【課題】 高密度および高強度を有し、窒化チタン系の膜を成膜可能なスパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 窒化チタン粉と酸化チタン粉とを焼結したスパッタリングターゲットであって、Ｎ：３０〜４３ａｔ％、Ｏ：９〜２７ａｔ％を含有し、残部がＴｉおよび不可避不純物からなる成分組成を有し、Ｏ／Ｔｉ原子比が２未満の酸化チタンを含む焼結体からなり、該焼結体の密度が４．４ｇ／ｃｍ^３以上である。また、このスパッタリングターゲットの製造方法は、窒化チタン粉と酸化チタン粉とを混合して混合粉末を作製する工程と、該混合粉末を真空中でホットプレスにて焼結する工程とを有し、前記酸化チタン粉の少なくとも一部をＯ／Ｔｉ原子比が２未満の酸化チタン粉とし、この酸化チタン粉を窒化チタン粉と混合する。 （もっと読む）

【課題】 固体電解コンデンサの小型化と大容量化との両立を図ることが可能なＮｂ化合物の微粉末、多孔質焼結体、これを用いた固体電解コンデンサ、およびこれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】 Ｎｂ化合物の微粉末であって、その組成が、ＮｂｘＯｙＮｚ（ｘ，ｚは０を超える正の数、ｙは０以上の正の数）で表され、その電気伝導度が、Ｎｂの電気伝導度の１／１０以上である。 （もっと読む）

【課題】相変化記録媒体の界面層膜の結晶化促進機能と光学的特性とを両立させた金属化合物膜の成膜等を可能にするスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】スパッタリングターゲットは、Ｍ（Ｏ_1-xＮ_x）_z（ＭはＴｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも1種の元素、0.1≦ｘ≦0.5、0.5≦ｚ≦2.0（原子比））で表される組成を有する。このようなスパッタリングターゲットを用いて成膜した金属酸窒化膜は、相変化記録媒体１の界面層４、６等に使用される。 （もっと読む）

【課題】金属切削工具用途のためのサイアロン系セラミック材料に、優れた堅牢性を有する、金属の機械加工のために最適な組成物、好ましくは耐熱性スーパーアロイを提供する。
【解決手段】本発明は、β−サイアロン（Ｓｉ_6-zＡｌ_zＯ_zＮ），α−サイアロン、ＴｉＮ，Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）またはＴｉＣを含む耐熱硬質相、粒間の非晶または部分的に結晶の相に基づき、かつイットリウムを含むセラミック材料に関する。β−サイアロン相はｚ値０．３〜０．８を有する。耐熱硬質相の量は１０〜２０質量％である。該材料は、耐熱性スーパーアロイ（ＨＲＳＡ）の機械加工のための切削工具挿入物として特に有用である。 （もっと読む）

【課題】毒性が少なく存在量の多い元素により構成され、耐熱性、化学的耐久性等に優れ、しかも高い熱電変換効率を有する新規なｎ型熱電変換材料を提供する。
【解決手段】一般式：Ｔｉ_１−ｘＡ_ｘＯ_ｙＮ_ｚ（式中、Ａは周期表における第４周期及び第５周期の遷移金属からなる群から選ばれた少なくとも一種の元素であり、０≦ｘ≦０．５； ０．５≦ｙ≦２；０．０１≦ｚ≦０．６である）で表される組成を有し、５００℃以上において絶対値が３０μＶ／Ｋ以上の熱起電力を有する金属酸窒化物熱電変換材料。
【効果】上記金属酸窒化物からなる新規なｎ型熱電変換材料、熱電変換素子及び熱電変換モジュールを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】相変化記録媒体の界面層膜の成膜等に用いられるスパッタリングターゲットの製造方法において、均質で歩留まりの良いターゲットを得るための製造方法を提供する。
【解決手段】 Ｔｉ，ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも１種のＭ元素の酸化物粉末とＭ元素の窒化物粉末を混合、成形した後、焼結する工程を具備することにより、スパッタリングターゲットは、Ｍ（Ｏ_1-xＮ_x）_z（ＭはＴｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも1種の元素、0＜ｘ≦0.7、0.5≦ｚ≦2.0（原子比））、または（Ｍ_1-aＣｒ_a）（Ｏ_1-xＮ_x）_z（ＭはＴｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも1種の元素、0.1≦ａ≦0.5、0＜ｘ≦0.7、0.5≦ｚ≦2.0（原子比））で表される組成を有する。 （もっと読む）

【課題】相変化記録媒体の界面層膜の成膜等に用いられるスパッタリングターゲットにおいて、結晶化促進機能と光学的特性とを両立させた金属化合物膜の成膜を可能にする。
【解決手段】スパッタリングターゲットは、Ｍ（Ｏ_1-xＮ_x）_z（ＭはＴｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも1種の元素、0＜ｘ≦0.7、0.5≦ｚ≦2.0（原子比））、または（Ｍ_1-aＣｒ_a）（Ｏ_1-xＮ_x）_z（ＭはＴｉ、ＺｒおよびＨｆから選ばれる少なくとも1種の元素、0.1≦ａ≦0.5、0＜ｘ≦0.7、0.5≦ｚ≦2.0（原子比））で表される組成を有する。このようなスパッタリングターゲットを用いて成膜した金属酸窒化膜は、相変化記録媒体１の界面層４、６等に使用される。 （もっと読む）

【課題】酸素濃度が１０００ｐｐｍ以下の非酸化性雰囲気であっても強度の著しい劣化や破損を防止することができるとともに、実使用できる寿命を大幅に向上させることができる非酸化性雰囲気用窯道具を提供する。
【解決手段】主成分としてＳｉＣとＳｉ₃Ｎ₄及び／又はＳｉ₂Ｎ₂Ｏを含んで構成され、酸窒化珪素と酸化珪素以外の無機酸化物を０．１２〜３．０質量％含有する非酸化性雰囲気用窯道具である。 （もっと読む）

【課題】 難削材料の高速切削加工においても、耐摩耗性に優れ、被削材が溶着し刃先の損傷を引き起こすことのない寿命の長いサイアロン製スローアウェイチップおよびこれを装着した切削工具の提供。
【解決手段】 αサイアロン相およびβサイアロン相からなるサイアロン相と、ガラス相および／または結晶相からなる粒界相とを持つサイアロン中の、Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚで表されるβサイアロン相のＺ値が０．２〜１であり、サイアロン相中のαサイアロン相の比率を示すα率が１０〜４０％であり、サイアロン中にはＳｃ、Ｙ、Ｄｙ、Ｙｂ、Ｌｕから選ばれる希土類元素１種以上を酸化物換算で合計２〜５モル％含有し、該希土類元素のうち３０〜５０モル％はαサイアロン相中に存在しているサイアロン製スローアウェイチップ、およびこのサイアロン製スローアウェイチップをホルダーに装着した切削工具。 （もっと読む）

【課題】 緻密かつ高剛性・高熱伝導率の窒化ケイ素焼結体とその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 窒化ケイ素80〜99質量%と、粒界相がIVa族元素の窒化物のうち少なくとも1種の窒化物0.1〜5質量%、残部がMg、SiおよびIVa族元素の少なくとも1種を含む酸化物もしくは酸窒化物からなり、かつIVa族元素とMgのモル比が酸化物換算で1:1〜1:10の範囲内であり、密度が3.1g/cm³以上、ヤング率が300GPa以上かつ熱伝導率が50W/mK以上であることを特徴とする窒化ケイ素材料。 （もっと読む）