【課題】金属カルボニル前駆体を用いて基板上に形成される金属薄膜のＣＯ中毒を抑制する方法及び装置を提供する。
【解決手段】金属薄膜８４０、８６０は、薄膜堆積システム１、１００の基板ホルダー２０、１２０上に載せられた基板２５、１２５上に形成される。基板ホルダー２０、１２０は、基板ホルダー２０、１２０の周辺端部に位置付けられて基板２５、１２５の周辺端部を取り囲む防御リング２１、１２４を有する。防御リング２１、１２４は基板２５、１２５の周辺端部でのＣＯ副生成物の生成を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高堆積レートで膜の均一性の良好な堆積システムを提供する。
【解決手段】供給ガスとして金属カルボニル先駆体（５２）及びＣＯを利用する堆積プロセスの初期化方法及びシステムについて説明する。プロセスチャンバ（１０）内での堆積プロセス前、気化系（５０）を介して先駆体を排気系へ輸送する、ＣＯを有する供給ガスの流れが確立される一方でプロセスチャンバ（１０）を通過する。ＣＯガス及び蒸気先駆体が排気系へ流れる間、たとえば不活性ガス、ＣＯ又はこれらを混合させたガスのようなパージガスが、プロセスチャンバ（１０）に導入されて良い。一旦安定したＣＯガス及び先駆体蒸気の流れが確立されると、ＣＯガス及び先駆体蒸気は、プロセスチャンバ（１０）に導入され、安定した基板上への金属層の堆積が実現する。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する被覆切削チップを提供する。
【解決手段】硬質被覆層の１層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する六方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（０００１）面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定結果に基づいて作成した傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の傾斜角区分内に最高ピークが存在し、かつ前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示す改質（Ａｌ、Ｃｒ）_２Ｏ_３層で構成し、かつ、同改質（Ａｌ、Ｃｒ）_２Ｏ_３層の表面を研磨して、その表面粗さをＲａ：０．２μｍ以下とすると共に、前記研磨面に硬質被覆層残留応力低減模様を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する被覆切削チップを提供する。
【解決手段】硬質被覆層のＴｉ化合物のうちの１層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、この結果得られた測定傾斜角に基づいて作成された構成原子共有格子点分布グラフにおいて、Σ３に最高ピークが存在し、かつ前記Σ３の全体に占める分布割合が６０％以上である構成原子共有格子点分布グラフを示す改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成し、かつ、同Ａｌ₂Ｏ₃層の表面を研磨して、その表面粗さをＲａ：０．２μｍ以下とすると共に、前記研磨面に硬質被覆層残留応力低減模様をレーザービーム照射形成してなる。 （もっと読む）

【課題】気相原料分散システムにおけるパーティクル汚染を低減する方法およびシステムを提供する。
【解決手段】気相原料分散システム３０は、膜前駆体の気相原料を成膜システム１のプロセスチャンバ１０へ導入するよう構成される複数の開口を備える気相原料分散ヘッド３４と、ハウジングとを備える。ハウジングと気相原料分散ヘッド３４により、膜前駆体蒸発システム５０と結合され、蒸発システム５０からの膜前駆体５２の気相原料を受けてこの気相原料を複数の開口を通してプロセスチャンバ１０へ分散するよう構成されるプレナム３２が形成される。パーティクル汚染を低減するため、気相原料分散システム３０は、プレナム３２の圧力と成膜システムの圧力との差または比を低減するよう構成される。たとえば、プレナム３２の圧力は、プロセス空間３３の圧力の２倍未満、または、プロセス空間３３の圧力よりも５０ｍＴｏｒｒ、３０ｍＴｏｒｒもしくは２０ｍＴｏｒｒ低い。 （もっと読む）

