【課題】高密度磁気記録を行うには、磁性体を充填する細孔を微細にする必要があり、その微細な加工を短時間で行い、製造コストの低減ならびにスループットの向上を図る。
【解決手段】加工速度が早い加工装置により、基板に比較的大きな凹パターンを形成した後、その凹パターン内に薄膜を形成することにより、微細で均一なパターンを低コストかつ高スループットのプロセスによって、形成できる。この基板内に磁性体を埋め込むことで、パターンドメディアが形成される。また、この基板をインプリントモールド原版またはインプリントモールドとして用いることにより、磁気特性に優れた磁性層を有するパターンドメディアの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】モールドに形成された所望のパターンを被成形材料へ転写して被成形物を形成する際に発生する欠陥を容易に検出する。
【解決手段】被成形物とモールド３０とを引き離す離型時に加わる力である離型力を検出し、被成形物の形成を連続して行う場合に、制御部５０によって、検出された離型力の変動から、転写後の被成形物に転写欠陥があるかどうかを判定することで実現する。 （もっと読む）

【課題】 基板やフィルムの表面に微細な金型の凹凸パターンを転写成形するナノインプリント法において、離型する際に転写成形された凹凸パターンに欠陥の生じない、連続して安定したパターン形成を行うことの出来る、パターン形成装置及び方法を提供する。
【解決手段】 基板もしくはフイルムの被加工物に、凹凸パターンを有する金型を押し付け凹凸パターンを転写成形するパターン形成装置であって、前記金型を前記被加工物から離型する際の力を検出する検出器と、前記転写成形を連続して行うことによる、前記検出器の測定結果の経時変化から前記金型の凹凸表面に塗布される離型剤の塗布時期を判断する判断手段を備えた装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント用モールド表面に形成した離型剤の塗布状態を微視的に検査する方法であって、微細な凹凸パターンの凹部パターン底面を含め、モールド表面が離型作用を受けるに十分な量の離型剤で均一に被覆されているか否かを迅速かつ簡便に知ることができる検査方法およびパターン形成方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有し、前記凹凸パターン上に離型剤が塗布形成されたナノインプリント用モールドの離型剤の塗布状態の検査方法であって、走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを用いて、前記離型剤が塗布形成された凹凸パターンの測定領域において、前記カンチレバーの探針先端と前記離型剤が塗布形成された凹凸パターンとの間に働くフォースカーブから前記探針と前記凹凸パターン表面の離型剤との間の付着力を計測し、前記付着力より前記離型剤の塗布状態を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

インプリント・リソグラフィ・プロセスの分離プロセスにおける頑強層分離を改善するためのシステムおよび方法について述べる。この方法は、インプリントする基板とテンプレート間の歪みを一致させる段階、分離中にテンプレートおよび／または基板に印加される力を変更または修正する段階、または分離プロセスの動特性を変更または修正する段階を含む。
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【課題】 従来の微細加工装置や方法においては、量産や実用用途に適用することは困難であった。
【解決手段】 原版を被加工物の表面に押し付けることにより、該被加工物に前記原板の凹凸のパターンを反転させて転写する微細加工方法は、前記被加工物に前記原版を押し付けることにより加工のための条件を決定する工程を有する。前記決定工程において決定される条件は、前記原版と前記被加工物との相対角度、および前記原版の温度の少なくとも一方を含む。 （もっと読む）