【課題】導電性、耐熱性、耐薬品性、柔軟性、取扱い性が高く、かつ炭素繊維シートの品質の安定化が図りやすい炭素繊維シートを提供することを目的とする。
【解決手段】炭素繊維シートの原料繊維にフィブリル部を有する繊維を原料の一部として使用し、該フィブリルによって繊維を絡み合わせることにより、柔軟性、取扱い性を高め、同時に、炭素繊維シートを所定の物性値になるように焼成することで導電性、耐熱性、耐薬品性を高める。繊維原料は所定のサイズの物を用いることで抄紙工程における均質化を図る。 （もっと読む）

【課題】直胴部と受け皿部との境界部分からのＳｉＯガスの漏洩を防止し、ＳｉＣ化の早期進行を防止するようにしたカーボン製ルツボを提供する。
【解決手段】シリコン等の金属単結晶引上げ装置に使用される石英ルツボ４を保持するためのカーボン製ルツボ５であり、直胴部９と受け皿部１０とが分割されて構成されている。石英ルツボ４とカーボン製ルツボ５との間には、カーボン製ルツボ５の内面の、少なくとも直胴部９と受け皿部１０との境界部分Ａを覆うように、黒鉛質シート１１が配置されている。黒鉛質シート１１は膨張黒鉛シートである。 （もっと読む）

【課題】活性化水素によるエッチング作用に対する耐性が低い非ダイヤモンド炭素材料を基材とするダイヤモンド被覆非ダイヤモンド炭素部材を提供する。
【解決手段】ダイヤモンド被覆非ダイヤモンド炭素部材は、非ダイヤモンド炭素からなる基材１と、この基材上に形成され結晶子の平均直径が１０ｎｍ以下である微結晶ダイヤモンド膜２からなる中間層と、この中間層上に形成され結晶子の平均直径が２０ｎｍ以上であるダイヤモンド膜３と、を有する。基材１はアモルファス炭素又はグラファイトからなるか、又は熱間静水圧加圧処理された炭素材料からなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】加工性に優れ、殆どゼロに近い熱膨張率を示すＡｌ含浸３次元Ｃ／Ｃコンポジット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｃ／Ｃコンポジットにアルミニウムを含浸させて成り、平均密度が１．９〜２．３ｇ／ｃｍ^３、平均熱膨張係数が−７×１０^−６／℃〜３．０×１０^−６／℃のＡｌ含浸３次元Ｃ／Ｃコンポジットである。平均熱膨張係数が３．０×１０^−７〜３．０×１０^−６である。
炭素繊維をプリフォームとし、該プリフォームに、ＣＢ含浸し、高圧炭素化し、黒鉛化し、アルミニウム溶湯で鍛造し、機械加工して、Ａｌ含浸３次元Ｃ／Ｃコンポジットを製造する。 （もっと読む）

【課題】ガラス状炭素からなる継目なしの中央拡径中空成形体を提供すると共に、その有用な製造方法を提供すること。
【解決手段】中央部が拡径した中空形状を有する継目なしの炭素質中空成形体であって、その製法は、外型と熱溶融性中子との間に形成されるキャビティ内に液状の熱硬化性樹脂を注入し、中央部が拡径した中空形状で継目なしの熱硬化樹脂成形体を得る注型成形工程、該注型成形工程の後に、中子を構成する熱溶融性素材を加熱して溶融流出させる中子流出工程、得られた熱硬化性樹脂成形体を炭素化する炭素化工程、含む。 （もっと読む）

【課題】耐食性と強度に優れ、腐食環境下に晒される半導体製造装置チャンバーに好適なガラス状炭素製チャンバーを提供する。
【解決手段】熱硬化性樹脂を成形して得た円筒状成形体１を加熱しつつ組成変形させて異形管を得、これを不活性雰囲気中１０００℃に加熱して得られるガラス状炭素からなる半導体製造装置用ガラス状炭素製チャンバーであり、その軸心線方向と垂直な断面の形状がレーストラック形状をなしていることを特徴とする。 （もっと読む）