【課題】 所望の開口数で光束を通すことができ、かつ、観察対象の試料に光学的に結合させる際の位置制御が容易な固浸レンズを提供する。
【解決手段】 固浸レンズ１Ａは、観察対象の試料６に取り付けられ、試料６の観察に用いられるものである。固浸レンズ１Ａは、所定半径の球面形状を有し、外部に対する光の入出力面となる上面（第１の面）２と、試料に対する取付面となる底面（第２の面）３を備えている。底面３は、試料に対する接触パターンが、中心軸に対して軸対称となるように、中心軸Ａｘを挟む位置に複数の突出部４ａ、４ｂを有している。 （もっと読む）

固浸レンズ３の底面を開口９ｂを通して下方に突出させた状態で当該固浸レンズ３を自重方向に支えるホルダ９を具備する構成とする。これにより、固浸レンズ３が観察対象物に載置されると、当該観察対象物により固浸レンズ３は持ち上げられた状態とされ、ホルダ９に対して自由な状態とされる。また、このとき、観察対象物に過度の圧力が加わることが無くされ、且つ、固浸レンズ３が観察対象物に馴染み密着すると共に、ホルダ９側又は観察対象物側の温度ドリフトが相手側に対して遮断され温度ドリフトによる影響が無くされる。これにより、観察対象物に損傷を与えることを無くすと共に高精度の観察を可能とする固浸レンズホルダが得られる。 （もっと読む）

検査対象の試料となる半導体デバイス上に両親媒性分子を含有する光学密着液を滴下し（Ｓ１０４）、その上に固浸レンズを設置する（Ｓ１０５）。続いて、固浸レンズの挿入位置を調整し（Ｓ１０６）、それから、光学密着液を乾燥させて（Ｓ１０８）、固浸レンズと半導体デバイスとを光学的に密着させる。これにより、試料の所望の位置への位置合わせが容易であり、試料に固浸レンズを光学的に確実に密着させることができる試料観察方法及び顕微鏡等が実現される。 （もっと読む）