【課題】赤外線撮像装置の赤外線検知部の支持体の支持強度を上げることを目的とする。
【解決手段】シリコン基板の主面上に形成された空洞上にある絶縁部材に搭載された赤外線検知部と、この絶縁部材を空洞上に保持する橋部とを備え、この絶縁部材の断面形状が段差を有するようにした。そのため、絶縁部材の２次断面モーメントを大きくでき、赤外線検知部を支持する支持体として絶縁部材の剛性を上げることができる。この様な構造は振動に強く、監視用等の可搬型に好適な赤外線撮像装置を提供できる。 （もっと読む）

【課題】可視光画像の解像度が高く、赤外光画像の感度が高く、可視光撮像と赤外光撮像を同時に行なうことができ、冷却が不要であり、画素補間などの画像処理が不要な２波長イメージセンサを提供する。
【解決手段】この２波長イメージセンサでは、複数の可視光検出器１と複数の非冷却型赤外光検出器３を均一に分散配置し、１つの可視光検出器１で可視光検出用画素２を構成し、直列接続された４つの赤外光検出器３で熱赤外光検出用画素５を構成する。したがって、可視光画像の解像度は熱画像の解像度の４倍になる。また、赤外光画像の１画素当りの受光面積を４倍に高めることができ、熱赤外光画像の温度分解能が向上する。 （もっと読む）

【課題】高感度化および応答速度の高速化を図れ、且つ、支持部の応力に起因した支持部の変形を防止できる赤外線センサを提供する。
【解決手段】ベース基板１と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部３と、温度検知部３がベース基板１の一表面から離間して配置されるように温度検知部３を支持して温度検知部３とベース基板１とを熱絶縁する断熱部４とを備える。断熱部４は、ベース基板１の上記一表面から離間して配置されベース基板１側とは反対側に温度検知部３が形成される支持部４１と、支持部４１とベース基板１とを連結した脚部４２，４２とを有する。また、断熱部４は、支持部４１および脚部４２，４２が多孔質材料により形成されており、支持部４１に当該支持部４１の応力を緩和する応力緩和層４１ｂ，４１ｃが支持部４１を挟む形で積層されている。 （もっと読む）

【課題】梁が撓んだ場合に、梁や受光部が凹部に線接触するのを防止することができる赤外線検出素子の提供。
【解決手段】シリコン結晶の（１００）面を表面とし、（１１１）面の露出した凹部１ａが形成されたシリコン基板１と、赤外線を受光する受光部３と、一端が凹部１ａの周囲の基板１に固定されると共に他端が受光部３に固定され、受光部３を凹部１ａの上方に支持する梁４とを備える。そして、梁４に撓みが生じた際に凹部１ａに接触する突起５を、梁４に形成した。そのため、衝撃等が加わって梁４が撓んだ場合、突起５が凹部１ａに接触するので、梁４や受光部３が凹部１ａに線接触するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】短波長化された光源に対しても受光感度が低下することなく、かつ応答速度が低下しない光検出素子を提供する。
【解決手段】強誘電体表面に遮光性を有する電極２１を設けて、所定の光強度の複数の単位領域と該複数の単位領域よりも光強度が小さい領域とに分割し、電極間にバイアス電圧を印加することで光強度の大きな部分においてのみ分極変化を起こすことで変位電流を生じさせる構成とすることで、高い受光感度を有した高い応答速度の光検出器とする。 （もっと読む）

【課題】 可視光から近赤外光の波長領域と、中赤外光から遠赤外光の波長領域との2つの領域を同時に撮像する光学センサシステムにおいて、システムの小型化、低コスト化、2つの光学画像間の画像処理の簡素化に役立つイメージセンサを提供すること。
【解決手段】 量子型の可視光検出器と熱型の赤外光検出器とが基板上に周期的に並んだ２次元アレイと、列方向に並ぶ前記可視光検出器または前記赤外光検出器に沿って列ごとに配置された信号線と、行方向に並ぶ前記可視光検出器または前記赤外光検出器に沿って行ごとに配置された駆動線とを前記基板上に備えたイメージセンサとしたこと。 （もっと読む）

【課題】 内部応力による検出部等の傾きが発生しない赤外線検出器およびそれを含む赤外線固体撮像装置を提供する。
【解決手段】
検出部の温度変化を検知膜で検出する略矩形の赤外線検出器が、基板と、検知膜が設けられた検出部と、検出部を基板上に支持する支持脚と、支持脚に設けられ、検知膜と接続された配線層とを含む。赤外線検出器の対角線の交点における、基板表面に対する法線に対して、支持脚が線対称となるような構造を有する。赤外線固体撮像装置は、マトリックス状に配置された赤外線検出器を含む。 （もっと読む）

【課題】 入射光の入射方向を精度よく検出でき、小型化が可能な新規な光センサを提供する。
【解決手段】 基板１０１と第１および第２の受光素子１０４ａおよび１０４ｂとを備える光センサであって、基板１０１上に基板１０１側から順に配置された第１および第２の層（半導体層１２３および１２４）を含む積層部１０２と、第１および第２の層を第２の層側に曲げることによって形成された少なくとも１つの起立部１０３ａおよび１０３ｂとを含む。第１の層の格子定数と第２の層の格子定数とは異なり、第１および第２の層は、第１および第２の層を含む複数の層における格子定数の差によって生じた力によって曲げられている。受光素子１０４ａは起立部１０３ａに形成されている。受光素子１０４ａの受光面と受光素子１０４ｂの受光面とが非平行となるように、受光素子１０４ａおよび１０４ｂが配置されている。 （もっと読む）

