【課題】真空成膜装置で内部応力が大きい薄膜を成膜する際に、成膜工程中に付着する成膜材料の剥離を安定かつ有効に防止し、装置クリーニングや部品の交換などに伴う生産性の低下や成膜コストの増加を抑える。
【解決手段】Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｇ、ＡｕおよびＩｎから選ばれる金属元素の単体、もしくは前記金属元素を含む合金または化合物の薄膜を成膜する真空成膜装置の構成部品の製造方法であって、部品本体の表面にＣｕの含有比率が６５〜９５質量％の範囲のＣｕ−Ａｌ合金からなるＣｕ−Ａｌ合金膜を形成する工程と、前記Ｃｕ−Ａｌ合金膜に１．３３×１０^−３Ｐａ以下の真空雰囲気中で３００〜８００℃の温度でアニール処理を行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】酸化イットリウム溶射皮膜の表面に、外観色が白色で、緻密かつ平滑で耐プラズマ・エロージョン性にも優れた白色二次再結晶層を生成させる技術を提案する。
【解決手段】大気プラズマ溶射法によって形成された白色の酸化イットリウム溶射皮膜の表面を、強酸化性ガス雰囲気中でレーザビーム処理することによって、外観色が白色の二次再結晶層を形成する方法、およびその白色二次再結晶層を表面にもつＹ_２Ｏ_３溶射皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】溶融亜鉛合金液や溶融アルミニウム合金液に対する耐腐食性をさらに改善した金属部品の表面処理方法を得る。
【解決手段】金属母材３５の表面に、コバルト基合金材料からなる粉末にＷ，Ｍｏを加えた金属粉末を、プラズマ粉体溶接にて肉盛りし、ライニング層３６を形成する金属部品の表面処理方法。コバルト基合金材料としては、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｆｅ合金材料、Ｃｏ−Ｃｒを主成分とする合金材料を好適に使用することができる。ライニング層３６の表面をスケーリング処理して金属酸化膜を形成すればより効果的である。 （もっと読む）

【課題】半導体加工装置の反応容器等に好適な優れた外観を有する溶射皮膜被覆部材、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基材の表面がＲＥＭ酸化物の溶射皮膜で被覆され、溶射皮膜の外表面から深さ50μｍ以下の領域に形成される緻密な組織の気孔率が１％以下であり、かつ緻密な組織が透明または白色を呈するとともに、溶射皮膜の外表面の粗さがＲa１〜３μｍの範囲内を満足する優れた外観を有する溶射皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】鋼板の通板時に問題となるスリップ、蛇行、ゴミ付き、ビルドアップを同時に解決することができる搬送ロールおよび連続焼鈍炉用ハースロールを提供する。
【解決手段】表面に溶射被膜を有する鋼板製造用搬送ロールであって、前記溶射被膜がセラミック成分含有率８０ｖｏｌ％以下のサーメットまたは耐熱合金からなり、該溶射被膜上に、溶射金属、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ａｌのいずれか１種類または２種類以上からなる酸化物層を有し、該酸化物層の表面をＪＩＳＢ０６３３に準拠してカットオフ値を初期値に設定して測定した粗さパラメータＲと、カットオフ値を前記初期値の１／１０に設定して測定した粗さパラメータＲ′との比Ｒ／Ｒ′が４以上であることを特徴とする搬送ロールおよび連続焼鈍炉用ハースロール。 （もっと読む）