【課題】従来の硬質（乾式）研磨パッドを用いた場合に生ずるスクラッチの問題を改善し、かつ研磨レートや研磨均一性に優れ、一次研磨だけでなく仕上げ研磨にも対応できる研磨パッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】略球状の気泡を含むポリウレタンポリウレア樹脂発泡体を有する研磨層を含有する研磨パッドであって、前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体は、Ｍ成分のスピン−スピン緩和時間Ｔ２が１６０〜２６０μｓであり、
前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体の４０℃、初期荷重１０ｇ、歪範囲０．０１〜４％、測定周波数０．２Ｈｚ、引っ張りモードにおける貯蔵弾性率Ｅ’が１〜３０ＭＰａであり、且つ、
前記ポリウレタンポリウレア樹脂発泡体の密度Ｄが０．３０〜０．６０ｇ／ｃｍ^３の範囲内であることを特徴とする、半導体デバイス研磨用の研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】クッション性を確保し被研磨物の平坦性精度を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、湿式凝固法により、ウレア結合によるハードセグメントの含有率ＨＳＣが８〜４０％のポリウレタンポリウレア樹脂で形成された樹脂シート２を備えている。樹脂シート２では、研磨面Ｓｐを有し、内部に厚み方向に縦長の多数のセル３が形成されている。樹脂シート２の厚みｔに対して縦長方向の長さが５０％以上の大セル３ａは、長さの１／２を超える長さ分で研磨面Ｓｐから離れた位置に最大孔径Ａを有している。樹脂シート２では、研磨面Ｓｐから厚みｔの５％分内側にセル３で形成された開孔の平均孔径Ｂに対する最大孔径Ａの比Ａ／Ｂの単位面積あたりの平均値が５〜２０の範囲に調整されている。樹脂シート２の硬度が高まり、研磨圧で大セル３ａが変形する。 （もっと読む）

【課題】発泡形状を安定化させ被研磨物の平坦性を向上させることができる研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１０は、ウレタン樹脂で形成された発泡シート２を有している。発泡シート２は、湿式成膜法により形成された連続状の発泡構造を有している。発泡シート２には、カーボンブラックのストラクチャー９が凝集した凝集体５が含有されている。凝集体５は、分散剤のＡＢＳ樹脂で被覆されている。凝集体５は、グラインドゲージ分布図法で測定した分散状態が３．０μｍ以下に制限されている。凝集体５が湿式成膜時にさらに凝集した大きな凝集体を形成することなく、略均一に分散される。 （もっと読む）

【課題】安定した研磨レートを保持しうねりの低減を図ることができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液が成膜基材に塗布される。次の気化工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液が、５０℃〜８０℃の雰囲気下へ案内され、１０分〜６０分間の熱処理が施される。加熱雰囲気下へ案内されたポリウレタン樹脂溶液は、少なくとも表層に含まれる有機溶媒の一部が気化される。次いで凝固工程で、塗布され熱処理が施されたポリウレタン樹脂溶液が凝固液中で凝固再生される。凝固再生時にポリウレタン樹脂溶液中にマクロ気孔が形成されることなく、ミクロ気孔（気孔３）が略均一かつ略均等に形成される。 （もっと読む）

【課題】クッション性を確保しつつ長期にわたり研磨性能を発揮することができる研磨パッドの製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドは、湿式成膜法で一体形成されたウレタン発泡体を備えている。湿式成膜法では、塗布工程で、ポリウレタン樹脂溶液を帯状の成膜基材にシート状に略均一に塗布する。成膜基材には表面平滑性を有するＰＥＴ製フィルムを用いる。浸漬工程で、成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液を、水を主成分とする凝固液に浸漬する。剥離工程で、ポリウレタン樹脂の凝固再生が完了する前に凝固液中で凝固再生中のポリウレタン樹脂を成膜基材から剥離した後、ポリウレタン樹脂の凝固再生を完了させる。厚み方向両側でシームレスに発泡構造の異なるウレタン発泡体が一体形成される。 （もっと読む）

ポリマー内部に分散した要素網状構造と、パッド内に形成された複数の空隙と、前記空隙の少なくとも一部分に連結される前記要素網状構造の少なくとも一部分と、を含む化学機械的平坦化研磨パッドが提供される。要素網状構造、およびポリマーと反応性プレポリマーとの少なくとも１つを含む組成物を提供するステップと、組成物に対し第１の気体を導入するステップと、気体を用いて組成物の中に複数の空隙を生成するステップと、を含む化学機械的平坦化研磨パッドを形成する方法も同様に開示されている。ポリマーまたは反応性ポリマーの内部で要素網状構造に対して力を加え、続いて力を除去し空隙を形成させることによる空隙形成方法も同様に開示されている。
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【課題】 スラリー漏れを防止することができ、かつ光学的検知精度に優れる研磨パッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】 ポリウレタン発泡体からなる研磨領域９を作製する工程、貫通孔１２と棚部１３とからなる開口部１４を前記研磨領域に形成する工程、前記研磨領域より薄い凸状の光透過領域１０を作製する工程、前記光透過領域を前記研磨領域の開口部内に設置する工程、及び前記研磨領域の研磨裏面側に透明支持フィルム１１を貼り合わせる工程を含む研磨パッド８の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 研磨領域と光透過領域との間からのスラリー漏れを防止することができ、光学的検知精度に優れる研磨パッドを生産性よく製造する方法を提供する。
【解決手段】 機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、透明支持フィルムをモールド内に配置し、該支持フィルム上の所定位置に注入孔及び注入壁を有する光透過領域形成用型枠を配置する工程、前記注入孔内に光透過領域形成材料を吐出し、該光透過領域形成材料を硬化させて光透過領域を形成する工程、前記注入孔外の前記透明支持フィルム上に前記気泡分散ウレタン組成物を吐出し、該気泡分散ウレタン組成物を硬化させて研磨領域を形成する工程、及び前記光透過領域形成用型枠及びモールドを離型して、光透過領域と研磨領域との間に隙間を有する研磨層を作製する工程を含む研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、優れた動的摩擦性能を発揮する湿式摩擦部材及びこの湿式摩擦部材を製造するための炭素繊維複合材料を提供する。
【解決手段】 本発明は、炭素繊維１１と、前記炭素繊維１１同士を接合するマトリックス１２とが含まれる炭素繊維複合材料１０であって、３．５ｎｍ以上、１００ｎｍ以下の径の微細気孔を備えることを特徴とする。この炭素繊維複合材料１０は、マトリックス１２にナノメータ（ｎｍ）オーダーの径の微細気孔が形成されているので、炭素繊維複合材料１０の比表面積が増大する。その結果、この炭素繊維複合材料１０からなる湿式摩擦部材は、その動的摩擦性能が高められる。 （もっと読む）