Fターム[4H006KA30]の内容
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Fターム[4H006KA30]に分類される特許
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含フッ素重合性エステル化合物、その製造方法、重合体、フォトレジスト組成物、及びパターン形成方法
【解決手段】 一般式(1)又は(2)で表される含フッ素重合性エステル化合物。
【化1】
(R1は水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基、R2は二価の炭化水素基、R3は水素原子又は一価の炭化水素基、R2とR3は互いに結合してこれらが結合する炭素原子と共に環を形成してもよい。R4は水素原子、水酸基、又は一価の炭化水素基、R5は酸不安定基。)
【効果】 本発明は、新規な含フッ素重合性エステル化合物を提供し、該含フッ素重合性エステル化合物は、機能性材料、医薬・農薬などの原料として有用であり、なかでも感放射線レジスト組成物のベース樹脂を製造するためのポリマー単量体として非常に有用である。
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インデノールエステルまたはエーテルの製造方法
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