【課題】塗布ヘッドを清掃する吸入ヘッドの吸入力低下に起因し、塗布ヘッドの吐出異常が発生することを防止する。
【解決手段】塗布装置は、吐出面に形成された吐出孔から液を吐出する塗布ヘッドと、吐出面に付着した液を空気と共に吸入する吸入口Ｈ１及びその吸入口Ｈ１に連通する内部流路６ａ１を有する吸入ヘッド６ａと、その吸入ヘッド６ａの内部流路６ａ１に連通する気液流路管６ｂと、内部流路６ａ１及び気液流路管６ｂを介して吸入口Ｈ１に吸引力を作用させる吸引装置６ｅと、内部流路６ａ１及び気液流路管６ｂに洗浄液を流す洗浄装置６ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】このプライミング処理法によれば、５回目のプライミング処理では、第１層の第１レジスト乾燥膜［ＲＭ₁］をプライミングローラ１４の頂部に位置させて、スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、プライミングローラ１４を静止させたままで、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させる。吐出されたレジスト液Ｒは、第１層の第１レジスト乾燥膜［ＲＭ₁］上に着液してから周回方向で周囲に広がる。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、第１層の第１レジスト乾燥膜［ＲＭ₁］上にレジスト液Ｒを巻き取る。 （もっと読む）

【課題】 画質の低下を抑止する。
【解決手段】 記録領域Ｒ上にあるときに、液体を吐出するノズルを有するヘッド３１と、ヘッド３１を有し、移動するキャリッジ４２と、円筒形状を有し、ヘッド３１がフラッシングを行うことによりノズルから吐出された液体を受ける回動可能な液体受け部３６と、ヘッド３１が記録領域Ｒ上以外に位置するときにキャリッジ４２が当接し、当接の際にキャリッジ４２から受ける押圧力を液体受け部３６を回動させる回動力に変換する変換部３９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】フラッシングによりノズルから吐出される液体の堆積による印刷不良を防止することにある。
【解決手段】本発明に係る液体吐出装置は、液体を吐出するノズルを有するヘッドと、前記ヘッドがフラッシングを行うことにより前記ノズルから吐出された液体を受ける傾斜面を有する第一液体受け部と、前記傾斜面から落下した液体を受け止めて貯留する第二液体受け部と、を備える。これにより、フラッシングによりノズルから吐出された液体を垂れ流すことができるため、当該液体の堆積による印刷不良を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】横方向に一列に配置された基板保持部を備えた複数の液処理部と、これら液処理部に対して共用化された処理液ノズルと、を備えた液処理装置において、前記処理液ノズルからの基板への処理液の落下を抑え、歩留りの低下を防ぐこと。
【解決手段】横方向に一列に配列された複数のカップ体の開口部間において処理液ノズルの移動路の下方側に、移動手段により移動する処理液ノズルから垂れた前記処理液の液滴に接触して、その液滴を処理液ノズルから除去するための液取り部が設けられている。従って、処理液ノズルが基板に処理を行うために待機部と各液処理部とを移動するにあたって、基板上への処理液ノズルからの前記液滴の落下を防ぐことができる。その結果として歩留りの低下を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】不具合を有する記録ヘッドの回復コストを削減する。
【解決手段】画像データに基づいて、記録媒体に対して液滴を吐出する複数のノズルを含む記録ヘッド２１０と、不具合を有するノズルを検出するための仮吐出を前記記録ヘッドに行わせる仮吐出手段２０３と、前記仮吐出による前記液滴の着弾位置を確認する確認手段２１３と、前記確認手段２１３の確認結果に基づいて前記不具合を有するノズルを検出し、前記液滴の着弾位置が前記不具合がない状態での着弾位置になるように、前記画像データを修正する修正手段と、を有する液滴吐出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドのノズル面に残留する微細液晶の効率的な除去を実現する。
【解決手段】本発明の処理液吐出装置では、ヘッドのノズル面を洗浄するヘッド洗浄ユニットにて、ヘッドのノズル面に残留する微細液晶を効率的に除去できるように、残留する液晶に気体を噴射してサクションノズル方向に押し出す噴射ノズルを１つ又は複数個設ける。更に、噴射ノズルとサクションノズルとの間隔を調節するための水平駆動部材や、噴射ノズルの吐出口の高さを調節するための昇降部材や、噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節するためにの圧力調節手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】インクジェット塗工装置のヘッド吐出面の汚れを自動でメンテナンスして、吐出ミスのない安定したインキ吐出をサポートでき、且つ、使用する洗浄液の量を節約することができるインクジェットヘッド管理装置を提供する。
【解決手段】ヘッド通液やエアパージまたは定期的な液排出のためのドレン機能と、予備吐出の際のヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニットと、ヘッドユニットの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニットと、ヘッドユニットのインク吐出面に洗浄液吐出スプレーにて洗浄液を吐出する洗浄液吐出ユニットと、ヘッドユニットのインク吐出面を洗浄部材で洗浄するヘッド洗浄ユニットと、インクジェット塗工装置からヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニットと、インクジェット塗工装置と連携して上記各ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置とから構成する。 （もっと読む）

