【課題】基材に対する液滴吐出のサイクルタイムを短くする。
【解決手段】基材を載置するテーブルと、前記基材に向けて液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから予備吐出された前記液滴を捕獲するフラッシング部と、を備え、前記フラッシング部は、前記テーブルに載置される前記基材の態様に応じて、前記基材の端部近傍に配置される。 （もっと読む）

【課題】膜質の高い塗布膜を形成することが可能なノズル、塗布装置及びノズルのメンテナンス方法を提供すること。
【解決手段】長尺状に形成されたノズル本体と、前記ノズル本体に設けられ、前記塗布液を吐出する吐出口と、前記ノズル本体の内部に当該ノズル本体の長手方向に沿って形成され、前記吐出口に接続され、前記塗布液を流通させる流路と、前記ノズル本体に設けられ、前記流路に接続され、前記塗布液を供給可能な第１供給口と、前記ノズル本体のうち前記第１供給口よりも前記流路の端部側に設けられ、前記流路に接続され、前記流路を洗浄する洗浄液を供給可能な第２供給口とを備える。 （もっと読む）

【課題】
ノズル先端に溶剤を吸引する動作と、吸引した溶剤や薬液を予備吐出する動作を、平面上同一の位置（待機位置において）行うことができる、薬液吐出用ノズルの待機ポット及び薬液塗布装置並びに薬液塗布方法を提供する。
【解決手段】
基板に薬液を塗布する薬液塗布装置における薬液吐出用ノズルの待機ポット６０であって、待機状態のノズル５１を収納するノズル収納容器９１ａと、ノズル収納容器９１ａ内へ溶剤を供給する溶剤供給部と、ノズル収納容器９１ａから排出された溶剤又はノズル５１から吐出された薬液や溶剤を回収する回収ポット８１とを備え、ノズル収納容器９１ａは、供給された溶剤をノズル５１の先端部へ案内する内壁９４と、内壁９４の下端位置でノズルの薬液吐出口５３に対して平面視で重なる位置に開口し、回収ポット８１に連通する排液口９３とで構成される。 （もっと読む）

【課題】移動に支障を生ずることなく荷搬重量を軽減することができるフラッシング受容装置およびこれを備えた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】このフラッシング受容装置は、複数の負圧連通孔を有し、機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受ける受液シート６３を下側から水平に支持するシート支持プレートを備えたフラッシング受容部と、移動軸ベースの上面に分布させて上向きに設けられた複数のベルヌーイチャックと、作動気体供給手段から複数のベルヌーイチャックに供給された作動気体により気体浮上させたシート支持プレートを水平面内で移動させる移動手段と、を備えた移動部と、から成るフラッシング受容装置であって、シート支持プレートは、複数のベルヌーイチャックの上方に浮上間隙を存して配設されている。 （もっと読む）

【課題】リールツーリール方式と液滴吐出方式とを用いたパターン形成技術を確立する。また、量産化により電子機器の低コスト化を図ることにある。
【解決手段】リールツーリール方式により帯状基板上にパターンを形成するシステムであって、液滴吐出方式により帯状基板１１に液体材料を配置する液滴吐出装置２０と、液滴吐出装置２０の処理空間の気圧を隣接空間に対して高く制御する気圧制御装置２２とを有する。前記隣接空間は、前記液体材料の膜に対して熱処理または光処理を行う空間を含む構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】 ノズル先端に形成された小径の吐出口から有機ＥＬ材料を吐出し、基板上に有機ＥＬの薄膜を形成する装置において、有機ＥＬ材料の粘度が高いため、吐出口から液柱状（直線棒状）に吐出することが困難である。
【解決手段】 有機ＥＬ材料を吐出するノズルの保管を行う際、そのノズルの先端部に暖められた保管液を接液させることにより、ノズル内部に残留する有機ＥＬ材料を間接的に暖めて粘度を低下させる。再度吐出するときは、最初に粘度の低い状態である有機ＥＬ材料が吐出されるため、液柱状態を形成して吐出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】液処理装置の大型化の抑制、ノズルの洗浄効率の向上及び処理液の乾燥防止を確実に行えるようにする。
【解決手段】漏斗部６５を有する洗浄室６２と、洗浄室の漏斗部に溶剤を供給する第１の溶剤供給手段７１と、洗浄室の漏斗部の上部側に溶剤を供給する第２の溶剤供給手段７２と、ノズル吸引手段と、ノズルを、洗浄室と基板に対して処理液を吐出する位置との間で移動させる移動手段４４，４６と、第１及び第２の溶剤供給手段、吸引手段及び移動手段を制御するコントローラ１００と、を具備する。ノズルが洗浄室内に収容された際、吸引手段によりノズル内の処理液の液面を後退させ、第１の溶剤供給手段から洗浄室内に溶剤を供給し、溶剤の渦流を形成してノズルを洗浄し、第２の溶剤供給手段から洗浄室内に供給し、洗浄室内に溶剤の液溜りを形成し、吸引手段によりノズルを吸引して、ノズルの先端内部に、処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する。 （もっと読む）

