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Fターム[4M118EA05]の内容

固体撮像素子 (108,909) | 製造方法 (5,441) | 特殊な製法の利用 (2,288) | レーザ加工 (86)

Fターム[4M118EA05]に分類される特許

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【課題】アノードになる電極とカソードになる電極を確定できる光電変換素子を提供する。
【解決手段】光電変換素子1の半導体層10に凸層11を形成する。導電層40を凸層11の一側面に接触するようにして半導体層10の表面に積層する。第1電極21を凸層11の反対側の面に接触するようにして半導体層10の表面に設ける。第2電極22を導電層40に設ける。更に、凸層11又は導電層40に多数の周期構造33を含む金属ナノ構造30を積層する。各周期構造33は複数の第1凸部31からなり、第1凸部31の配置間隔が周期構造33に応じて異なる。 (もっと読む)


【課題】飽和電荷量の向上が可能な固体撮像素子を提供する。
【解決手段】半導体基体51の表面51A側に形成された第1フォトダイオードPD1と、裏面51B側に形成された第2フォトダイオードPD2を備える。そして、第2フォトダイオードPD2を構成する第1導電型半導体領域59と第2導電型半導体領域58との接続面の不純物濃度が、第2導電型半導体領域58の第1導電型半導体領域59と反対側の層との接続面の不純物濃度以上である固体撮像素子50を構成する。 (もっと読む)


【課題】ノイズ光の影響を軽減することが可能な光電変換素子および光電変換装置を提供する。
【解決手段】フォトダイオードは、基板上に、第1導電型(例えばp型)半導体層、i型半導体層および第2導電型(例えばn型)半導体層をこの順に備え、基板と第1導電型半導体層との間に遮光層を有している。第2導電型半導体層側から入射する光に基づいて信号電荷が取り出される(光電変換がなされる)。基板と第1導電型半導体層との間に遮光層が設けられていることにより、第2導電型半導体層側から入射した光のうち、吸収されずに第1導電型半導体層を透過して基板側へ出射した光が遮断されると共に、基板側から第1導電型半導体層へ向かう光が遮断される。 (もっと読む)


【課題】結露に起因する画質低下を抑制することが可能な放射線撮像装置および放射線撮像表示システムを提供する。
【解決手段】放射線撮像装置は、光電変換素子を有するセンサー基板10と、センサー基板上に設けられた非イオン性層20と、非イオン性層上に設けられると共に、放射線の波長を光電変換素子の感度域の波長に変換する波長変換部材30とを備える。入射した放射線は、波長変換部材を通過後、光電変換素子111Aにおいて受光され、その受光量に対応する電気信号(画像情報)が得られる。波長変換部材とセンサー基板10との間に、結露によって水が溜まると、水に含まれるイオン成分と光電変換素子(光電変換素子の電極等)とのカップリングが生じ、暗電流が増加することがあるが、非イオン性層20が設けられていることにより、そのようなカップリングが抑制され、暗電流が生じにくい。 (もっと読む)


【課題】画素部と電極との間のリーク電流を低減する。
【解決手段】固体撮像装置1は、第1及び第2の領域を有する半導体層13と、第1の領域に設けられた画素部と、第2の領域に設けられ、かつ半導体層13を貫通する複数の電極22と、第2の領域に設けられ、かつ半導体層13を貫通し、かつ画素部と複数の電極22とを電気的に分離するガードリング20とを含む。第2の領域の半導体層13の上面は、第1の領域の半導体層13の上面より低い。 (もっと読む)


【課題】接点注入電流を減らすことによって垂直方向漏洩電流を減らす高フィルファクタ画像アレイを提供することである。
【解決手段】センサが、真性アモルファス・シリコン層と、この真性アモルファス・シリコン層の第1面に結合したpドープ・シリコン層と、このpドープ・シリコン層に結合した透明な第1電極と、真性アモルファス層の第2面に結合した少なくとも1つの非金属のバック接点とを包含し、このバック接点が、真性アモルファス・シリコン層の1つの領域から電荷を集め、集めた電荷を検出電子装置に与えるようになっている。 (もっと読む)


