乾燥して固着することを防止することによって、正確なプリントを行うことができる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】フラッシング部１７は、例えば、断面凹型の収容室４１を備える。この収容室４１は、一面（上面）が開口４１ａとされる。流体噴射ヘッド１１がフラッシング状態（一時待機状態）にあるときには、この開口４１ａから収容室４１の内部に流体噴射ヘッド１１の一部が収容される。そして、流体噴射ヘッド１１の一部が収容室４１に収容された状態では、開口４１ａを区画する縁部４１ｂと、流体噴射ヘッド１１の一部、例えば流体噴射ヘッド１１が庇状に突出した突出部１１ａとが接する。 （もっと読む）

【課題】塗布ノズルの内部の洗浄をカラーフィルタの製造処理フロー内で工程内で行うことを可能としたスリットコータを提供する。
【解決手段】塗布ヘッドの内部へ供給された塗布液を基板に塗布するスリットコータであって、塗布ヘッドの内部へ洗浄液を供給し排出して塗布ヘッドの内部を洗浄し、洗浄した後に塗布ヘッドの内部へクリーンドライエアを供給し排出して塗布ヘッドの内部を乾燥することを特徴とする塗布ヘッドを備えたスリットコータ。 （もっと読む）

【課題】ノズル面にダメージを与えることなく良好にクリーニング可能な、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面を有し、ノズル面の各ノズルから機能液の液滴を吐出する液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５のノズル面をクリーニングするクリーニングユニット１２と、を備えた液滴吐出装置ＩＪである。クリーニングユニット１２は、ノズル面を払拭するワイプ部材と、ワイプ部材による払拭処理後のノズル面を払拭するシート部材とを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズル初期化機構で用いられる洗浄液を有効利用するとともに、配管構成を簡略化できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１のノズルメンテナンスユニット９は、ローラ９５と、ローラ９５を収納するローラバット９６と、ノズルの洗浄に用いられるノズル洗浄ユニット４０と、ノズル洗浄ユニット４０が待機する待機バット４１と、を備えている。このローラバット９６と待機バット４１とは連結管４２で連結されており、待機バット４１上の溶液はすべてローラバット９６へと送液される。そのため、スリットノズル５５やノズル洗浄ユニット４０より排出された洗浄液や処理液はすべて、ローラバット９６に一旦貯留され、予備吐出で処理液が吐出されたローラ９５外周面の洗浄に再利用できる。また、排気配管２５およびオーバーフロー廃液配管２３、ローラバット廃液配管２４をローラバット９６に設置すればよいので配管構成が簡略化される。 （もっと読む）

【課題】ロールを取り外すことなく、かつ塗液パンを交換することなく、塗液及び洗浄液兼用の液パン内でロール及び液パンの洗浄を可能にした塗布装置を提供する。
【解決手段】洗浄時に液パン２内に充填された洗浄液４ａを液供給手段により循環させるとともに、液パン２に設けられた超音波振動子３ａ，３ｂで超音波振動が与えられた洗浄液４ａにより、回転しているグラビアロール５及び液パン２を洗浄する。さらに、液供給手段からドクターと交換可能な洗浄ブラシ７を通してグラビアロール５に向け供給される洗浄液４ａに洗浄ブラシ７内蔵の超音波振動子により超音波振動を与え、この洗浄液と洗浄ブラシ７でグラビアロール５を洗浄するようにした。 （もっと読む）

【課題】凹部に古い保管液が残るのを防止することが可能となるキャップの洗浄方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル８を下面４ａに有しているインクジェットヘッド４を、凹部３１に溜めている保管液Ｒ１に当該下面４ａを浸漬させて、保管するためのキャップ３０を洗浄する方法である。キャップ３０を蓋部材１１により上から覆った状態とし、洗浄液と空気との内の一方又は双方を、凹部３１の底面３２よりも上から当該底面３２に供給しながら、蓋部材１１と凹部３１との間を吸引し、保管液Ｒ１を底面３２よりも上から吸い出す。 （もっと読む）

【課題】新旧機能液の置換を適切に効率良く行うことができる機能液タンク、液滴吐出装置の機能液置換方法および液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】本発明のサブタンク４８は、メインタンク５０から機能液の供給を受けると共に、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に機能液を供給するサブタンク４８であって、サブタンク本体８１と、サブタンク本体８１に添設した液柱パイプ８３と、液柱パイプ８３に臨み、サブタンク本体８１の上限液位を検出する上限検出センサー９１および下限液位を検出する下限検出センサー９３と、サブタンク本体８１に収容され、サブタンク本体８１の内壁に微小間隙を存して配設された蓋体フロート８２と、液位の下降に伴って下降する蓋体フロート８２の下降端位置を、規制するフロート規制部材（８５，１０３，１０５，１０７）と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に膠着した異物等を確実に排出除去することのできる機能液滴吐出ヘッドのクリーニング方法等を提供することを課題とする。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド２５から機能液滴を吐出してワークＷに描画を行なう液滴吐出装置１に搭載され、機能液供給流路を介して機能液タンクから機能液の供給を受ける機能液滴吐出ヘッド２５のクリーニング方法であって、機能液供給流路にクリーニング剤を供給するクリーニング剤供給流路６２を接続し、機能液滴吐出ヘッド２５を吸引して、クリーニング剤供給流路６２から導入したクリーニング剤を機能液と共に機能液滴吐出ヘッド２５に通液し、機能液滴吐出ヘッド２５をクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】液体タンクに添設された液柱体においてフォトセンサーが誤検出を発生することのない液体タンクの液柱体、液体タンクおよび液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】タンク本体（サブタンク本体５１）に添設され、タンク本体（サブタンク本体５１）の液位をセンシングするためのフォトセンサーが臨む液体タンクの液柱体（液柱パイプ５３）であって、内面が撥液性を有する透光性材料で構成され、内面に沿って滑落する液滴をフォトセンサーのセンシング位置から外れるように導く導液部を、備える。 （もっと読む）