【課題】液処理装置において、前記処理液ノズルに付着した処理液からの析出物により基板が汚染されることを防ぎ、歩留りの低下を防ぐこと。
【解決手段】カップ体の中に基板を水平に保持する基板保持部を設けて構成される液処理部と、処理液ノズルと、前記カップ体の外側に設けられ、前記処理液ノズルを待機させるための待機部と、前記液処理部の各々の上方領域と、待機部との間で処理液ノズルを移動させるための移動手段と、前記待機部に設けられ、処理液ノズルに洗浄液を供給して洗浄する洗浄液供給手段と、前記待機部に設けられ、当該待機部で待機する処理液ノズルから垂れた前記洗浄液の液滴に接触して、当該液滴を処理液ノズルから除去する液取り部と、を備えるように装置を構成し、析出物を洗い流し、さらに使用した洗浄液の液滴を除去する。 （もっと読む）

【課題】循環型ヘッドを用いる場合に気泡排出のための排出系の構成が複雑になり、あるいは、ノズルから排出できない気泡排出のためのメンテナンス作業が煩雑になる。
【解決手段】ヘッド１と、ヘッド１のノズルから気泡を排出させるキャップ手段２１及び吸引手段２３を含む維持回復手段と、ヘッド１の排出口１５に一端部が接続され、他端部が閉じられた気泡停留経路５とを備え、気泡停留経路５には気泡を停留させる気泡停留部６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の供給量が変動しても清掃部材中の洗浄液の含有量を一定に保持することができ、安定したクリーニング動作を実施し得るインクジェットヘッドのクリーニング装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドのクリーニング装置は、液体吸収性を有する清掃部材２１に洗浄剤を供給して清掃部材２１を濡らし、清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に当接させることにより、ノズル面に付着した汚れを除去する。清掃部材２１に洗浄液を供給する洗浄液供給ライン１４ａと、清掃部材２１をインクジェットヘッド３ａのノズル面に押圧する押圧部２２と、清掃部材に供給した洗浄液を吸引する洗浄液排液ライン１４ｂとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】吐出口から液体と共に気泡及び異物を効率よく排出しつつ、液体が無駄に消費されるのを抑制する。
【解決手段】サブタンクが、インク供給管を介してインク流入流路と連通し、インク帰還管を介して排気流路と連通している。インク流入流路は、インク流出流路及び排気流路と連通している。インク流出流路は吐出口と連通している。インク供給管にはパージポンプが、インク帰還管には循環バルブが設けられている。循環バルブを開いた状態で、パージポンプを駆動することによって、サブタンク、インク流入流路及び排気流路の順にインクを循環させる。この状態で、循環バルブを閉じることによって、吐出口からインクを排出する。吐出口からインクを排出しているときのインク供給量が、循環中のインク供給量よりも多くなっている。 （もっと読む）

【課題】ノズルのプライミング処理に用いる洗浄液の消費量を低減し、且つ、基板への塗布膜形成の際に、スリット状のノズル吐出口から処理液を均一に吐出する。
【解決手段】プライミング処理手段２０は、プライミングローラ２３と、前記プライミングローラに沿って延設され、前記処理液を吸収し保持可能な処理液吸収部材２４と、前記処理液吸収部材の長手側を前記プライミングローラのローラ面に対して進退移動させる進退移動手段２９とを備え、所定方向に回転するプライミングローラのローラ面に対し、ノズル１６の吐出口１６ａから処理液Ｒが吐出されることによりプライミング処理が施され、前記進退移動手段により前記プライミングローラのローラ面に対し接触または近接された前記処理液吸収部材により、前記プライミングローラのローラ面に付着した処理液が吸収除去される。 （もっと読む）