【課題】液体の無駄を極力抑えつつノズルをクリーニングして良好な液体吐出動作を行わせることが可能な液体吐出装置の制御方法、液体吐出装置及び記録装置を提供する。
【解決手段】ロール紙プリンタ１は、インクを吐出するインクノズルを有するインクジェットヘッド１４と、インクノズルからインクを吸引するクリーニング動作を行うクリーニング機構５９とを備え、クリーニング機構５９によるインクノズルのクリーニング動作を行う定期クリーニングが所定の実行タイミング毎に行われる。前回のクリーニングからの経過時間Ｔ１を、温度変化に基づいて補正する経過時間補正工程（ステップＳ０２）と、前記経過時間補正工程で補正された補正後経過時間Ｔ１´が定期クリーニングの実行タイミングである所定時間以上となった際にクリーニングを行う実行工程（ステップＳ０４〜Ｓ０８）とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布される液状体の状態を改善することが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】立てた状態で回転させた基板の両面からノズルによって液状体を吐出することができるので、基板の両面に効率的に液状体を塗布することができる。これにより、処理タクトを短縮させることができ、スループットを向上させることができる塗布装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体流路が網状、散点状、あるいは格子状に形成された従来の膜脱気モジュールと同等以上の脱気性能を維持しつつ、液体流路の洗浄性も向上させることができる。
【解決手段】膜脱気モジュール１０において、２枚の脱気膜２０Ａ、２０Ｂを封筒状にした封筒状脱気膜１２の内側に、被脱気液体の供給口３２側から排出口３４側に向けて複数本並設されたテーパー状凸部５０Ａを有する気体流路形成材を配置することにより、封筒状脱気膜１２をスパイラル状に巻回したときに、封筒状脱気膜１２同士の間にテーパー状溝の液体流路１８が形成されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、従来よりも洗浄能力を向上させた、ダイコーター用洗浄装置を提供することである。
【解決手段】ダイコーターのスリットノズル先端部を洗浄するための洗浄装置であって、洗浄ユニットと、該洗浄ユニットをスリットノズルの幅方向に沿って移動させる洗浄ユニット移動手段とを備え、該洗浄ユニットは、洗浄液と搬送気体との混合流体を噴射して前記スリットノズル先端部を洗浄する二流体ノズル群と、洗浄によって生じ前記スリットノズル先端部に付着した洗浄廃液を除去するエアーナイフ群と、噴射された気体および洗浄廃液を排出する排出手段とを有し、前記二流体ノズル群は、噴射範囲が狭いラウンドスプレーノズルと、噴射範囲が広いフラットスプレーノズルとを少なくとも含む２種類以上のスプレーノズルの組合せを含むものであることを特徴とする洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド部を搭載する可動ステージの高速かつ高精度の稼動と、吐出直前のインクジェットヘッド部のメンテナンスとを両立可能なインク吐出装置を提供する。
【解決手段】インク吐出装置は、載置台１００に載置されたガラス基板２００に対してインクを吐出するインクジェット塗布装置であって、ガラス基板２００に対してインクを吐出するインクジェットヘッド部１と、インクジェットヘッド部１のメンテナンスを実施可能なメンテナンスユニット２および予備メンテナンスユニット３とを備える。メンテナンスユニット２は、インクジェットヘッド部１との相対位置関係を維持したまま移動可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は塗布ヘッドの吐出口および吐出口面に付着したペーストを清浄する清浄装置であって、清浄により発生する塗布ヘッドの吐出口及び吐出口面への傷を抑制できる塗布ヘッド清浄方法および塗布ヘッド清浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】塗布ヘッドの吐出口近傍の吐出口面に付着した塗液を清浄する塗布ヘッド清浄方法であって、一回の塗布動作ごとに、粘着テープを該吐出口近傍の吐出口面に略垂直方向に接近させ当接させた後略垂直方向に引き離す押し当て動作を行い、一回の塗布動作ごと、または複数回の塗布動作ごとに、溶剤を含浸させた拭き取り部材を該吐出口近傍の吐出口面に当接した状態で該拭き取り部材と該吐出口面を相対的に移動させる摺動動作を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】確実に搬送手段のクリーニングをすることにより、記録ヘッドのノズルの目詰まりの回復を可能にした液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】インクジェット記録装置１は、用紙Ｐにインクを吐出して画像を記録するためのヘッドユニット２と、ヘッドユニット２に用紙Ｐを搬送する搬送ベルト１０と、搬送ベルト１０の表面を清掃するための液体Ｌの入った洗浄槽２０を備え、搬送ベルト１０はフッ素樹脂のＦＥＰからなり、洗浄槽２０は、搬送ベルト１０が液体Ｌ中を通過可能な第１位置と、搬送ベルト１０が液体Ｌと離れた第２の位置とを移動可能に構成し、搬送ベルト１０に対して用紙Ｐのない部分にインクを吐出して空打ちする。 （もっと読む）

