【課題】処理室内の圧力が上昇しても、大気圧より高い所定圧力までは確実に処理室内が気密保持される一方で、この所定圧力を超えて圧力上昇した場合に真空処理装置自体の破損を防止することができるようにした真空処理装置を提供する。
【解決手段】チャンバ本体１と、その開口部１ｂに対してＯリング４を介在させて圧接する開閉扉３と、開閉扉の閉位置で処理室１ａ内を真空引きする真空ポンプ３とを備える。処理室を真空引きした状態で、開閉扉に対し、開閉扉のチャンバ本体への圧接方向に引張力を加える引張手段６を更に備える。処理室内の圧力が上昇したとき、大気圧より高い所定圧力までは、前記引張手段が弾性変形して開閉扉を閉位置に保持し、前記所定圧力を超えると、前記引張手段が塑性変形して開閉扉がチャンバ本体から離間する運動エネルギーを吸収するように構成する。 （もっと読む）

【課題】直線状の連続式熱処理炉は、長手方向に広いスペースを必要とし、場所を確保する必要がある。また、断熱材の性能および構造に関して検討されたものはあるが、さらに熱効率の高い、省エネルギー炉を提供する。
【解決手段】ワークが炉内空間において搬送され連続的に処理される連続式熱処理炉１００であって、前記炉内空間には、前記ワークの搬送方向が略１８０度変わる折り返しが含まれている。また、前記折り返しより前の炉内空間１における側壁９と、前記折り返しより後の炉内空間２の側壁９が共有されているのがよい。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を熱処理する熱処理装置を改良するものであり、メンテナンスを容易に行うことができる熱処理装置を開発する。
【解決手段】熱処理室１２の略中央部には、基板換装システム１８が配されて、基板換装システム１８に載置棚１６が設けられている。載置棚１６の全部の段部２３には、中央部分の小梁３１が欠落した欠落部３７を有し、当該欠落部３７によって吹き抜け部３８が設けられている。吹き抜け部３８に作業者が入ることができる。 （もっと読む）

【課題】被処理物を効率良く且つ均一に焼成することができ、大容量の加熱手段を装備するまでもなく、炉本体内の温度を殆ど低下させないで被処理物を炉本体内へ装入することができる焼成炉を提供する。
【解決手段】炉本体１１と該炉本体に開閉可能に被着した炉扉１２とを備え、該炉本体内へ装入した被処理物を過熱水蒸気を用いて焼成するようにした焼成炉において、炉本体に形成した副出入口３１と、該副出入口を囲んで該炉本体の外部に取付けたケース本体４１と、該ケース本体に開閉可能に被着したケース扉４２と、該ケース本体内に進退可能に収容した載置台５１と、該載置台の先端部及び後端部に取付け且つ該載置台の前進完了時又は後退完了時に該副出入口回りの該炉本体内縁部と当接して該副出入口を閉鎖する当接板５２，５３と、該載置台を該ケース本体内と該炉本体内との間で進退させる進退手段６１とを装備した。 （もっと読む）

【課題】 温度制御装置に対する焼成炉からの熱伝達を低減し、温度制御装置の信頼性や寿命を良好に維持できる、陶芸窯における温度制御装置の放熱構造を提供する。
【解決手段】 温度制御装置４が、横扉３に構成した収納室１８内に収納されて、制御装置取り付け金具４ｂを介して横扉３に固定され、収納室１８の下壁に開口孔３６が備えられて開口孔３６の近傍に放熱フィン３５が備えられ、グラファイトシート５０が制御装置取り付け金具４ｂと横扉３の金属枠１７との間に挟着されて、グラファイトシート５０の一端が放熱フィン３５に貼り付けられている。また、温度制御装置４の表面が、グラファイトシート５２によって覆われている。 （もっと読む）