【課題】吸着材用樹脂粒子、及びこの樹脂粒子を利用したホウ素吸着粒子の提供。
【解決手段】（１）式の構造単位を含み、平均分子量が５万以上、平均粒子径が０．２ｍｍ〜３ｍｍであって、多孔質である、吸着材用樹脂粒子


を得、これにN−メチルグルカミンを反応させる。 （もっと読む）

【課題】特定のエポキシ樹脂及び、特定の光酸発生剤を含有するレジスト組成物は、高アスペクト比が達成でき、かつ耐熱、耐メッキ性等、非常に優れた特性を有しているが、ドライフィルム化した際、切断又はスリッティングした時にチッピングが発生することが問題であった。
【解決手段】特定構造のアルカリ可溶性エポキシ化合物（Ａ）、光酸発生剤（Ｂ）及び２５℃における粘度が１０〜２００００ｍＰａ・ｓである環状エーテル化合物（Ｃ）を含有してなるレジスト組成物であって、環状エーテル化合物（Ｃ）の含有量が、アルカリ可溶性エポキシ化合物（Ａ）、光酸発生剤（Ｂ）及び環状エーテル化合物（Ｃ）の合計に対して１６〜４７質量％であるレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】保存安定性に優れ、一液型に組成することができると共に、電気絶縁性、ＰＣＴ（プレッシャークッカーテスト）耐性、密着性、はんだ耐熱性、耐薬品性、無電解金めっき耐性、耐吸湿性等の特性を充分に満足する優れた硬化皮膜が得られる硬化性組成物を提供する。
【解決手段】硬化性組成物は、（Ａ）１分子中に２個以上のエポキシ基を有する化合物（ａ）と、不飽和基含有モノカルボン酸（ｂ）、又は不飽和基含有モノカルボン酸（ｂ）とエポキシ基と反応する反応基を有する化合物（ｃ）との混合物（ｄ）、との反応物（ｅ）に、多塩基酸無水物（ｆ）を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性化合物、（Ｂ）１分子中に２個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂にケトンを部分的に付加反応させて得られる、１，３−ジオキソラン環を有するエポキシ樹脂、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有する。 （もっと読む）

新規なポリマーおよびそのようなポリマーを含有する新規な反射防止膜用組成物の提供。該組成物は、発色団（4-ヒドロキシ安息香酸、無水トリメリット酸）の結合したポリマー（たとえばエポキシクレゾールノボラック樹脂）を含む。本発明の組成物は、基板（たとえばシリコンウエハ）に塗布して、高いエッチング速度を有する反射防止膜層を形成することができ、該反射防止膜層はその後のフォトレジスト露光および現像工程中、反射を最小限化または抑制する。 （もっと読む）