【課題】この発明は、安価且つ容易に製造でき、エア流量を容易に均一化でき、取り扱いを容易にできるエアナイフユニットを提供することを課題とする。
【解決手段】エアナイフユニット１０は、間に帯状の隙間Ｇを形成する第１および第２の板金１、２、これら第１、第２の板金１、２とともにエアチャンバ１４を区画する第３の板金３、および第１乃至第３の板金１〜３の両端を封止する第４の板金４ａ、４ｂを有する。板金１、２のフランジ部１ｃ、２ｃには、エアチャンバ１４に連通した複数の通気孔１５が形成されており、板金２の対向部２ａの板金１から離間した裏面側には、複数本の調整ネジ１１を螺合する螺合部材６が貼り付けられている。 （もっと読む）

【課題】基板を略水平に保持した状態で所定の処理を行う基板処理装置および基板処理方法において、遮断板を用いた処理技術と同様の遮断効果を得ながらも、より装置の小型化に適した技術を提供する。
【解決手段】基板Ｗの略中央上方にガス噴射ヘッド２００を設ける。ガス導入口２９１から導入された窒素ガスを、内部のバッファ空間ＢＦを経てスリット状の噴射口２９３から噴射する。これにより基板の上方には、上下方向に噴射方向が制限される一方、水平方向には略等方的な放射状のガス流が形成される。そのため、基板周囲のゴミＤやミストＭ等は外方向へ押し流されて基板Ｗに付着することがない。ガス噴射ヘッド２００は基板Ｗの直径より小さくすることができ、しかも基板表面から退避させたり回転させる必要がないので、装置を小型に構成することができる。 （もっと読む）

【課題】塗料を循環させつつ、この塗料とエアとを選択的に吐出できる注入ガンを提供すること。
【解決手段】注入ガン６０は、塗料およびエアを選択的に吐出する。具体的には、この注入ガン６０は、円筒状のガン本体６１と、このガン本体６１の内部に摺動可能に設けられた円筒状の塗料シャフト６２と、この塗料シャフト６２の内部に摺動可能に設けられたエアシャフト６３と、を備え、ガン本体６１には、塗料が流通する塗料供給路６１１および塗料排出路６１２が貫通して形成され、ガン本体６１および塗料シャフト６２には、それぞれ、エアが流通するエア供給路６１４およびエア供給路６２２が貫通して形成され、塗料シャフト６２の外周面には、塗料シャフト６２の先端がガン本体６１の先端まで前進した状態で、塗料供給路６１１の貫通位置から塗料排出路６１２の貫通位置に至る凹部６２３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】隣り合うパターンを近づけることができ、且つ粘性流体材料の垂れ落ちがないノズルを提供する。
【解決手段】粘性流体材料の概ね傾斜波状パターンを形成するノズル（４０）において、ノズルが塗布装置に取り付けられたときに、基材との相対移動方向に対して所定角度で傾斜した長手方向に延在する突起（４６）と、突起に設けられ、粘性流体材料を吐出して、実質的に連続した粘性流体材料の繊維を形成するためのオリフィス（４８）と、突起（４６）の長手方向に延在する両壁（４６ａ）の近傍にそれぞれ設けられ、粘性流体材料の繊維に対してガスを噴射して粘性流体材料を長手方向とほぼ垂直な方向に振動させる少なくとも二つのガス孔（５６）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】浸漬塗布法によって基板上に薄膜を形成する薄膜製造において、基板の下縁部に溜まる塗布液のタレをエアにより完全に除去するとともに、基板上に均一な膜厚の薄膜を形成する薄膜製造における液切れ方法及びその方法を用いた薄膜製造装置を提供する。
【解決手段】薄膜を浸漬塗布法によって製造する過程で塗布液中に浸漬した基板２３０を垂直に引き上げた時、基板に付着する塗布液のタレを取り除く薄膜製造における液切り方法及びその方法を用いた薄膜製造装置２００であって、引き上げ動作中にある基板の位置及び基板の材質に応じて、エアの強弱を調整して吹き付けると共に、基板の下縁部２３１を検出した際に、下縁部に他の部分と比較して強いエアの吹きつけを行うことによって、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ノズル先端にペーストが付着する（溜まる）のを防止でき、しかも、ペースト塗布工程終了時にはペースト塗布部が平坦に広がっているペースト塗布方法およびペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト吐出口１６とエア噴出口２３を有するノズル１５を基板１の被ペースト塗布部位１７に接近させる。ペースト吐出口１６からペースト１４を被ペースト塗布部位１７に吐出して、基板１上にペースト塗布部２７を形成する。その後、エア噴出口２３からペースト塗布部２７の中心部に向けてエアを噴射しつつノズル１５をペースト塗布部２７から離間させる。これによって、ペースト塗布部２７を平坦に広げる。 （もっと読む）