【課題】塗布ヘッドの吐出面に付着した塗布液の乾燥に起因する吐出異常の発生を抑止する。
【解決手段】塗布装置１は、吐出口が形成された吐出面Ｍ１を有し吐出口から溶液系の接着剤を液滴として吐出する塗布ヘッド４と、吸液性を有し吐出面Ｍ１に接触しつつ吐出面Ｍ１を払拭するワイピング部材６ｂと、ワイピング部材６ｂに接着剤の溶質を溶かす溶剤を供給する溶剤供給部６ｄと、ワイピング部材６ｂの吸液状態を許容範囲内に保つように溶剤供給部６ｄを制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を防ぐこと。
【解決手段】基板を立てた状態で回転可能に保持し、保持した前記基板を第一位置及び第二位置に配置可能な基板搬送部と、前記第一位置に配置された前記基板の第一面及び第二面のそれぞれに液状体を吐出する液状体ノズルを有する塗布部と、前記第二位置に配置された前記基板の周縁部の一部を収容する収容機構及び前記周縁部に洗浄液を吐出する洗浄液吐出機構を有し、前記周縁部の前記液状体を除去する除去部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の回転数を高くしかつ処理カップ内の排気を低排気量で行っても排気流の逆流を抑え、基板へのミストの再付着を低減できる液処理装置及び液処理方法を提供する。
【解決手段】スピンコーティングを行うレジスト塗布装置において、ウエハＷの裏面の周縁部に近接した位置から外側下方へ向かって伸び出す下側ガイド部４５と、その上端面がウエハＷの表面とほぼ同じ高さに位置すると共に、下側ガイド部４５との間に気流を下方へガイドするための下側環状流路７９を形成する上側ガイド部７０と、上側ガイド部７０との間に環状空間７８を形成する外側カップ６０と、環状空間７８を途中で狭くするために外側カップ６０の下面から上側ガイド部７０の上面に向かって突出し、周方向に環状に形成された突出部１００と、を備え、環状空間７８と下側環状流路７９とを通ってきた気流が合流するように構成する。 （もっと読む）

【課題】流体を受容する吸収部材として線状のものを用い、これを移動させる場合において、流体による装置内の汚染を防止できる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル２４からなるノズル列Ｌを有し、ノズル列Ｌから流体を噴射する流体噴射ヘッド２１を備えた流体噴射装置１である。ノズル列Ｌに沿って延在するとともに、ノズル列Ｌに沿って移動可能に設けられ、ノズル２４から噴射された流体を吸収する線状の吸収部材１２と、吸収部材１２を巻き取った状態からこれを巻き出すことで送り出す送出回転体１６と、送出回転体から送り出された吸収部材を巻き取る巻取回転体１７と、流体噴射ヘッド２１と巻取回転体１７との間に設けられ、流体を吸収した吸収部材１２が掛け渡される掛け渡し部４３と、掛け渡し部４３に掛け渡された吸収部材１２からの流体の飛散を防止する飛散防止部材とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板が支持部に支持されることに起因する基板の未処理部分をなくすことができ、処理液のミストの発生も防止することができる液処理方法を提供する。
【解決手段】処理液により基板の下面を処理する液処理方法において、回転可能に設けられた、基板を下方より支持する支持部に支持されている基板を、支持部に対する基板の相対角度位置が変わらないように回転させ、回転する基板の下面に処理液を供給し、供給された処理液により基板の下面を処理する第１の処理工程Ｓ１１と、第１の処理工程Ｓ１１の後、支持部を回転させる回転部の回転数を変更することによって、相対角度位置を変更する位置変更工程Ｓ１４と、位置変更工程Ｓ１４の後、支持部に支持されている基板を、相対角度位置が変わらないように回転させ、回転する基板の下面に処理液を供給し、供給された処理液により基板の下面を処理する第２の処理工程Ｓ１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】流体を受容する吸収部材として線状のものを用い、これを移動させる場合において、流体による装置内の汚染を防止できる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】本願発明のプリンター１は、ノズル列Ｌに沿って延在するとともに、該ノズル列Ｌに沿って移動可能に設けられ、ノズル２４から噴射されたインクを吸収する線状の吸収部材１２と、吸収部材１２を巻き取った状態からこれを巻き出すことで送り出す送出リール１６と、送出リール１６から送り出された吸収部材１２を巻き取る巻取リール１７と、吸収部材１２の走行経路上であってノズル列Ｌから吐出されたインクを受容する位置と巻取リール１６との間に配置され、吸収部材１２からインクを除去する流体除去機構７０と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に接着剤の塗布膜を所望する膜厚で形成する。
【解決手段】半導体装置の製造装置１は、塗布対象物Ｗに向けて接着剤を複数の液滴として吐出する塗布ヘッド６ｃと、塗布対象物Ｗが載置され、塗布ヘッド６ｃの下方を移動可能なステージ６ａと、塗布ヘッド６ｃの吐出を安定させる吐出安定部６ｅとを備え、吐出安定部６ｅは、塗布ヘッド６ｃから吐出された液滴を撮像して吐出確認を行う吐出確認部８１と、塗布ヘッド６ｃの吐出面を清掃しかつ濡れた状態にする清掃湿潤部８２と、塗布ヘッド６ｃから吐出された液滴の吐出量を確認する吐出量確認部８３と、吐出確認部８１、清掃湿潤部８２及び吐出量確認部８３を、それぞれの作業位置とステージ６ａとの干渉を回避する退避位置とに移動させる駆動部とを具備している。 （もっと読む）

