【課題】少なくとも３つの吸着剤容器（Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３）を使用した吸着サイクルによって、ガス混合物を分離する方法を提供すること。
【解決手段】その吸着サイクルでは、１つの吸着剤容器から吸着製品を回収するスイープ段階が吸着剤容器のうちの別のもののそれと重なり合い、及び／又は、供給物洗浄段階における１つの吸着剤容器からの流出物が空気スイープ段階にある別の吸着剤容器に送られる。また、製品オゾン濃度が１０ｍｇ／ｌの範囲内に維持されるＰＳＡオゾン分離サイクルも提供される。 （もっと読む）

【課題】放電によるオゾン発生器と吸着による分離および酸素の回収、リサイクルを備えるオゾン発生システムにおいて、ＮＯxなどの望ましくない副生物を生じさせずに、効率よくオゾンを製造する方法と装置を提供する。
【解決手段】オゾン発生器へ導入される酸素流に添加物質としてヘリウムを導入し、発生器の流出物を吸着プロセスへ導く。オゾンの発生及び回収プロセスを維持するのに必要とされる補給ヘリウムと酸素の量を減らすようにされる改良ＰＳＡサイクル。 （もっと読む）

【課題】オゾンを貯蔵する際に吸着媒体に吸着したオゾンを空気を利用して脱着させるオゾン脱着方法およびオゾン貯蔵脱着装置を提供する。
【解決手段】純酸素もしくは高濃度の酸素をオゾン発生部に供給ガスとして供給し、該供給ガスに対して前記オゾン発生部内で放電を行って、オゾンを発生させるオゾン発生工程と、該オゾン発生工程により発生したオゾンを吸着媒体に吸着してオゾン貯蔵手段に貯蔵するオゾン貯蔵工程と、該オゾン貯蔵工程によりオゾンが吸着された吸着媒体に対して空気を供給し、前記吸着媒体からオゾンを脱着させる空気供給工程と、該空気供給工程後に前記オゾン貯蔵手段内の真空引きを行う真空引き工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】発生させた高濃度オゾンガスのオゾン濃度を減少させることなく安定的に高濃度オゾン水を製造することが可能な高濃度オゾン水製造装置を提供する。
【解決手段】高濃度オゾンガス製造部２において、放電法によってオゾンガスを発生させ、そのオゾンガスを液化法や吸着法によって１０％ｖ／ｖ以上の高濃度オゾンガスを製造し、自己分解が抑制されるオゾンガス密度である１８００ｇ／ｍ^３以下に保った状態で高濃度オゾンガスを高濃度オゾン水製造部３にて純水に溶解させ、高濃度オゾン水を製造する。これによって、オゾンガスの自己分解を防止し、高濃度オゾンガスのオゾン濃度の減少を防止した状態で高濃度オゾン水を製造する。 （もっと読む）

【課題】生成したオゾンの分解率が小さく、オゾンを高い濃度で含有するオゾン含有ガスを効率良く製造する。
【解決手段】オゾン吸着剤床を収容した吸着塔にオゾン含有ガスを導入して吸着剤にオゾンを吸着させ、吸着が完了したらオゾン含有ガスの導入を停止し、吸着剤床の圧力を下げて吸着剤床からオゾンを脱着させて濃縮オゾンガスを回収する高濃度オゾンガスの製造・貯蔵方法であって、前記オゾン吸着剤として、（１）ペンタシル型ボロシリケート、（２）メソポーラス型シリコアルミノホスフェート（ＳＡＰＯ）、及び（３）部分的にＳＡＰＯ構造を有するペンタシル型ゼオライトの群から選ばれた少なくとも一種を用いる高濃度オゾンガスの製造・貯蔵方法。 （もっと読む）