【課題】構造の簡素化と流通させる液体の清浄度向上との両立を図り、液体の供給停止後に生じる使用部における液垂れを抑制することができる新たな構造を備えた液体供給装置を提供する。
【解決手段】液体の供給部１０と、液体の使用部２０と、供給部から使用部へ液体を流通させる供給配管部３０とを有する液体供給装置１Ａであって、供給配管部は、供給部側から供給される液体を流通させる主配管部３１と、主配管部に接続されるアスピレータ５０と、アスピレータにより分岐され使用部側に液体を供給する使用側配管部３２及び副配管部３３と、副配管部に接続され開閉機能を有する弁１６とを備えており、アスピレータの主流路側に主配管部及び副配管部が接続され、アスピレータの吸引流路側に使用側配管部が接続される。 （もっと読む）

【課題】電解液の注入量をさらに精度よく制御できる装置を提供する。
【解決手段】注入装置１は、シリンダ１１内の計量空間Ｓをピストン１２が動く計量ユニット１０と、電解液１９を注入するディスペンサ２０と、計量空間Ｓの上端部とディスペンサ２０とをつなぐ第１の管路４１と、第１の管路４１に配置され、ピストン１２の動作に伴う背圧の変化により作動する背圧弁５０と、第２の管路４２を介して計量空間Ｓへ流入する液をオンオフする入口弁５と、操作棒６１により背圧弁５０を一時的に開にセットする開放ユニット６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】内燃機関に燃料を円滑に供給することができる燃料供給システムを提供すること。
【解決手段】燃料タンク２から内燃機関７に燃料を供給する燃料供給システム１である。燃料供給システム１は、燃料を貯蔵する燃料タンク２と、内燃機関７に燃料を噴射供給するインジェクタ５と，このインジェクタ５に供給する燃料を高圧状態で貯蔵すると共にインジェクタ５に燃料を供給するコモンレール４と，このコモンレール４に燃料を送る燃料ポンプ３とを有する。燃料供給システム１においては、燃料が燃料タンク２から内燃機関７に供給されるまでの経路における燃料タンク２とインジェクタ５との間に、燃料中に含まれる金属又は金属イオンを燃料から分離除去する金属イオン除去手段１５を有する。 （もっと読む）

【課題】 流体に腐食性流体を使用しても各部品の腐食を防止でき、半導体製造装置内などへの設置および配管や配線接続が容易であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な、電気駆動による流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、電気式駆動部１１と流量制御部５からなる電動制御弁と、超音波を流体中に発信する超音波振動子１８と超音波振動子１９から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部９に出力する超音波振動子１８、１９を有する流量計センサ部４と、流量計センサ部４の信号によって流量を演算する流量計アンプ部９と、流量計アンプ部９で演算された流量値に基づいて電動制御弁の開度を調整しフィードバック制御するための制御部１０とを具備し、少なくとも流量計アンプ部９と制御部１０と電気式駆動部１１とを具備する電装モジュール７が１つのケーシング８内に設置される。 （もっと読む）

正確な方式で液体濃縮剤を計量しながらエダクタの希釈流に供給する混合及び分配装置。カム部材と共にニードル・バルブが使用され、カム部材は変化する角度の斜面を含む。このような方式で、ニードル・バルブを１回転するだけで、広範囲の希釈割合を実現することができる。この装置は、洗剤及び消毒剤などの化学濃縮剤を混合し分配するのに特に有用である。
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