【課題】効率よくクリーニングを実行することができる流体噴射装置、流体噴射装置にお
けるクリーニング方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】プリンター１１は、インクを噴射するノズルを有する印刷ヘッド４２と、不
良ノズルの有無を検査するノズル検査装置６４と、吸引クリーニングを行うメンテナンス
装置２４と、ノズル検査装置６４によるノズル検査の実行頻度に応じて、クリーニング条
件を設定するコントローラー８６と、を備える。そして、コントローラー８６は、ノズル
検査によって不良ノズルが検出された場合に、設定されたクリーニング条件に基づきメン
テナンス装置２４を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布液を塗布する際に、塗布液の供給量を少量に抑えつつ、基板面内で均一に塗布液を塗布する。
【解決手段】回転中のウェハ上に溶剤を供給し、ウェハを第６の回転数で回転させて溶剤を拡散させる（工程Ｓ１）。ウェハの回転を第１の回転数まで加速させ、第１の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ２）。ウェハの回転を第２の回転数まで減速させ、ウェハＷを第２の回転数で回転させる（工程Ｓ３）。ウェハの回転を第３の回転数までさらに加速し、第３の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ４）。ウェハの回転を第４の回転数である０ｒｐｍ超５００ｒｐｍ以下まで減速させ、第４の回転数で１〜１０秒間ウェハを回転させる（工程Ｓ５）。ウェハの回転を第５の回転数まで加速し、第５の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ６）。工程Ｓ２から工程Ｓ３の途中まで、あるいは工程Ｓ２の間ウェハの中心にレジスト液を連続的に供給する。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドのノズル面をキャップしてインクの乾燥を防止するとともに、清浄動作を自動化することにより手作業によるノズル面の清浄動作を省くことができるインク乾燥防止装置を提供する。
【解決手段】塗布ヘッドの複数のノズルを配置したノズル面側を覆うキャップトレイと、このキャップトレイを支持するトレイ支持部と、を備えており、キャップトレイには、塗布ヘッドのノズル面に対向する位置に配置されるとともに保存液が湿潤された多孔質体を有するキャップ部が設けられ、塗布ヘッドをキャップトレイに接近させると、塗布ヘッドのノズル面がキャップ部の多孔質体に当接し、さらに塗布ヘッドをキャップトレイに押付けると、キャップトレイが塗布ヘッドから押付力を受けることにより、トレイ支持部が押付方向と直交する方向に変位し、ノズル面に対する多孔質体の当接位置がノズル面に沿って摺動する構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板幅方向に長いスリット状の吐出口を有するノズルを備えた塗布装置において、ノズル内に侵入した異物や気泡等を効果的に排出させること。
【解決手段】塗布装置１の一部には、メンテナンスステージ２５が備えられている。このメンテナンスステージ２５には、ノズル１０のスリット状吐出口に当接して当該吐出口を封止することができる長尺状して柔軟性を有する素材により形成された封止部材２５ｃが配置されている。前記ノズル１０をメンテナンスステージ２５に移動させて、前記ノズル１０の吐出口を前記封止部材２５ｃに当接させた状態にすると共に、前記ノズルに備えられた薬液導入部および薬液導出部をそれぞれ利用して、ノズル内に薬液を流す動作が実行される。 （もっと読む）

【課題】 高密度で柱状部品を整列配列しても洗浄力が高く、一つの柱状部品で洗浄目的が部分的に異なる場合でも各々の目的に合致した洗浄を同時に行う。
【解決手段】 打錠機の臼や杵と呼ばれるような柱状部品Ｂ１，Ｂ２を多数個収納する装置本体３と、装置本体３に上方から蓋をする蓋体２を備え、前記蓋体２に回転可能に取り付けられた管７に多数個のノズルＮ１が取り付けられ、洗浄水供給手段から供給する洗浄水Ｗを管７を介して回転しながらノズルＮ１から噴射する。 （もっと読む）

【課題】キャビテーションが発生するのを良好に防止することが可能な液体噴射装置および液体噴射方法を提供すること。
【解決手段】液体噴射装置１０は、液体貯留手段２７から供給される液体を、駆動信号情報に基づく駆動信号の印加に基づいて噴射させる液体噴射ヘッド３０と、液体噴射装置１０の設置される場所の気圧を計測する気圧計測手段５０と、気圧に応じて変動する液体中における溶存気体量に関連付けられている駆動信号情報と、気圧との関係を示す気圧相関情報を記憶している情報格納部７３と、気圧計測手段５０で計測された気圧および気圧相関情報に基づいて、液体噴射ヘッド３０で印加される駆動信号の基となる駆動信号情報を選択し、その駆動信号情報に基づいて液体噴射ヘッド３０の駆動を制御する制御手段７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出面に付着した塗布液の乾燥に起因する吐出異常の発生を抑止する。
【解決手段】塗布装置１は、吐出口が形成された吐出面Ｍ１を有し吐出口から溶液系の接着剤を液滴として吐出する塗布ヘッド４と、吸液性を有し吐出面Ｍ１に接触しつつ吐出面Ｍ１を払拭するワイピング部材６ｂと、ワイピング部材６ｂに接着剤の溶質を溶かす溶剤を供給する溶剤供給部６ｄと、ワイピング部材６ｂの吸液状態を許容範囲内に保つように溶剤供給部６ｄを制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）