【課題】高硬度材の高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具を提供する。
【解決手段】 工具基体の表面に、特定の組成式；（Ｔｉ_１−ＸＣｒ_Ｘ）Ｃ_１−ＹＮ_Ｙ を満足するＴｉとＣｒの複合炭窒化物層からなる下地層、Ｔｉ炭窒化物層からなる下部層、炭酸化チタン層および炭窒酸化チタン層のうちのいずれか１層、または両層からなる層間密着層、Ａｌ_２Ｏ_３層からなる上部層を、工具基体側から順に化学蒸着で形成してなる表面被覆サーメット製切削工具において、上記Ｔｉ炭窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用いて測定した構成原子共有格子点分布グラフで構成原子共有格子点間に構成原子を共有しない格子点がＮ個存在する構成原子共有格子点形態をΣＮ＋１で現した場合、Σ３のΣＮ＋１全体に占める分布割合が６０％以上である事を示すＴｉＣＮ層で構成する。 （もっと読む）

【課題】膜前駆体（３５０）の露出表面積を向上させることにより成膜速度を向上するため、高伝導性の気相供給システム（４０）に結合された、高伝導性のマルチトレー膜前駆体蒸発システム（５０、３００）を示した。
【解決手段】マルチトレー膜前駆体蒸発システムは、１または２以上のトレー（３３０、３４０）を有する。各トレーは、例えば、固体粉末状または固体タブレット状の膜前駆体を支持し、保持するように構成される。また、膜前駆体が加熱されている間、各トレーは、膜前駆体の上部に流れるキャリアガスに、高い導電性が提供されるように構成されても良い。例えば、キャリアガスは、膜前駆体の上方から内方に流れ、積層可能なトレー内の流束溝を介して垂直に上方に流れ、固体前駆体蒸発システム（３００）の出口（３２２）から排出される。 （もっと読む）

【課題】配線基板を有するディスプレイ装置の、膜質の劣化を回避しながらもタクトの増加を抑制することが可能な製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、共通の導電部材を構成する第１及び第２の導電膜をレーザＣＶＤ法によって形成する結線膜で電気的に連結する第１工程と、窒素ガス（Ｎ_２）及び酸素ガス（Ｏ_２）の一方を雰囲気に加えて結線膜の表面にレーザＣＶＤ法によって結線保護膜を形成する第２工程とを含む複数の工程によって、配線基板の製造を行う。 （もっと読む）

本発明による電気化学反応器用のカソードは、拡散層及び触媒層を含む。これは、拡散層に直接的に接触して分散する二金属又は多金属のナノ粒子を有し、この金属の少なくとも１つは、全体的又は部分的に酸化型であるクロム（Ｃｒ）である。 （もっと読む）

【課題】高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性および耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具の硬質被覆層を、下部層として０．５〜１５μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層と、上部層として、３〜１５μｍの平均層厚を有し、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点（以下点Ａ）とＣｒ最高含有点（以下点Ｂ）とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記両点間でＡｌおよびＣｒ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、点ＡにおけるＡｌとＣｒとＳｉの相互含有割合を示す特定の組成式：［Ａｌ_{１−（Ａ＋Ｂ）}Ｃｒ_ＡＳｉ_Ｂ］、点ＢにおけるＣｒとＡｌとＳｉの相互含有割合を示す特定の組成式：［Ｃｒ_{１−（Ｃ＋Ｄ）}Ａｌ_ＣＳｉ_Ｄ］を満足し、さらに、隣り合う上記点Ａと点Ｂの間隔が、０．１〜０．５μmであることを満足するＡｌとＣｒとＳｉの複合酸化物層からなる上部層、で構成する。 （もっと読む）

【課題】高速重切削条件で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性および耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具の硬質被覆層を、（Ａ）下部層として、ＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＣＯ層、およびＴｉＣＮＯ層のうちの１層または２種以上で構成され、かつ０．５〜１５μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層と、（Ｂ）上部層として、３〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、（ａ）層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＣｒ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在し、かつ前記両点間でＡｌおよびＣｒ含有量が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、（ｂ）上記Ａｌ最高含有点及びＣｒ最高含有点における特定な組成式を満足し、（ｃ）さらに、隣り合う上記Ａｌ最高含有点とＣｒ最高含有点の間隔が、０．１〜０．５μmであることを満足するＡｌとＣｒとＹの複合酸化物層からなる上部層、で構成する。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具の硬質被覆層を、下部層と上部層とで構成し、（ａ）下部層としては、０．５〜１５μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層、（ｂ）上部層としては、化学蒸着形成した状態で、ＡｌとＣｒの複合酸化物の素地に、ＡｌとＣｒとＳｉの複合酸化物からなる分散相が分散分布した組織を有し、かつ、Ｃｒの含有割合は、上部層中に含有されるＡｌとＣｒの合量に対する割合（原子比）で、０．０５〜０．３５を満足し、また、Ｓｉの含有割合は、上部層中に含有されるＡｌとＣｒとＳｉの合量に対する割合（原子比）で、０．０１〜０．１０を満足し、さらに、０．５〜１３μｍの平均層厚を有する複合酸化物層、を形成する。 （もっと読む）

