【課題】十分な反応性を有するシロキサンオリゴマーであって、反応残渣が生じないシリル化剤として有用な新規な環状ポリオルガノシロキサンシラザンおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 下記一般式(1)：
【化１】


(式中、R₁〜R₄は炭素原子数1〜8の非置換または置換の一価炭化水素基であり、mは１≦m≦100の整数、nは１≦n≦100の整数、m+nは3≦m+n≦200の整数である。(SiR₁R₂O)単位と(SiR₃R₄NH)単位とはランダムに結合していてもよい。)
で示される環状ポリオルガノシロキサンシラザン。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィにより微細なパターン形成でき、２００℃を超える熱処理を行なわずに絶縁膜が形成でき、有機薄膜トランジスタのゲート絶縁膜として使用した場合にキャリヤーがトラップされて電荷移動度が低下するという問題のない感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】下記一般式（１）〜（４）で表わされるユニットを有するポリシロキサン化合物及び光ラジカル発生剤を含有する感光性樹脂組成物。
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【解決手段】(A)式(1)、(2)、(3)の化合物を含む加水分解性シランモノマー混合物の共加水分解・縮合により得たシリコーン樹脂、
(B)酸発生剤、
(C)含窒素有機化合物、
(D)有機溶剤
を含有するレジスト組成物。


R⁵R⁶_qSiX_3-q (2)
R⁷R⁸_rSiX_3-r (3)
(R¹、R²、R³は水素原子、フッ素原子、アルキル基又はフッ素化されたアルキル基で、少なくとも一つはフッ素原子を含む。R⁴は炭化水素基、R⁵は官能基として酸分解性保護基で保護されたカルボキシル基を持つ有機基、R⁶はR⁴と同定義、R⁷は官能基としてラクトン環を有する有機基、R⁸はR⁴と同定義。Xは水素原子、塩素原子、臭素原子又はアルコキシ基、pは0又は1、qは0又は1、rは0又は1。)
【効果】本発明のレジスト組成物は、従来の近接位炭素がフッ素化されたアルコールを極性基とする組成物と同等以上の解像性を示し、酸素反応性エッチングにおけるエッチング選択比の問題もなく、ArF露光の２層レジスト法に好適である。 （もっと読む）

【解決手段】(A)式(1)〜(3)の化合物を含む加水分解性シランモノマー混合物の共加水分解・縮合により得たシリコーン樹脂、
(B)酸発生剤、
(C)含窒素有機化合物、
(D)有機溶剤
を含有するレジスト組成物。


R³R⁴_qSiX_3-q (2)
R⁵R⁶_rSiX_3-r (3)
(R¹はフッ素原子、アルキル基又はフッ素化されたアルキル基。R²は炭化水素基、R³は官能基として酸分解性保護基で保護されたカルボキシル基を持つ有機基、R⁴はR²と同定義、R⁵は官能基としてラクトン環を有する有機基、R⁶はR²と同定義。Xは水素原子、塩素原子、臭素原子又はアルコキシ基、pは0又は1、qは0又は1、rは0又は1。)
【効果】本発明のレジスト組成物は、従来の近接位炭素がフッ素化されたアルコールを極性基として使用したレジスト組成物に対し同等以上の解像性を示し、酸素反応性エッチングにおいて有機材料である下層膜との間でエッチング選択比がとれないという問題を解決でき、ArF露光における2層レジスト法に好適である。 （もっと読む）

パーソナルケア組成物に有用なシロキサン共重合体であって、ジメチルシロキサン単位（Ａ）と、少なくとも１つのメチル（ポリオキシアルキレン）−アルキルシロキサン単位（Ｂ）と、少なくとも１つの低級アルキルアミノアルキルシロキサン又は低級アルキルアミドアルキルシロキサン単位（Ｃ）と、アルキル基が無置換で且つ５〜３０個の炭素原子を有する、少なくとも１つのメチルアルキルシロキサン単位（Ｄ）を含むシロキサン共重合体を提供する。 （もっと読む）

（ｉ）有機官能性が少なくとも１つの不飽和炭化水素基を示すオルガノアルコキシシラン少なくとも１つ、
（ｉｉ）アミノアルキルアルコキシシラン少なくとも１つ、
（ｉｉｉ）ポリオール少なくとも１つ、
（ｉｖ）場合により、その他のアルコキシシラン又はアルコキシシロキサン、及び
（ｖ）場合により、ナノスケール又はマイクロスケールの、半金属酸化物又は金属酸化物、半金属酸化物の水酸化物又は金属酸化物の水酸化物、又は半金属水酸化物又は金属水酸化物少なくとも１つ、及び／又は
（ｖｉ）前記成分（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）及び、場合により（ｉｖ）、及びまた場合により（ｖ）からなる共縮合体少なくとも１つ、及び／又は
（ｖｉｉ）前記成分（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）及び、場合により（ｉｖ）、及びまた場合により（ｖ）から、加水分解条件下で生成された反応生成物、
（ｖｉｉｉ）及び有機溶媒
を、モル比（ｉ）：（ｉｉ）：（ｉｉｉ）が（ｉ）＝１、（ｉｉ）＝０．５〜１．５、及び（ｉｉｉ）＝０．３〜１．１である条件下で含有する、ガスに対するバリヤー層を製造するためのオルガノシランベースの組成物。本発明はまた、前記組成物の製造方法及びその使用、及び前記組成物を用いて製造された包装材料にも関する。 （もっと読む）