【課題】硬質被削材の高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具の硬質被覆層を、化学蒸着で形成された上部層と下部層とで構成し、該上部層は１〜１５μｍの平均層厚を有する酸化アルミニウム層、該下部層は３〜２０μｍの合計平均層厚を有する密着性Ｔｉ化合物層と改質Ｔｉ系炭窒化物層とで構成し、そして、該改質Ｔｉ系炭窒化物層は、２．５〜１５μｍの平均層厚を有し、（Ｔｉ_１−ＸＣｒ_Ｘ）ＣＮ（但し、Ｘ＝０．０１〜０．１０）を満足するＴｉとＣｒの複合炭窒化物マトリックス相と、間歇的な蒸着条件変更により形成され、（Ｔｉ_１−ＹＣｒ_Ｙ）ＣＮ（但し、Ｙ＝０．２〜０．８）を満足し、結晶粒界に不連続（島状）に分散析出する平均粒子サイズ０．０１〜０．２μｍのＴｉとＣｒの複合炭窒化物析出相とからなる。 （もっと読む）

【課題】 高硬度鋼の高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体表面に、硬質被覆層として、（ａ）下部層が、ＴｉとＣｒの合量に対するＣｒの含有割合（Ｃｒ／（Ｔｉ＋Ｃｒ））が０．００５〜０．０５（ただし、原子比）であるＴｉとＣｒの複合炭窒化物層、（ｂ）中間層が、Ｘ線による結晶構造回折において、（０００２）面からの相対Ｘ線回折強度Ｉ_Ｒ（０００２）が最大のピークを示す六方晶Ｃｒ_２Ｎ層、（ｃ）上部層が、ＡｌとＣｒの合量に対するＣｒの含有割合（Ｃｒ／（Ａｌ＋Ｃｒ））が０．０１〜０．１０（ただし、原子比）であるＡｌとＣｒの複合酸化物層、を化学蒸着で形成する。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 下部層は、（ａ）炭窒化チタン層と、（ｂ）クロムの含有割合が０．０１〜０．１（原子比）であるＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層、上記（ａ）、（ｂ）を交互に積層したＴｉ系化合物積層で構成し、上部層は、（ｃ）クロムの含有割合が０．０１〜０．１（原子比）であるアルミニウムとクロムの複合酸化物層で構成し、更に、上記（ｂ）のＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層は、表面研磨面の測定範囲内に存在する結晶粒の（００１）面および（０１１）面の法線と、表面研磨面の法線とがなす傾斜角の測定結果に基づいて作成された構成原子共有格子点分布グラフにおいて、Σ３に最高ピークが存在し、かつ、Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が６０％以上であるＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層で構成する。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｃｒ含有割合が０．０１〜０．１（原子比）であるＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層とＡｌ_２Ｏ_３層とを交互に積層した硬質被覆層を設け、あるいは、この交互積層を上部層とし、上部層と工具基体表面間に、下部層として、ＴｉＮ層、ＴｉＣ層、ＴｉＣＮ層、あるいは前記下部層の少なくとも１層のＴｉ成分をＺｒで置換した（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｎ層、（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｃ層、（Ｔｉ，Ｚｒ）ＣＮ層の１層または２層以上を設け、かつ、上部層の構成層であるＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層は、表面研磨面の測定範囲内に存在する結晶粒の（００１）面および（０１１）面の法線と、表面研磨面の法線とがなす傾斜角の測定結果に基づいて作成された構成原子共有格子点分布グラフであるＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層で構成する。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング法等のプラズマを用いる気相成長法により膜を成膜する成膜方法において、良質な膜を安定的に成膜することを可能とする。
【解決手段】成膜温度Ｔｓ（℃）と、成膜時のプラズマ中のプラズマ電位Ｖｓ（Ｖ）とフローティング電位Ｖｆ（Ｖ）との差であるＶｓ−Ｖｆ（Ｖ）と、成膜される膜の特性との関係に基づいて、成膜条件を決定する。１種又は複数種のＰｂ含有ペロブスカイト型酸化物からなる圧電膜では、下記式（１）及び（２）を充足する範囲で成膜条件を決定することが好ましい。
Ｔ（℃）≧４００・・・（１）、
−０．２Ｔｓ＋１００＜Ｖｓ−Ｖｆ（Ｖ）＜−０．２Ｔｓ＋１３０・・・（２） （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、（ａ）１〜５μｍの平均層厚の炭窒化チタン層と、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、ＴｉとＣｒの合量に対するＣｒの含有割合（Ｃｒ／（Ｔｉ＋Ｃｒ））が、原子比で０．０１〜０．１であるＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層、上記（ａ）、（ｂ）を少なくとも３層以上交互に積層し、合計平均層厚が５〜１５μｍであるＴｉ系化合物積層を設け、あるいは、該Ｔｉ系化合物積層表面に、必要によりＴｉ化合物層を介して、０．５〜５μｍの層厚の酸化アルミニウム層を設けた。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下地層、下部層および上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下地層は、立方晶のＴｉＣｒ複合炭化物相マトリックス中に１０〜４０面積％の斜方晶のＣｒＴｉ複合炭化物相が分散分布した層厚０．１〜２μｍの混合相組織層で構成し、下部層は、合計平均層厚３〜２０μｍのＴｉ化合物層で構成し、上部層は、平均層厚１〜２０μｍの酸化アルミニウム層で構成する。 （もっと読む）