【課題】使用できるスペースに制限のある作業場所においても、塗料の洗浄によって生じた廃水を適正に処理可能な器具類の付着物の洗浄装置を提供する。
【解決手段】水性塗料又はその他の汚れが付着している器具類を水で洗浄した洗浄廃水を貯留可能であり、洗浄廃水に対して中和と凝集を含む必要な処理を行うために、洗浄廃水を溜めるときは排水口１３を閉じ、洗浄廃水を排出するときには排水口を開く開閉部２０を設けた貯留槽１４と、上記貯留槽内部に着脱可能に配置され、必要な処理の行なわれた洗浄廃水を槽外部へ排出する際に凝集分ないし固形分を捕集する粗フィルターを備えた第１の分離手段と、上記貯留槽から排出された洗浄廃水を受け入れ、第１の分離手段を通過した固形分を捕集するために、上記粗フィルターよりも細かいメッシュを持つ細フィルターを備えた第２の分離手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】媒体の端部を固定するためのグリッパーや該グリッパーを開閉させる機構等に付着した液状の付着物が確実に除去される媒体搬送装置及び画像形成装置並びに媒体搬送装置の洗浄方法を提供する。
【解決手段】印刷ジョブ間の休止期間において、圧胴の凹部(20)に設けられるグリッパー(14)に対して洗浄装置(16)から洗浄液が供給される。洗浄液が供給されたグリッパーは、ヒータ(40A)による乾燥処理位置に移動され、ヒータから供給される乾燥風による乾燥処理が施される。一方、印刷ジョブ実行時には、一回の処理ごとに圧胴の周面(12A)に対して洗浄液が供給され、圧胴の周面の洗浄処理が実行される。グリッパーを洗浄する手段として圧胴の周面を洗浄する洗浄装置が適用され、洗浄液供給後のグリッパーを乾燥させる手段として媒体に乾燥処理を施すヒータが適用される。 （もっと読む）

【課題】周囲を汚染することなく確実にノズル面を清掃できるノズル面清掃装置及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】水平面に対してノズル面３０が傾斜して設けられたインクジェットヘッド１６を長手方向に沿って移動させる。移動するインクジェットヘッド１６のノズル面３０に洗浄液付与ヘッド２１０から洗浄液を付与する。洗浄液が付与されたノズル面３０の傾斜方向下縁部にスキージ２１２を当接させ、ノズル面３０の傾斜方向下縁部に付着する余剰洗浄液をスキージ２１２で掻き取る。これにより、ノズル面３０に付与した余剰洗浄液がノズル面３０から落下して、周囲を汚染するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル内への液体の押し込みを防いでノズル面を確実に清掃できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル形成領域３０Ａの両側にノズル保護領域３０Ｂが突出して形成され、傾斜して設置されたインクジェットヘッド１６のノズル面３０を清掃するノズル面清掃装置において、ノズル面３０を払拭ウェブ１１０で払拭する前に傾斜方向下側のノズル保護領域３０Ｂをブレード２００で払拭する。これにより、不要な液体を払拭ウェブ１１０で払拭する前に除去でき、払拭ウェブ１１０に過剰に液体が吸収されて、払拭ウェブ１１０の吸収能力が低下するのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとの位置関係が不当に厳格とならないようにした上で、両者の接触に起因する耐久性の低下、摩耗粉塵等の異物の発生、印刷不良や配向膜形成不良等を回避する。
【解決手段】 液状材料噴出口３の周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズル５を有し且つインクジェットヘッド１に対して非接触で相対移動可能な洗浄移動ユニット４を備えた構成において、複数個のインクジェットヘッド１を液状材料噴出口３の配列方向に千鳥状に配設すると共に、それらのインクジェットヘッド１の各列毎に真空ノズル５を配設して、それらの真空ノズル５を、液状材料噴出口３の配列方向に移動させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】洗浄性能を維持しつつ、洗浄水の使用量を大幅に削減することが可能な節水型基板洗浄システムを提供する。
【解決手段】薬液処理ゾーン１０の下流側に複数の洗浄ゾーン２０，３０及び４０を基板搬送方向に沿って配列する。最上流側の洗浄ゾーン２０にパドル処理用の洗浄機構２２を設ける。最下流側の洗浄ゾーン４０における洗浄機構４１，４２に未使用の純水からなる洗浄水を供給する。使用後の洗浄水を上流側の洗浄ゾーンにおける洗浄機構へカスケード方式で順次送給する。最上流側の洗浄ゾーンでの使用済み洗浄水を廃棄する。最上流側の洗浄ゾーンに基板先端が進入する前に当該洗浄ゾーンにおける洗浄機構２２からの洗浄水の吐出を開始し、当該洗浄ゾーンから基板後端が抜け出た後も所定時間、洗浄水の吐出を続けることにより、洗浄ゾーンで使用される洗浄水の汚染度を、許容限度内で且つその限度近傍に維持する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとの位置関係が不当に厳格とならないようにした上で、両者の接触に起因する耐久性の低下、摩耗粉塵等の異物の発生、印刷不良や配向膜形成不良等を回避する。また、インクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入して液状材料の濃度が低下するという不具合を回避した上で、負圧吸引による洗浄能力をより高める。
