【課題】 振動型角速度センサにおいて、振動する重りを支持する支持梁の加工精度の誤差に起因して、離調率にばらつきが発生し、それにより角速度の感度にばらつきが発生することを抑える。
【解決手段】 重り３０２を枠構造体３０１に支持する８個の支持梁３０３ａ〜ｄおよび３０４ａ〜ｄにおいて、各支持梁に調整部３０５および３０６を設け、この延出長を調整することで、支持梁３０３ａ〜ｄおよび３０４ａ〜ｄのそれぞれにおけるＸ方向の剛性とＹ方向の剛性との比と、支持梁による支持構造全体におけるＸ方向の剛性とＹ方向の剛性との比とを一致させる。これにより、部分的に支持梁の加工精度に誤差が生じても、それが離調率に及ぶ影響を小さく抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】直線あるいは有角の分離又は変位等の微細相対運動又は移動の正確な測定及びモニターの概念を具体化した実用的な装置を提供する。
【解決手段】
モノリスミクロ又はナノ電気機械トランスジューサ装置であって、それぞれが１以上の長形導電体（４０）を搭載した一対の基材（２０，２５）と、導電体に適切な電位差がかけられた時、導電体間に検知可能な量子トンネル作用電流を提供することができる空間で基材の長形導電体（４０）のそれぞれが対面するように基材を相対的に位置させるために基材と一体的になってリンクさせる弾性固定ヒンジ手段（３０，３２）を含んでいる。固定ヒンジ手段は長形導電体に対して横方向の基材の相対的な平行変位を可能にする。
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【課題】生体内測定のための圧力センサ、特に、カテーテル先端光ファイバ圧力センサを提供する。
【解決手段】本発明は、小型の頑強な光ファイバ圧力センサを提供する。小型の光ファイバセンサは、光ファイバに結合されたファブリ・ペローチップを含む。本発明は、センサの水分に対する感受性を小さくするように、光ファイバをファブリ・ペローセンサに結合するのに必要な接着剤の量を低減した新しいセンサデザインを提供する。本発明はまた、エッチングに基づく方法及びエキシマレーザを用いることに基づく方法を含むセンサの製造方法を提供する。本発明はまた、チップの熱変化に対する感受性を小さくしたチップデザインを提供する。本発明はまた、センサ隔膜が十分に規定された厚みを有するチップデザインを提供する。本発明はまた、チップをエッチングから保護するチップデザインを提供する。 （もっと読む）

【課題】加速／減速に応答する小型で低コストな内部スイッチを含むＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】内部スイッチはＭＥＭＳデバイスを含み、ウエハの基体層１１２上に支持された可動電極１２４及び固定電極１２２を有する。可動電極１２４は加速及び／又は減速による内力に応答して移動して、その内力が接触しきい値に達するか超えるかした時に固定電極１２２と接触し、それにより内部スイッチの状態を開放から短絡へ変化させる。ＭＥＭＳデバイスは実質的に平面デバイスであり、内力がデバイス面に平行にかかる時は、他の力方向の場合とほぼ同じとなるように設計される。本発明の内部スイッチは１ミリメートル未満といった比較的小さいサイズに設計され、その内部スイッチは対応のスイッチ回路に組み込むことができる。 （もっと読む）

【課題】 静水圧による圧縮歪を改善して、耐圧性が向上された振動式圧力センサを実現する。
【解決手段】 測定圧が加えられるダイアフラムと、このダイアフラムに設けられた振動梁とを具備する振動式圧力センサにおいて、
前記振動梁の両端側にそれぞれ一端がほぼ直交して設けられ他端がダイアフラム面にほぼ直交して設けられた柱状の第１，第２の支持部を具備したことを特徴とする振動式圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】 簡潔な構成、低価格、簡単な読出し回路設計、電磁気干渉の防止、優れた感度および周辺温度に影響を受けないマイクロ加速度計を提供する。
【解決手段】 本発明に係るマイクロ加速度計は、同一な量のガスが充填された対称構造の第１および第２密閉キャビティを含む。メンブレインが対称構造のキャビティを分離する。キャビティに温度センサがそれぞれ装着されキャビティ内のガス温度を測定する。キャビティ内に加速度の影響が与えない限り温度差は発生しない。しかし、線形加速が適用されればメンブレインが上下方向に変形することによって、例えば第１キャビティ内のガスが圧縮され温度が上がる。一方、ガスが膨張される第２キャビティの温度は下がる。第１および第２キャビティ間のガス温度差が温度センサによって電力抵抗変化として測定され、この温度差が加速度の関数として適用される。 （もっと読む）

【課題】 振動子素子を角速度センサとして使用する場合、周囲の温度変化、電源電圧の変化などによって励振振幅が安定していないと良好なセンサ特性（励振振幅を一定に保つのは困難）が得られにくく励振回路で振幅を調整する方法が採られていたが、励振回路に依存せず素子自体の励振振幅を安定する素子の実現を目的とする。
【解決手段】振動子素子の励振電極の存在するアームに、励振電極とは別に励振振幅検出用電極を形成する。励振電極に印加された励振振動信号によって、振動子素子の励振アーム内には交流電界が発生し、励振アームは所定の方向に振動し始める。この交流電界の変化を、励振振幅検出用電極で検出すると、励振振幅に応じた電圧となる。この電圧を励振回路の振幅比較手段に帰還させ、励振振幅調整手段を通して励振振動信号を調整することにより、励振振幅を安定させることができる。 （もっと読む）