【課題】小さな垂直シフトレジスタによって垂直ビニング動作を実現する。
【解決手段】垂直シフトレジスタ部40a,40bは、M本の行選択用配線LV,1〜LV,Mのそれぞれに行選択制御信号を出力するM個の論理回路LO〜LOと、2本の行選択用配線L毎に配置されたシフトレジスタ回路43とを有する。M個の論理回路LO〜LOは、ビニング制御信号Vbin又はVbinと、シフトレジスタ回路43の出力信号とが共に有意値であるときに、読出用スイッチSWを閉じるように行選択制御信号Vselを出力する。垂直シフトレジスタ部40a,40bは、ビニング制御信号Vbin及びVbinが有意値となるタイミングを制御することにより、上記2本の行選択用配線Lを逐次選択する通常動作モードと、上記2本の行選択用配線Lを同時に選択するビニング動作モードとを実現する。 (もっと読む)


【課題】出力特性のばらつきを抑えつつ、遅延効果による課題を解決することができる固体撮像装置、および固体撮像装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】制御部6は、M行のうち或る行を構成する各画素Pm、nの読出用スイッチSWを接続状態とすることによって、当該行において発生した電荷を積分回路Sに入力させ、積分回路Sから出力された電圧値を第1の保持回路HO1、nに保持させたのち、転送用スイッチSW32を接続状態にして該電圧値を第2の保持回路HO2、nに転送し、その後、該電圧値を第2の保持回路HO2、nから順次に出力させる動作と、M行のうち他の行を構成する各画素Pm+1、nの読出用スイッチSWを接続状態とすることによって、当該行において発生した電荷を積分回路Sに入力させる動作とを並行して実施する。 (もっと読む)


【課題】被曝量による閾値電圧のシフトを抑制するが可能なトランジスタを提供する。
【解決手段】放射線撮像装置1は、フォトダイオードとトランジスタ111Bとを含む光電変換層を有する。トランジスタ111Bは、基板11上に、第1ゲート電極120A、第1ゲート絶縁膜129、半導体層126、第2ゲート絶縁膜130および第2ゲート電極120Bをこの順に有し、第1ゲート絶縁膜129および第2ゲート絶縁膜130におけるSiO2膜の総和が65nm以下となっている。トランジスタが被曝すると、ゲート絶縁膜におけるSiO2膜に正孔がチャージされ、閾値電圧がシフトし易くなるが、上記のようなSiO2膜厚の最適化により、閾値電圧シフトが効果的に抑制される。 (もっと読む)


【課題】軽量、薄型、小型であり、かつ読み込んだ画像に明るさのむらが生じないエリアセンサ及びエリアセンサを備えた表示装置を提供する。
【解決手段】エリアセンサが有する画素は、光源としてのEL(エレクトロルミネッセンス)素子と、光電変換素子としてのフォトダイオードと複数のTFTをそれぞれ有しており、EL素子とフォトダイオードの動作をTFTで制御していることを特徴とするエリアセンサ及びエリアセンサを備えた表示装置。 (もっと読む)


【課題】信号書き込み時間が長くなることを防ぎながら、信号振幅値が大きく、かつ、入出力関係が線形で動作する範囲を大きくすることが出来る半導体装置およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】増幅用トランジスタ101及びバイアス用トランジスタ102を有する半導体装置において、放電用トランジスタ108を設けて、プリ放電を行う。または、増幅用トランジスタ101及びバイアス用トランジスタ102を有する半導体装置において、バイアス用トランジスタ102に接続されたバイアス側電源線104の電位を、増幅用トランジスタに接続された増幅側電源線103の電位に近づけることにより、プリ放電を行う。 (もっと読む)


【課題】基板の入出力端子とフレキシブルプリント基板との接続部が腐食することを的確に防止し、入出力端子とフレキシブルプリント基板との接続を良好に維持することが可能な放射線画像撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線画像撮影装置1は、複数の走査線10と複数の信号線11により区画された各領域Rに二次元状に配列された複数の放射線検出素子14とが一面3a側に設けられた基板3と、基板3の面3a上の端縁部分に設けられ各走査線10および各信号線11の端部にそれぞれ設けられた入出力端子17と、各入出力端子17に導電性を保った状態で接着されるフレキシブルプリント基板23とを備え、各入出力端子17とフレキシブルプリント基板23との接続部Qに、防湿性を有する絶縁塗料24が塗布されており、絶縁塗料24により、各入出力端子17およびフレキシブルプリント基板23末端の各端子と外気との接触が遮断されている。 (もっと読む)