ガス貯蔵コンテナーの内部にコーティングする方法であって、上記方法は化学蒸着のための前駆物質を上記貯蔵コンテナーに供給する工程、および金属コーティングを上記コンテナーの内部表面上に形成する工程を含み、上記コーティングは化学蒸着のための前駆物質より形成される、方法。また、内部表面を有するガス貯蔵容器を含むガス貯蔵コンテナーであって、上記貯蔵容器の上記内部表面上に形成されたライナーを有する、ガス貯蔵コンテナー。上記ライナーは約９９重量％またはそれ以上の純度のタングステン金属を含み得る。さらに、化学蒸着前駆物質発生器および上記前駆物質をガス貯蔵コンテナー中に輸送するための前駆物質注入アセンブリを含み得る金属ライニングされたガス貯蔵コンテナーを作製するためのシステム。上記システムは、上記ガス貯蔵容器からガス状の蒸着生成物を除くための排気出口も含み得る。
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【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金またはサーメットで構成された基体の表面に、下部層は、０．５〜１５μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層、上部層は、上部内周層と上部外周層とからなり、上部内周層は、特定の組成式：（Ａｌ_１−ＸＣｒ_Ｘ）_２Ｏ_３を満足し、かつ、０．５〜１３μｍの平均層厚を有するＡｌとＣｒの複合酸化物層、上部外周層は、０．１〜０．８μｍの平均層厚を有する薄層Ａと、０．１〜０．６μｍの平均層厚を有する薄層Ｂとを交互に積層して形成された、２〜１０μｍの合計平均層厚を有する交互多重積層からなり、上記薄層Ａは、シリコン酸化物（ＳｉＯ_２）層、上記薄層Ｂは、特定の組成式：（Ａｌ_１−ＸＣｒ_Ｘ）_２Ｏ_３を満足するＡｌとＣｒの複合酸化物層、からなる硬質被覆層を化学蒸着により形成してなる。 （もっと読む）

【課題】金属窒化ケイ素ベース膜、金属酸化ケイ素又は金属酸窒化ケイ素ベース膜を形成させるために好適な前駆体の提供。
【解決手段】次の構造により表される有機金属錯体。


（式中、Ｍは、元素周期表の４族から選択される金属であり、そしてＲ^1〜4は、同一又は異なって、ジアルキルアミド、ジフルオロアルキルアミド、水素、アルキル、アルコキシ、フルオロアルキル及びアルコキシ、脂環式、並びにアリールから成る群から選択されることができるが、但しＲ¹及びＲ²が、ジアルキルアミド、ジフルオロアルキルアミド、アルコキシ、フルオロアルキル及びアルコキシである場合には、それらは連結して環を形成することができる。）。関連化合物もまた、開示されている。上記錯体を用いるＣＶＤ及びＡＬＤ堆積法がまた、含まれる。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆切削工具の硬質被覆層を、下部層と上部層とで構成し、（ａ）下部層としては、０．５〜１５μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層、（ｂ）上部層としては、化学蒸着形成した状態で、ＡｌとＣｒの複合酸化物の素地に、ＡｌとＣｒとＹの複合酸化物からなる分散相が分散分布した組織を有し、かつ、Ｃｒの含有割合は、上部層中に含有されるＡｌとＣｒの合量に対する割合（原子比）で、０．０５〜０．３５を満足し、また、Ｙの含有割合は、上部層中に含有されるＡｌとＣｒとＹの合量に対する割合（原子比）で、０．０１〜０．１０を満足し、さらに、０．５〜１３μｍの平均層厚を有する複合酸化物層、を形成する。 （もっと読む）