【課題】処理液供給ノズルから基板例えば半導体ウエハへの処理液の供給を行うにあたり、処理液供給ノズル内の処理液の乾燥を防止する。
【解決手段】ノズルユニット４の処理液供給ノズル４Ａ〜４Ｊの先端内部の処理液層の外側に空気層と処理液の溶剤層とを形成する。次いで前記処理液供給ノズル４Ａの前記溶剤層を待機ユニット６の液排出部に排出し、次いでこのノズル４ＡからウエハＷ表面に処理液を供給して塗布処理を行う。この後ノズル４Ａ内に残存する処理液を吸引し、次いでノズルユニット４の各ノズル４Ａ〜４Ｊの先端を、待機ユニット６の溶剤貯留部の溶剤内部に浸漬し、前記一のノズル４Ａを吸引することにより、当該ノズル４Ａの先端内部の処理液層の外側に空気層と溶剤層とを形成する。 （もっと読む）

【課題】 シンプルな構成でありながら多数のインクジェットヘッドを好適に洗浄することができ、また、インクジェットヘッドの角度が変更された場合であっても対応が可能なインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】 インクジェット塗布装置は、インクジェットヘッドユニット１２を洗浄する洗浄部２２と、この洗浄部２２を各インクジェットヘッドユニット１２と対向する洗浄位置とインクジェットヘッドユニット１２から離隔した待機位置との間で移動させる洗浄部移動機構と、洗浄部２２をインクジェットヘッドにおけるスペーサ粒子分散液の吐出口の列設方向と透明基板１の搬送方向との交差角度に対応させて回動させる洗浄部回動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液がスペーサ粒子分散液の吐出口に浸入してスペーサ粒子分散液の吐出不良を生ずることを防止する。
【解決手段】 洗浄ユニット３１は、インクジェットヘッドにおけるスペーサ粒子分散液の吐出口からスペーサ粒子分散液の吐出方向に第１の距離だけ離隔した位置に配置され、インクジェットヘッドにおける前記吐出口から当該吐出口の列設方向と直交する方向に離隔した位置に向けて洗浄液を吐出する洗浄液吐出口６２と、スペーサ粒子分散液の吐出口からスペーサ粒子分散液の吐出方向に前記第１の距離より小さい第２の距離だけ離隔し、かつ、洗浄液吐出口６２からインクジェットヘッドにおけるスペーサ粒子分散液の吐出口の列設方向に離隔した位置に配置された洗浄液吸引口６６と、洗浄ユニット３１をスペーサ粒子分散液の吐出口の列設方向に向けて移動させる移動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】少量の洗浄液によって回転ローラを洗浄できるスリットコータ予備吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】予備吐出位置のノズル（９）の先端に近接して配置されるとともに回転してノズル（９）の塗布液を周面に付着させて受け取る回転ローラ（１２）と、回転ローラ（１２）の周面から落下した塗布液を受ける位置に配置されたパン（１１）と、予備吐出位置のノズル（９）から見て回転ローラ（１２）の回転の方向の下手側で回転ローラ（１２）から塗布液を掻き取る第１スキージ（１３）と、予備吐出位置のノズル（９）から見て回転ローラ（１２）の回転の方向の上手側に洗浄液（１５ａ）を滴下する洗浄液滴下ノズル（１５）とを設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の回転数を高くしかつ処理カップ内の排気を低排気量で行っても排気流の逆流を抑え、基板へのミストの再付着を低減できる液処理装置及び液処理方法を提供する。
【解決手段】下降気流が形成されている処理カップ３３にて回転しているウエハＷに対してレジスト液を塗布するレジスト塗布装置において、処理カップ３３のスピンチャック３１に保持されたウエハＷの外周近傍に隙間を介して当該ウエハＷを取り囲むように環状に設けられ、その内周面の縦断面形状が外側に膨らむように湾曲して下方に伸びる上側ガイド部７０と、前記ウエハＷの周縁部下方より外側下方へ傾斜した傾斜壁４１及びこの傾斜壁４１に連続し、下方へ垂直に伸びる垂直壁４２から構成された下側ガイド部４５と、を備える。 （もっと読む）