【解決手段】 ライン状に配列された複数の液状材料噴出口３の周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズル５を有し且つインクジェットヘッド１に対して相対移動可能な洗浄移動ユニット４を備えた構成において、真空ノズル５の先端に存する負圧吸引領域を、液状材料噴出口３の配列方向に短尺に且つその配列方向と直交する方向に長尺になるようにして、真空ノズル５を上記の配列方向に移動させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ゲル状異物を効率よく排出させる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引する吸引部と、前記液滴吐出ヘッドに対して前記機能液が供給される流路に設けられたフィルターと、前記フィルターを加温する加温部と、前記液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引させる第１クリーニングモードと、前記フィルターを加温させながら前記液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引させる第２クリーニングモードと、を選択的に切り替える制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドに影響を与えることなく、流路における汚れを好適に解消でき、長期間にわたって安定的な液滴吐出を行うことができる液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、顔料粒子が分散媒に分散したカラーフィルター用インクを吐出するものであって、カラーフィルター用インクを貯留するインク貯留層と、カラーフィルター用インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、インク貯留部から液滴吐出ヘッドに向かってカラーフィルター用インクを搬送する搬送路と、搬送路に設けられ、カラーフィルター用インクの液滴吐出ヘッドへの供給圧力を制御する自己封止弁と、搬送路の自己封止弁よりもインク貯留部側に設けられたフィルターと、液滴吐出装置の洗浄に用いられる洗浄液を搬送路にカラーフィルター用インクの流れる方向とは反対方向に向かって流す洗浄機構とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイコータの受渡し、分解及び組立てを、トータル的に安全かつ迅速に行うことが可能なダイコータ用分解・組立台の提供。
【解決手段】ダイコータ用分解・組立台１ａは、ダイコータ１１の第一ブロック１１１が着脱自在に固定される固定部材３ａと、ダイコータ１１の第二ブロック１１２が着脱自在に固定される移動用固定部材４ａと、移動用固定部材４ａを移動させる移動装置５と、ダイコータ１１を搬送するダイコータ用台車との間で、ダイコータ１１を受け渡しする受渡し装置６とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消できる液滴吐出装置
およびその洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用
いられ、顔料粒子が分散媒に分散したカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置
であって、前記インクを貯留するインク貯留槽と、前記インク貯留槽から送液された前記
インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、前記インク貯留槽から液滴吐出ヘッドへ前記インク
を送液するためのインク搬送路と、液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液
貯留槽と、前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄
液搬送路と、前記洗浄液を加温する加温手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板を回転させながら、液処理を行う液処理装置において、ミストやパーティクルの流出を抑え、且つ排気ポートから排気するための排気流量を抑えることができる技術を提供すること。

【解決手段】基板の回転により基板上の液を振り切るときには、外カップの下縁部をベース部の上方の第１の高さ位置に位置させ、装置が待機状態にあるときには前記外カップの下縁部の下方側から外部の気体を排気空間に流入させるために当該下縁部を第１の高さ位置よりも高い第２の高さ位置に位置させる昇降部と、前記処理液を案内するために、前記外カップの下縁部から内側に下向きに傾斜しながら伸び出す傾斜面部とを備えるように液処理装置を構成する。スピンチャックが回転しているときに前記排気空間の気体が外カップの下縁部に回り込んでベース体との間から外カップの外にミストやパーティクルが流出することが抑えられる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄溶液を用いて内部を洗浄する塗工ヘッドにおいて、洗浄溶液が塗工ヘッドの内部を淀むことなく流れ、塗工ヘッドの内部の全域が洗浄される塗工ヘッドを提供する。
【解決手段】 塗工溶液を安定して塗工口４に送るための塗工溶液チャンバー５と、洗浄溶液を塗工溶液チャンバー５へ注入するための洗浄溶液注入流路６と、洗浄溶液を塗工溶液チャンバー５の外へ排出するための洗浄溶液排出流路８と、を備える。塗工溶液チャンバー５が、対向する端面の距離が外周に行くほど小さくなるＲ形状部９を有する円筒形状である。洗浄溶液注入流路６が、塗工溶液チャンバー５の軸方向の端部から塗工溶液チャンバー５の外周の接線方向に延びている。洗浄溶液注入流路６が設けられている位置とは異なる軸方向の位置に、塗工溶液チャンバー５の外周の接線方向に洗浄溶液排出流路８が延びている。 （もっと読む）