【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆超硬切削工具が、超硬合金またはサーメットで構成された基体の表面に、下部層と上部層からなる硬質被覆層を有し、下部層は、０．５〜１５μｍの合計平均層厚を有するＴｉ化合物層、上部層は、上部内周層と上部外周層とからなり、上部内周層は特定な組成式を満足し、かつ、０．５〜１３μｍの平均層厚を有するＡｌとＣｒの複合酸化物層、上部外周層は、０．１〜０．８μｍの平均層厚を有する薄層Ａと、０．１〜０．６μｍの平均層厚を有する薄層Ｂとを交互に積層して形成された、２〜１０μｍの合計平均層厚を有する交互多重積層からなり、上記薄層Ａは、クロム酸化物（Ｃｒ_２Ｏ_３）層、上記薄層Ｂは特定な組成式を満足するＡｌとＣｒの複合酸化物層、からなる硬質被覆層を化学蒸着により形成してなる。 （もっと読む）

本発明は、工具又は工具部品、特にブレードのような切削要素を被覆するための方法に関し、当該方法においては、基体が与えられ、１つ又は複数の層が当該基体に塗布され、少なくとも１つの層は、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオビウム、タンタル及び／又はクロムの金属のうちの１つ又は複数の金属炭窒化物から形成され、メタン、窒素及び１つ又は複数の金属化合物を含むガスを用いて堆積される。強い接着力によってさらなる層を上に堆積することができると共に高い耐磨耗性を有する金属炭窒化物層を得るために、本発明によれば、金属炭窒化物から成る層の堆積は、８５０℃〜９５０℃の基体の温度で開始し、その後、基体の温度は少なくとも４０℃だけ上昇し、堆積は、少なくとも一時的にその上昇温度において続くことが提案される。さらに本発明は、物体に塗布される金属炭窒化物層と、１つ又は複数の層が塗布される基体を備える、工具又は工具部品、特にブレードのような切削要素であって、少なくとも１つの層は、ナノコンポジット構造を有する金属炭窒化物層である、工具又は工具部品、特にブレードのような切削要素とを対象とする。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する被覆切削チップを提供する。
【解決手段】チップ基体の表面に、下部層としてＴｉ化合物層、上部層としてα型Ａｌ₂Ｏ₃層、の硬質被覆層を蒸着形成してなる被覆切削チップにおいて、前記上部層のα型Ａｌ₂Ｏ₃層の全面に、いずれも０．５〜５μｍの平均層厚を有する、ＣｒＣＮ層、ＨｆＣＮ層、ＺｒＣＮ層、およびＶＣＮ層のうちのいずれか１層からなる金属炭窒化物層で構成された研磨材層を蒸着形成した状態で、ウエットブラストにて、噴射研磨材としてＡｌ₂Ｏ₃微粒を配合した研磨液を噴射し、工具取り付け孔周辺部の前記研磨材層を残して、前記上部層のα型Ａｌ₂Ｏ₃層の表面を研磨して、その表面粗さをＲａ：０．２μｍ以下としてなる。 （もっと読む）

【課題】高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する被覆切削チップを提供する。
【解決手段】チップ基体の表面に、下部層としてＴｉ化合物層、上部層としてα型Ａｌ₂Ｏ₃層、の硬質被覆層を蒸着形成してなる被覆切削チップにおいて、前記上部層のα型Ａｌ₂Ｏ₃層の全面に、いずれも０．５〜５μｍの平均層厚を有する、ＣｒＣＮ層、ＨｆＣＮ層、ＺｒＣＮ層、およびＶＣＮ層のうちのいずれか１層からなる金属炭窒化物層で構成された研磨材層を蒸着形成した状態で、ウエットブラストにて、噴射研磨材としてＳｉＣ微粒を配合した研磨液を噴射し、工具取り付け孔周辺部の前記研磨材層を残して、前記上部層のα型Ａｌ₂Ｏ₃層の表面を研磨して、その表面粗さをＲａ：０．２μｍ以下としてなる。 （もっと読む）