【課題】ミストをワークに付着させずに捨て吐出を行える液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ワークＷがセットされたセットテーブル２２を、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１３に対し相対移動させながら、ワークＷに対して機能液滴吐出ヘッド１３から機能液を吐出して描画動作を行い、セットテーブル２２の相対移動方向の前方に近接して配設され、描画動作に移行する直前の相対移動中の機能液滴吐出ヘッド１３から機能液の捨て吐出を受けるフラッシングユニット１５と、フラッシングユニット１５の相対移動方向の前方に近接して配設され、フラッシングユニット１５と機能液滴吐出ヘッド１３との間の雰囲気が相対移動方向の前方に流れるように吸引する吸引手段と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの洗浄方法および液滴形成に重要な役割をもつ、ノズルの撥水処理膜の修復方法を改善することで、長時間、吐出動作を安定維持できるメンテナンス装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１の三つの開口部を洗浄液供給配管で連結し、送液ポンプ１９、切換えバルブ１８、タンク１７等の組合せで、順方向、逆方向の洗浄液の流れを意図的に作り出し、目詰まりを起し易いノズル、フィルタ、チャネル等の洗浄を行う。ナノバブル発生装置により、洗浄液中にナノバブルを溶解させることで、洗浄力が向上し、目詰まりを解消できる。一方、撥水処理膜の再生においては、選択ミストコーティング法により、ノズルを閉塞することなく、均一な成膜が可能となる。 （もっと読む）

【課題】ローラに撓み変形が生じる場合であっても、塗布ユニットを十分に初期化することができる予備塗布装置を備える塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、一方向に延びるとともに塗布液を吐出するスリットを有する塗布ユニットと、この塗布ユニットを初期化する予備塗布装置とを備え、前記予備塗布装置により初期化された塗布ユニットが、ステージ上の基板に対して相対的に移動しつつ前記スリットから塗布液を吐出することにより基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、前記予備塗布装置は、一方向に延びるとともに前記スリットから吐出される塗布液を付着させるローラを有しており、このローラは、ローラの延びる方向と前記スリットの延びる方向とが交差する状態で配置されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】生産性の高い塗布装置を提供すること。
【解決手段】ノズル部をメンテナンスするメンテナンス部が、基板搬送部のうちノズル部に平面視で重なる位置に設けられているので、ノズル部とメンテナンス部との間の平面視での相対位置を変化させること無くノズル部のメンテナンスを行うことができる。このため、ノズル部のメンテナンスを短時間で行うことができ、スループットへの影響を抑えることができる。これにより、生産性の高い塗布装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出装置の吐出ヘッドを洗浄するための洗浄液槽と廃液槽とを有するカートリッジ形態の洗浄装置において、スペース効率を向上させる。
【解決手段】液体吐出装置の吐出ヘッド２の液体導入部に連結可能な洗浄液供給部４６を持つ洗浄液槽４１と、吐出ヘッド２から排出された廃液を回収する廃液槽４３とを持つ洗浄液容器４０を、ドッキングステーション２０に取り付ける。洗浄液槽４１から供給される洗浄液によって吐出ヘッド２を洗浄し、吸引手段３０によって吐出ヘッド２から排出された廃液である洗浄液は、中空針３３から、洗浄槽４１の内部に配置された膨張可能な廃液槽４３に回収される。 （もっと読む）

【課題】洗浄液がローラ外周面に一様に塗布されることによりローラ外周面全体が洗浄され、塗布ユニットの初期化を安定させることができ、さらに製作コストの上昇を抑えることができる予備塗布装置、塗布装置及び予備塗布装置の洗浄方法を提供する。
【解決手段】ローラに塗布液を塗布することにより塗布ユニットを初期化する予備塗布装置であって、ローラ外周面に洗浄液を供給する洗浄液供給器を備えており、この洗浄液供給器は、洗浄液を吐出する洗浄液吐出部と、ローラ外周面の長手方向に亘って洗浄液を貯留する洗浄液溜部と、ローラ外周面と対向しローラ外周面の長手方向に亘って形成される塗布口を有する洗浄液塗布部とを有しており、洗浄液吐出部から吐出された洗浄液が、ローラ外周面の長手方向に亘って一時的に洗浄液溜部で貯留され、前記洗浄液塗布部の塗布口からローラ外周面の長手方向に亘って一様に吐出されるように構成する。 （もっと読む）