【課題】カバレッジを良好に保つことができる配線修正方法。
【解決手段】半導体装置１１の修正配線を引き出す接続孔１を集束イオンビーム加工によって形成する配線修正方法において、接続孔１の側面のうち、下層配線４と上層配線３を接続する修正配線を引き出す側に傾斜面を形成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下地層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下地層は、立方晶のＴｉＣｒ複合炭化物相マトリックス中に１０〜４０面積％の斜方晶のＣｒＴｉ複合炭化物相が分散分布した層厚０．１〜２μｍの混合相組織層で構成し、また、上部層は、層厚０．５〜２μｍの内部層（Ｔｉ窒化物層）と、層厚０．５〜５μｍの中間層（粒状結晶組織のＴｉ炭化物層または縦長成長結晶組織のＴｉ炭窒化物層）と、層厚０．３〜２μｍの表面層（Ｔｉ窒化物層）、の積層構造として構成する （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、硬質被覆層として、（ａ）１〜５μｍの平均層厚の炭化チタン層と、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、ＴｉとＣｒの合量に対するＣｒの含有割合（Ｃｒ／（Ｔｉ＋Ｃｒ））が、原子比で０．０１〜０．１であるＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層、上記（ａ）、（ｂ）を少なくとも３層以上交互に積層し、合計平均層厚が５〜１５μｍであるＴｉ系化合物積層を設け、あるいは、該Ｔｉ系化合物積層表面に、必要によりＴｉ化合物層を介して、０．５〜５μｍの層厚の酸化アルミニウム層を設ける。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、硬質被覆層として、（ａ）１〜５μｍの平均層厚の窒化チタン層と、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、ＴｉとＣｒの合量に対するＣｒの含有割合（Ｃｒ／（Ｔｉ＋Ｃｒ））が、原子比で０．０１〜０．１であるＴｉ−Ｃｒ複合炭窒化物層、上記（ａ）、（ｂ）を少なくとも３層以上交互に積層し、合計平均層厚が５〜１５μｍであるＴｉ系化合物積層を設け、あるいは、該Ｔｉ系化合物積層表面に、必要によりＴｉ化合物層を介して、０．５〜５μｍの層厚の酸化アルミニウム層を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）上部層として、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有し、組成式：（Ａｌ_{１−Ｑ−Ｒ}Ｃｒ_ＱＺｒ_Ｒ）_２Ｏ_３、（ただし、原子比で、Ｑ：、０．００５〜０．０７、Ｒ：０．００３〜０．０５）、を満足するＡｌとＣｒとＺｒの複合酸化物層を設け、さらに、該上部層は、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面（１０−１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、特定な構成原子共有格子点分布グラフを示すＡｌとＣｒとＺｒの複合酸化物層で構成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、特定なを満足するＴｉとＡｌとＣｒとＺｒの複合炭窒酸化物層、（ｃ）上部層として、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有し、特定な組成式を満足するＡｌとＣｒとＺｒの複合酸化物層を設け、さらに、該上部層は、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面（１０−１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、特定な構成原子共有格子点分布グラフを示すＡｌとＣｒとＺｒの複合酸化物層で構成する。 （もっと読む）

既にコーティングされていてもよい金属表面に、多層耐摩耗性コーティングを適用する方法において、該コーティングは少なくとも２つの耐摩耗性層（５）及び各対の耐摩耗性層（５）の間に配置されている中間層（１０）を含む。該中間層（１０）は、耐摩耗性層（５）の材料及び追加材料を含有する材料組成物を含み、しかも該中間層（１０）の第１遷移領域（ａ）上で耐摩耗性層（５）の材料の減少していく含有量で、そして第２遷移領域（ｂ）上で耐摩耗性層（５）の材料の増大していく含有量で適用され、中間層（１０）においての耐摩耗性層（５）の材料の含有量はあらゆる点で少なくとも５重量％であるように選ばれる。
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【課題】 硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 ＷＣ基超硬合金またはＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）中間層として、特定の組成式：（Ｔｉ_{１−Ｘ−Ｙ}Ａｌ_ＸＣｒ_Ｙ）Ｃ_αＮ_βＯ_γを満足するＴｉとＡｌとＣｒの複合炭窒酸化物層、（ｃ）上部層として、化学蒸着した状態でα型の結晶構造を有し、特定の組成式：（Ａｌ_１−ＱＣｒ_Ｑ）_２Ｏ_３を満足するＡｌとＣｒの複合酸化物層を設け、さらに、該上部層は、相互に隣接する結晶粒の界面で、前記構成原子のそれぞれが前記結晶粒相互間で１つの構成原子を共有する格子点（構成原子共有格子点）が特定の構成原子共有格子点分布グラフを示すＡｌとＣｒの複合酸化物層で構成する。 （もっと読む）

