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Fターム[4M113BA12]の内容

超電導デバイスとその製造方法 (1,906) | 基板及び薄膜の製造方法 (344) | 薄膜の形成 (326) | 気相法 (148) | PVD、物理蒸着法 (112) | 真空蒸着法 (17) | 同時蒸着法 (6)

Fターム[4M113BA12]に分類される特許

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【課題】良好な超電導特性の酸化物超電導導体を提供可能な酸化物超電導導体用基材、及び該酸化物超電導導体用基材を工程時間を短縮して効率的に製造することができる酸化物超電導導体用基材の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、良好な超電導特性の酸化物超電導導体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の酸化物超電導導体用基材10は、金属基材1上に、第1拡散防止層11と、第2拡散防止層12と、第3拡散防止層13と、イオンビームアシスト蒸着法により成膜された中間層4とがこの順に設けられてなり、第2拡散防止層12の表面粗さRaが、金属基材1の表面粗さRaよりも低く設定されてなることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ホウ化マグネシウム超伝導体の微細パターンの作製方法において、超伝導特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】結晶基板101の上に、電子線レジストからなる微細パターン102を形成する(図1(a))。次に、微細パターン102の上に、室温においてアモルファス状炭素103及びアモルファス状珪素104を蒸着する(図1(b))。その後、電子線レジストの微細パターン102をリフトオフして、炭素および珪素からなる微細パターン106を形成する(図1(c))。次に、微細パターン106を設けた基板101の上にホウ化マグネシウム105を蒸着する(図1(e))。ここで、蒸着時の基板温度は280℃であることが好ましい。最後に、ホウ化マグネシウム105が形成された基板101の超音波洗浄を行うことにより微細パターン106をリフトオフして、ホウ化マグネシウム105の微細パターンを得る(図1(f))。 (もっと読む)


【課題】広い範囲の印加磁場角度に対して高い臨界電流密度を示す二ホウ化マグネシウム(MgB)超電導薄膜を提供すること。
【解決手段】高真空中において、マグネシウム(Mg)蒸気とホウ素(B)蒸気を基板法線軸に対して傾いた方向から供給することで、MgBの柱状結晶粒を基板法線に対して傾けて成長させる。基板に対するマグネシウム(Mg)蒸気とホウ素(B)蒸気の供給角度を制御することで、粒界の傾き角度が互いに異なるMgB柱状結晶粒を含んだ複数の層から成るMgB超電導薄膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】マグネシウムの酸化を引き起こしにくい緩衝膜を用いてより超伝導性のよいホウ化マグネシウムの薄膜が形成できるようにする。
【解決手段】サファイア(酸化アルミニウム)からなり主表面がC面とされた基板101の上に例えば窒化ガリウム(GaN)などのガリウムと窒素とから構成された緩衝層102が形成され、緩衝層102の上に接してホウ化マグネシウムからなる超伝導体層103が形成されている。緩衝層102は、膜厚250nm程度に形成され、超伝導体層103は、膜厚100〜120nm程度に形成されている。 (もっと読む)


低損失、大電流対応可能な酸化物超伝導体を用いた伝送線路を提供する。超伝導体伝送線路は、内部導体と、該内部導体の周囲を囲み、断面が中空4角形の各角部が除去された形状を有する4つの面を有し、隣接する面間にλ/4(但し、λは伝送する高周波の波長)未満のスリットが形成されている、酸化物超伝導体で形成された外部導体と、を有する。
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【課題】ホウ化マグネシウムを用いた積層型ジョセフソントンネル接合が、より高い温度で動作できるようにする。
【解決手段】基板101の上に超伝導体層102が形成された後、アルミニウム単体を蒸着源とした蒸着法により、超伝導体層102の上に、膜厚1.4nm程度のアルミニウムの膜が形成された状態とし、ついで、アルミニウム膜の上に酸素ガスが供給された状態としてアルミニウム膜が酸化された状態とすることで、超伝導体層102の上にバリア層103が形成された状態とする。この後、Mg及びB単体各々を蒸着源とした電子ビーム共蒸着法により、バリア層103の上に超伝導体層104が形成された状態とする。 (もっと読む)


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