【課題】 ガス放出の少ないフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 フォトレジスト組成物中に用いるポリマーは、以下の化学式を有する繰り返し単位を含み、
【化１】


式中、Ｚはポリマー骨格の繰り返し単位を表し、Ｘは、アルキレン、アリーレン、アラアルキレン、カルボニル、カルボキシル、カルボキシアルキレン、オキシ、オキシアルキレン、及びこれらの組合せから成る群から選択される連結基であり、Ｒは、水素、アルキル、アリール、及びシクロアルキル基から成る群から選択され、但し、ＸとＲは同じ環システムの部分ではない。また、フォトレジスト組成物のレリーフ画像をパターン化するためのプロセスが開示され、ここで該フォトレジスト組成物のガス放出速度は６．５Ｅ＋１４分子／ｃｍ^２／ｓ未満である。 （もっと読む）

【課題】反応性基を有するイソタクチックポリスチレン
【解決手段】本発明は、官能性イソタクチックポリスチレンの製造方法、本発明の方法により製造された官能性イソタクチックポリスチレン、本発明の官能性イソタクチックポリスチレンをマクロモノマーとして使用する方法、マクロ開始剤の製造方法、当該方法により製造されたマクロ開始剤、フリーラジカル重合の制御にマクロ開始剤を使用する方法、本発明の官能性イソタクチックポリスチレンを、マクロモノマーとして、好ましくはオレフィンとの共重合において、シクロオレフィンとのＲＯＭＰにおいて、又はシリコーンセグメントとの結合に使用する方法、本発明の官能性イソタクチックポリスチレンをエポキシ化する方法、当該方法により製造されたエポキシ化イソタクチックポリスチレン、本発明の官能性イソタクチックポリスチレンと末端二重結合を有する好適なポリマーとのメタセシス重合によって軟質熱可塑性エラストマー（ＴＰＥｓ）を製造する方法、及び本発明の方法により製造された軟質熱可塑性エラストマーに関する。 （もっと読む）