Fターム[4F213AM25]の内容
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Fターム[4F213AM25]に分類される特許
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3次元造形装置
【課題】 装置のサイズが大きくなるのを抑制しつつ、脱臭効率を向上させることができる3次元造形装置を提供する。
【解決手段】 造形ステージ112が略水平に配置される造形室Rzと、造形室Rz内の造形空間に対して外気を取り込む吸気口11aと、造形空間からの空気を排出するための排気口52aと、造形室Rzの下方に配置される脱臭室Rdと、排気口52aと脱臭室Rd内の上部に設けられる連通口141とを接続する排気ダクトDにより構成される。脱臭室Rdは、略水平に配置された誘導板142により、上部導風路143及び下部導風路144に分割され、誘導板142の前端を回り込んで上部導風路143から下部導風路144へ流れるUターン型の導風経路を形成し、下部導風路144には、排気ファン145が配置されるとともに、排気ファン145よりも前方に脱臭フィルタ146が配置される。
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インプリントリソグラフィ
【課題】 インプリントテンプレートのためのインプリントテンプレートカバーを提供する。
【解決手段】 インプリントテンプレートのためのインプリントテンプレートカバーであって、インプリントテンプレートはその上にパターンフィーチャを有し、カバーは、使用中に、インプリントテンプレートのパターンフィーチャの周りに延在するように、かつカバーがパターンフィーチャと接触しないように構成されている、カバーが開示される。
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