本発明は、金属基板への気相における化学的蒸着による、炭化クロム、チッ化クロム、または炭チッ化クロムあるいは化学的特性がクロムの化学的特性に近い金属元素を基材とする非酸化物セラミックタイプの被覆の蒸着方法であって、主として、ａ） ビス（アレン）群に属し分解温度が３００℃から５５０℃の間に含まれる、蒸着すべき金属の前駆分子化合物であって酸素原子のない溶媒に溶解された化合物を含む溶液を用意するステップと、ｂ） エアロゾルの形態の前記前駆体溶液を、溶媒の沸騰温度と前駆体の分解温度との間に含まれる温度に熱せられた蒸発装置（３）内に投入するステップと、ｃ）蒸発装置（３）およびＣＶＤ反応装置（１０）に大気圧がかかっている状態で、蒸発装置（３）の中性ガス束により、前駆体および気化エアロゾルを、被覆すべき基板を支持し前駆体の分解温度より高い温度であって最高でも５５０℃までの温度に熱せされたサセプタ（１３）を備える冷壁ＣＶＤ反応装置（１０）側に移動させるステップとを含むことを特徴とする方法を対象とする。 （もっと読む）

本発明は、金属基板への気相における化学的蒸着による、金属クロムあるいは化学的特性がクロムの化学的特性に近い他の金属の硬質被覆の蒸着方法であって、主として、ａ）酸素原子がない溶媒中に、ｉ） 分解温度が３００℃から５５０℃の間に含まれビス（アレン）群の中から選択された、蒸着させる金属の前駆分子化合物と、ｉｉ）塩化添加剤とを含む溶液を用意するステップと、ｂ）エアロゾルの形態の前記溶液を、溶媒の沸騰温度と前駆体の分解温度との間に含まれる温度に熱せられた蒸発装置内に投入するステップと、ｃ）蒸発装置の中性ガス束により、気化エアロゾルを、被覆すべき基板を支持し前駆体の分解温度より高い温度であって最高でも５５０℃までの温度に熱せされたサセプタを備えるＣＶＤ反応装置側に移動させるステップとを含むことを特徴とする方法を対象とする。低温かつ大気圧で行われるＤＬＩ−ＣＶＤ手法によるこの蒸着方法により、鋼または合金製の大型金属プレートの量産条件による流れ処理を行うことができ、その結果、ナノ構造の単層または多層の硬質金属被覆を得ることができる。本発明の別の対象は前記方法の実施に特に好適な注入可能な溶液である。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具を提供する。
【解決手段】 硬質被覆層がＴｉ化合物層の下部層と、（Ａｌ，Ｃｒ）₂Ｏ₃層の上部層で構成された被覆サーメット工具において、前記下部層に層間介在層として改質ＷＣ層を介在させ、前記上部層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面および（１０-１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定値から、構成原子共有格子点分布グラフを作成した場合に、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が６０％以上である構成原子共有格子点分布グラフを示す改質（Ａｌ，Ｃｒ）₂Ｏ₃層で構成する。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性および耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具を提供する。
【解決手段】 硬質被覆層がＴｉ化合物層の下部層と、（Ａｌ，Ｃｒ）₂Ｏ₃層の上部層で構成された被覆サーメット工具において、工具基体と前記下部層の間に改質ＷＣ層を介在させ、前記上部層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面および（１０-１０）面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定値から、構成原子共有格子点分布グラフを作成した場合に、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が６０％以上である構成原子共有格子点分布グラフを示す改質（Ａｌ，Ｃｒ）₂Ｏ₃層で構成する。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリングにより付着された混合層で被覆された抗菌性基板（ガラス、セラミックまたは金属製）を提供する。
【解決手段】 この混合層は金属酸化物、オキシ窒化物、オキシ炭化物または窒化物の中から選ばれた結合物質に混合された少なくとも一つの抗菌物質を含む。この基板は抗菌性を与える。もし焼入れされかつ抗菌性のガラスが要求されるなら、同じコスパッタリング法が使用されることができ、任意に下層が付加されることができる。抗菌性は焼入れ工程後でさえ維持される。 （もっと読む）