【課題】
ＶＯＣ含有ガス分解装置内で発生させる塩素ガス濃度を、導入されるＶＯＣ含有ガス濃度に合わせて変動させることが可能な装置を提供する。
【解決手段】
塩素ガスとＶＯＣ含有ガスとが混合された混合ガスを光照射により分解させるＶＯＣ含有ガス分解装置において、導入されるＶＯＣ含有ガス濃度を測定する手段と、電流値によって発生する塩素ガスの濃度を制御できる塩素発生用の電気分解槽を有することを特徴とするＶＯＣ含有ガス分解装置。 （もっと読む）

【課題】 電極表面に結露等によって水分が付着しても、付着した水分が広がって蒸発しやすくすることで、イオンやオゾンの生成量が減少あるいは生成が停止するという現象を抑えることができるイオン又はオゾン発生素子を提供する。
【解決手段】 イオン又はオゾン発生素子は、絶縁体であるアルミナ基板３の裏表にタングステン系材料２、４を印刷・焼成によりイオン発生電極を形成し、その表面を多孔質シリカ膜５でコーティングして製造される。多孔質シリカ膜５は、コロイダルシリカ分散液をイオン発生電極に塗布後、１８０℃で焼成することで形成した。本コーティング膜表面における水の接触角は７°と小さくなっており、結露水が表面に付着した場合においても、結露水が薄く膜状に広がり、気化しやすくなっている。その結果、電極表面への結露に起因してイオン又はオゾン発生が減少や停止する現象の発生を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 接地電極および高電圧電極のいずれか一方の表面に誘電体層が施されたものにおいて、誘電体層の表面に絶縁されたギャップ支持体を比較的容易にかつ確実に設けることが可能な無声放電形オゾン発生器を提供することにある。
【解決手段】 同軸円筒状に構成された２つの電極のうち、外側電極を金属からなる接地電極管１とし、内側電極を金属からなる高電圧電極管３とし、一方の高電圧電極管３の外周表面に誘電体１２を施し、接地電極管１と高電圧電極管３との間に放電空間を形成し、これら両電極管に交流電圧を印加して放電空間に酸素を含むガスを通流しつつ無声放電を生じさせてオゾンを生成する無声放電形オゾン発生器において、高電圧電極管３に施された誘電体面に、セラミックの無機系絶縁物１３を誘電体材に固着することにより、放電空間の距離を維持する支持体６を設けている。 （もっと読む）

【課題】 住宅等に容易に設置でき、しかも手軽で安全な水活性装置を提供する。
【解決手段】 水活性装置１０は、入浴水１を貯留する浴槽２の内部に吸引口３と排出口４を開放した循環路５と、入浴水１を吸引口３から排出口４へ向けて送水するポンプ６と、純水を供給する純水供給手段７と、純水供給手段７に接続され純水を電気分解して発生する水素と酸素を循環路５に供給するガス発生手段８と、循環路５に設けられたフィルタ９とを備える。純水供給手段７とガス発生手段８の間には、終端１１を有する分岐路１２が設けられ、ガス発生手段８が発生する水素と酸素は、方向切換弁１３を経て循環路５又は分岐路１２に導かれる。
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半導体又は半導体化合物で構成される少なくとも１対の電極を、水中又は含水素有機化合物の液中に浸漬するように配置する。この少なくとも１対の電極間にパルス電力を印加し、前記水又は前記含水素有機化合物に含まれる水素原子を活性化して水素ガスを発生させる。このように構成した水素活性化装置は、水に電気伝導度を向上させるための電解質等を添加する必要が無く、しかも低エネルギーで水や含水素有機化合物等の水素原子を含む物質から水素を生成することができる。
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【課題】静電気放電に対する保護性に優れたガス発生器の点火装置を提供する。
【解決手段】エアバッグ等に用いられるガス発生器のための点火装置であって、基板と、この基板上に電気絶縁されて配置された薄膜の電気ブリッジ構造を有するブリッジ部と、基板上に配置されかつブリッジ部と同じ構造を有するとともに、ブリッジ部よりも大きな面積を有してブリッジ部の各端部に接続されたパッド部と、このパッド部の各々の上に重ねられかつブリッジ部を露出させるように離隔して配置されるとともに、電源に接続される一対の電気伝導性ランドと、を含み、ブリッジ部とパッド部との接続部分の四隅の輪郭が５μｍ〜１００μｍの曲率半径を有するように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

製造設備における分子フッ素生成と使用に対する統合した解決が、開示される。この統合した解決、およびシステムの一部分、および方法は、新規な局面を含む。本明細書に記載される方法およびシステムのいくつかの実施形態は、製造ツールにおいて、またはその近傍において、分子フッ素を生成する能力を提供し得る。本明細書に記載のシステムおよび方法のその他の実施形態は、複数のフッ素セルを有するフッ素発生器キャビネットを含み得る。この方法およびシステムは、ミクロ電気デバイス、集積ミクロ電子回路、セラミック基板を基礎にしたデバイス、フラットパネルディスプレイ、または他のデバイスのようなデバイスの製造に有用である。１つの特定の実施形態において、Ｆ_２が、製造設備における現場で発生し得、そしてプロセスツールの堆積チャンバーを清掃するのに使用される。 （もっと読む）

流体を周囲環境中に制御可能に放出するための装置。この発明の特定の実施形態によれば、この装置は、流体区画と、それに隣接して配置されるとともに、オリフィスを介してそれと流体連通するオリフィス区画と、を有するハウジングを具える。流体区画は、周囲環境に放出するための流体を収容する。オリフィス区画は、取り外し可能な密封要素によって覆われる流体排出開口を含み、かつ当該装置の未作動状態では、初期量の流体を収容する。流体リストリクタは、上記未作動状態で、流体区画からオリフィス区画内への液体の流れを制限するために上記オリフィスに隣接して配置されている。ガス発生セルは、当該装置が作動状態にある場合に、当該セルによって発生したガスが流体区画内に導かれるようにするために、流体区画と選択的に連通している。流体膜は、ガス発生セルと流体区画との間に配置されており、作動状態では、上記セルによって発生したガスを通過させ流体区画に流し、一方、未作動状態では、当該流体容器内の流体が通過してセルに流れるのを防ぐ。当該装置は、密封要素を取り外して、流体排出開口を介して初期量の流体をオリフィス区画外へ排出させ、かつ制御下において、セルを作動して、ガスを発生し、流体を、流体区画からオリフィス区画まで送り込み、前記流体排出開口から排出することによって作動する。
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流動型実験室水素化装置１００は、全て流路内に連結されている、貯留部１０４と、供給ポンプ１０２と、２個の入口及び１個の出口を備える混合エレメント１０８と、水素化反応器１１０と、圧力調整ユニット１１２とを備える。装置１００は、水素源１２６と、水素源１２６と混合エレメント１０８の第２の入口との間に配置される一方向バルブ１２０も備える。供給ポンプ１０２は、一定容積速度を与えるポンプにより実現される。貯留部１０４は、水素化すべき試料の基礎溶液として少なくとも溶媒を含む。水素化反応器１１０は、取外し可能な連結器により流路中に連結され、流動抵抗を増加させ、液体成分と気体成分との混合を促進する充填物を含む交換可能なカートリッジとして形成される。圧力調整ユニット１１２は、水素化反応器１１０の後ろで流路中に連結され、電気的に制御される調節器を備える。
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