本発明は可動質量部(5)と固定部(2)により静電容量(3,4)の変化を利用して可動質量部(5)の変位を検出する加速度計に関する。可動質量部(5)に固設された一連のくし歯状の可動側電極(4)を備え、これらは固定部(2)に固設された一連のくし歯状の固定側電極と互いに入り込むように組み合わされている。各可動側電極(4)と各固定側電極(3)は可動質量部(5)の位置の関数として変化する可変静電容量を形成する。この加速度計は更に(i)可動質量部の変位を表示するために可動質量部(5)と固定部(2)との間の少なくとも一カ所における静電容量の変化を検出すると共に(ii)可動質量部(5)を原位置に復帰させるための静電気力を反復的に発生する電子回路を備えている。更に電子回路は変位の測定結果に自動的に追従して復帰用静電気力を発生させる。本発明では、反復的に発生される復帰用静電気力は特にその機械的出力の周波数スペクトル(10,20)が可動質量部(5)及び／又は固定部(2)の各電極(3,4)の機械的共振周波数で実質的にゼロ出力となる領域をもつように設定されている。
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本明細書には多数の発明が説明及び図示される。１つの態様において、本発明は、最終的なパッケージングの前にチャンバー（２６）に封入される機械的構造（１２）と、少なくとも部分的にチャンバーの外に配置されたコンタクト領域（２４）とを有するＭＥＭＳ装置、及びＭＥＭＳ装置の組み立て又は製造の方法を目的とする。コンタクト領域（２４）は、コンタクト領域の周囲に置かれた誘電分離トレンチ（４６）により、近くの導電領域から電気的に分離される。機械的構造を封止する素材（２８）は、堆積された際に、１つ又はそれ以上の以下の属性を備える。即ち、引張応力が低く、良好なステップカバレージを有し、その後の処理において完全性を維持し、チャンバー内の機械的構造の性能特性に大きな及び／又は悪い影響を与えず（堆積期間に素材でコーティングされた場合）、及び／又は、高性能集積回路の統合を可能とする。１つの実施の形態において、機械的構造を封止する素材は、例えば、シリコン（多結晶、アモルファス、又は多孔性の不純物を添加された又はされないシリコン）、炭化シリコン、シリコン・ゲルマニウム、ゲルマニウム又はヒ化ガリウムである。

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【解決手段】１軸の加速度検知及び２軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサである。この微細加工マルチセンサを製造する方法は、犠牲材料又は構造材料の層を基板表面上に堆積する。犠牲又は構造材料の堆積層は、複数の水平及び垂直の空間を有する直線状グリッドを使用して形成された所定のマスクパターンでマスクされる。このマスクパターンは、センサ装置の機能部品を規定する。このマルチセンサが、少なくとも１つの機能部品を有し、その基板上のアラインメントがセンサの最適性能に対して重要である場合、その重要な部品は、その縦軸がマスクの水平又は垂直軸と実質的に平行になるように規定される。このマルチセンサが、少なくとも１つの機能部品を有し、その基板上のアラインメントが最適センサ性能に対して重要でない場合、その重要でない部品は、その縦軸がマスクの水平及び垂直軸と平行にならないように規定される。
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マイクロマシンを包含するエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）デバイスを組み立てる方法を提供する。該方法は、ダイの上にマイクロマシンを形成すること、該ダイが、頂部表面及び底部表面を有すること、ハウジングの表面に複数のダイボンディング・ペデスタルを設け、ダイの底部表面が遊離するゲッタリング材料からマイクロマシンのコンポーネントを少なくとも部分的に遮蔽するように、ダイの少なくとも１つの頂部表面及びマイクロマシンのコンポーネントをダイボンディング・ペデスタルに取り付けることを含む。

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【課題】物理量を電気信号に変換する変換部の電極と引出電極との電気的接続の信頼性を向上させることのできる物理量センサの実装構造を提案する。
【解決手段】物理量センサ３は、平板状に形成された台座１と、台座１の表面に結合されたセンサ本体２とを備える。台座１には内面が表面に対してなす角αと裏面に対してなす角βとをともに全周に亙って鈍角としたスルーホール１３が表裏に貫設されている。スルーホール１３の内面には、台座１の裏面に設けられた固定側引出電極１２と台座１の表面に設けられた固定電極１１とを電気的に接続する導電部１４が設けられている。台座１の裏面は、第１の導電パターン５２が設けられたセラミック基板５に導電性接着剤Ｂを用いて接着固定されている。ここにおいて、固定側引出電極１２は導電性接着剤Ｂを介してセラミック基板５の第１の導電パターン５２に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 小規模な回路構成であるにも拘わらず、Ｘ、Ｙ及びＺ軸方向といった３次元方向の正確な加速度を検出できる３軸加速度センサ及びそのＺ軸依存性の補正方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ軸方向に配置された一対の静電容量素子Ｃx+及びＣx-の容量比に基づいてＸ軸方向の加速度を検出する第１スイッチトキャパシタ回路４１と、Ｙ軸方向に配置された一対の静電容量素子Ｃy+及びＣy-の容量比に基づいてＹ軸方向の加速度を検出する第２スイッチトキャパシタ回路４２と、Ｚ軸方向に配置された静電容量素子Ｃzと基準容量を有する静電容量素子Ｃrefの容量比に基づいてＺ軸方向の加速度を検出する第３スイッチトキャパシタ回路４３とを備えている。 （もっと読む）