５０ｍ^２／ｇより大きいＢＥＴ表面積を有する凝集した結晶質シリコン粉末。該粉末は、少なくとも１の蒸気状もしくは気体状のシランおよび場合により少なくとも１の蒸気状もしくは気体状のドープ物質および不活性ガスを反応器へを連続的に供給し、かつここで成分を混合し、その際、シランの割合は、シラン、ドープ物質および不活性ガスの全ての合計に対して０．１〜９０質量％であり、該混合物をエネルギーの入力により反応させ、その際、１０〜１１００ミリバールの圧力でマイクロ波領域の電磁線を用いてエネルギーを入力することによりプラズマを発生させ、反応混合物を冷却させ、かつ反応生成物を気体状の物質から粉末の形で分離することにより製造される。該粉末は電子部品の製造のために使用することができる。 （もっと読む）

反応容器の構成部材に過剰な温度負荷をかけることなく、生成したシリコンをスムーズに落下回収し、また、工業的に大規模な製造設備にスケールアップしてもシリコン析出用原料ガスを効率よく反応させ、かつシリコン微粉やシラン類オリゴマー成分の発生も抑制し、長期間にわたって工業的にシリコンの製造が可能な反応容器を提供する。
上下方向に延在する壁により囲まれた空間を形成した管型反応容器であり、上部にシリコン析出用原料ガス流入口と、下端に析出シリコン排出口とを備え、前記管型反応容器の原料ガスと接触する壁面に流通抵抗増加部位が形成されていることを特徴とする管型反応容器。流通抵抗増加部位が、突起、凹部、または傾斜から選ばれる少なくとも１種である。 （もっと読む）

本発明は乾燥した沈降シリカから製作される熱及び又は音響絶縁板材の製造方法に関し、フィルタプレスにより沈降シリカ粒子を含有する水性分散体を圧縮ろ過して圧縮ろ過ケーキを形成し、次いで得られた圧縮状態の前記ろ過ケーキを乾燥することより乾燥沈降シリカを製造する。本発明はまた乾燥沈降シリカを用いて熱及び／又は音響絶縁材料、例えば耐熱材又は高温耐熱材を製造する方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、ゴム加硫物の極めて高い強度を有する高分散性の沈降珪酸、その製造法およびゴム混合物のための充填剤としての該沈降珪酸の使用に関する。 （もっと読む）