強誘電／焦電センサは、このセンサの強誘電シーン素子（１３４）の電荷出力を、同じ温度について特定の時間にわたってシーン素子（１３４）のヒステリシスループ出力を複数回測定することによって求める技術を利用する。強誘電シーン素子（１３４）に外部交流信号を印加して、素子（１３４）からのヒステリシスループ出力が分極を切替える。出力コンデンサと演算増幅器の組合せなどの電荷積分回路（１３８）を使用して、シーン素子（１３４）からの電荷を測定する。好ましくは、シーン素子（１３４）の強誘電体は、ＳＢＴまたはその誘導体でできており、これを上部電極と下部電極の間に直接配設する。このセンサの周波数は外部交流信号によって生成され、その周波数特性のために、従来方式のエアブリッジによって素子（１３４）をシリコン基板から熱分離する必要がないことがあり、その代わりに好ましくは、ＳＯＧ（スピン・オン・ガラス）によって熱分離する。出力コンデンサ内で過剰な電荷が蓄積されることによってセンサの出力信号電圧が飽和しないように、このセンサは、シーン素子（１３４）に並列な基準素子（１３２）を有する。交流信号の電圧が負のとき、出力コンデンサは、基準素子（１３２）を通して電流を流すことによって放電し、それによって基準素子（１３２）の分極を問い合わせ、これを各サイクルにシーン素子（１３４）の分極と比較し、シーン素子（１３４）の分極から減算する。設定した時間にわたって各サイクルに測定した分極の差を積分増幅器によって加算して、信号出力が得られる。
（もっと読む）

【課題】 熱検出画素と可視光検出画素を併せ持つ半導体装置を感度良くかつ簡易な構成で提供する。
【解決手段】 本発明の半導体装置は、半導体基板と該半導体基板に熱検出画素を構成するための温度検知部と可視光検出画素を構成するための光電変換部とが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 赤外線（温度）を検知する半導体装置として、赤外線を高感度に検知することができ、しかも低製造コストで製造可能な赤外線検出装置等を提供する。
【解決手段】 半導体装置５０は、測定対象物から放射された赤外線を吸収する赤外線吸収部５と、シリコン基板２上に形成され、赤外線吸収部５の温度変化を検知する温度検知部６とを有している。半導体基板２の表面近傍には、少なくとも部分的に多孔質シリコン層２５が形成されており、さらに、該多孔質シリコン層２５上には単結晶層４ａが形成されている。上記温度検知部６は、上記単結晶層４ａのうち、下部に上記多孔質シリコン層２５が存在している領域に形成されている。 （もっと読む）

本発明では、空洞壁部材であるポリシリコン膜１４にエッチング用ホール２１を形成する。エッチング用ホール２１からフッ酸を注入し、シリコン酸化膜１３を溶解し、空洞２２を形成する。空洞２２内でセンサの検出部１２が露出された状態になる。次に、スパッタにより、エッチング用ホール２１内及び基板の上面上にＡｌ膜１６を堆積した後、エッチバックにより、Ａｌ膜１６のうちポリシリコン膜１４上に位置する部分を除去して、エッチング用ホールを封鎖しているＡｌからなる金属栓１６ａのみを残す。スパッタ工程は、５Ｐａ以下の圧力下で行なわれるので空洞２２内の圧力を低圧に保持することができる。
（もっと読む）

【課題】 製造プロセスを簡単にしながら、ボロメータの放射感知表面がボロメータ全表面に対して高い比率となる検出器及びその製造プロセスを提供する。
【解決手段】 検出器の吸収膜（１）は、少なくとも一つの熱絶縁支持部品（５ａｂ）によって基板（２）の表面に懸架状態に固定される。基板（２）は、例えば導電層（９）によって膜（１）に電気的に接続された少なくとも二つの電気接続端子（３）を備える。支持部品（５ａｂ）は、少なくとも一つのベース端部（６）及び隆起領域（７）を有する。ベース端部（６）は、導電性柱（８）の上部に固定され、柱（８）は、電気接続端子（３）の一つに固着された基部を有する。膜（１）の底面のほぼ平坦な領域は、支持部品（５ａｂ）の隆起領域（７）と直接接触する。支持部品（５ａｂ）は、好ましくは、第２の柱（８）の上部に固定された第２のベース端部（６）を有するブリッジによって形成され、隆起領域（７）は、ブリッジの平坦な中央部によって形成される。 （もっと読む）

本発明の赤外線検出装置は、支持フレーム（３２；１３０）に固定された共振器要素（３６；７２；９６；１２０）を有する。支持フレーム（３２；１３０）は、装置が受ける赤外線を吸収するよう構成される。共振器要素（３６；７２；９６；１２０）は、温度で変動する共振特性、例えば、共振周波数を有する。本発明の赤外線検出装置は、複数の検出要素（７０）を有し、各検出要素は、支持フレームに固定された共振器要素（７２）を有する。熱検出器を配列した装置も提供される。
（もっと読む）