【課題】シリコン基板を用いた半導体光検出素子であって、近赤外を含む波長帯域に実用上十分な感度特性を有する半導体光検出素子を提供すること。
【解決手段】半導体光検出素子1Aは、半導体層20と、半導体層20上に成長し且つ半導体層20よりも低い不純物濃度を有するエピタキシャル半導体層21と、を有するシリコン基板2と、エピタキシャル半導体層21の表面上に設けられた導体(フォトゲート電極PG、第1及び第2ゲート電極TX1,TX2、コンタクト電極11、及びパッド電極13)と、を備えている。エピタキシャル半導体層21には、光感応領域(フォトゲート電極PG直下の領域)が形成されており、半導体層20における少なくとも光感応領域に対向する表面2BKには、不規則な凹凸22が形成されている。不規則な凹凸22は、光学的に露出している。 (もっと読む)


【課題】半導体に注入された不純物を活性化するとともに該活性化によって表面性状を一様なものにして撮像素子などとして使用する際に、良好な特性を得る。
【解決手段】半導体にレーザを照射して半導体に注入された不純物を活性化する半導体基板の製造方法において、前記不純物が活性化される第1のエネルギー密度によって前記半導体に第1のレーザを照射した後、前記第1のエネルギー密度よりも低い第2のエネルギー密度によって前記半導体の前記第1のレーザ照射面上に第2のレーザを照射するので、第1のレーザ照射でレーザアニールすることによって充分な活性化を安定して行い、さらに第2のレーザ照射でレーザアニールすることで、第1のレーザ照射で生じた不規則な表面荒れを一様な荒れにする。 (もっと読む)


【課題】画素マトリクス、イメージセンサ、及びそれらを駆動するための周辺回路を有す
る、すなわち、撮像機能と表示機能とを兼ね備え、インテリジェント化された新規な半導
体装置を用いた表示装置を提供する。
【解決手段】第1の基板と、第1の基板表面上の表示部及びセンサ部と、第1の基板表面
に対向する第2の基板と、第1の基板と第2の基板を貼り合わせるシール材と、第1の基
板と第2の基板の間の液晶材料と、を有し、第1の基板の裏面には、カラーフィルターと
、光学系と、光学系を取り付ける支持台とが設けられる。 (もっと読む)


【課題】ダイシング時で半導体チップに発生するチッピング、割れ、或いは欠けを低減する。
【解決手段】半導体装置80は、半導体チップ50がガラス基板60にFace Downして載置され、接着層10で半導体チップ50とガラス基板60が接着される。半導体チップ50には、シリコン基板1、集積回路部2、受光部3、層間絶縁膜4、樹脂層5、表面電極6、貫通電極8、裏面電極9、裏面保護膜12、ボール端子13が設けられる。樹脂層5は、シリコン基板1上に層間絶縁膜4と接するように半導体チップ50の端部に設けられる。樹脂層5は、層間絶縁膜4をエッチングした開口領域に設けられる。半導体装置80は、接着層10により固着されたシリコンウェハ100とガラス基板60をブレードダイシングにより個片化されたものである。 (もっと読む)


【課題】リセット用トランジスタから光電変換素子の方へ漏れる電流の影響を小さくすることが出来る半導体装置およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】リセット用トランジスタと光電変換素子とリセット側電源線とダイオード側電源線を有する半導体装置において、リセット用トランジスタのゲート端子はリセット信号線に接続されており、光電変換素子の一方の端子は、ダイオード側電源線と電気的に接続されており、他方の端子は、リセット用トランジスタを介してリセット側電源線と接続されており、リセット用トランジスタが非導通状態のときに、リセット側電源線の電位をダイオード側電源線の電位に近づける。 (もっと読む)


【課題】本発明は、カラーフィルター層やマイクロレンズの形成を容易にして、固体撮像装置の基板にエネルギービーム加工によって貫通電極が形成される貫通孔を形成することを可能にする。
【解決手段】入射光を光電変換する受光部61が形成され、光入射側に配線部41が形成された第1基板11と、配線部41が形成された側の第1基板11に所定間隔を置いて設けられた光透過性を有する第2基板31と、第1基板11に形成された貫通孔13と、貫通孔13内に形成された貫通電極15と、貫通電極15に接続されていて第1基板11表面に形成された表面側電極21と、貫通電極15に接続されていて第1基板11裏面に形成された裏面側電極17と、表面側電極21上に形成されていて表面側電極21と第2基板31との間を埋め込むストッパ電極とを有する。 (もっと読む)


【課題】TFTと光電変換素子とを組み合わせた撮像装置において、ノイズ性能などの特性を低下させることなく、動作抵抗を変更できるようにする。
【解決手段】撮像装置は、動作抵抗が異なる複数の薄膜トランジスタT1,T2と、光電変換素子C11とをそれぞれ備える複数の画素と、複数の薄膜トランジスタの少なくとも1つを選択する選択部102と、光電変換素子で生成された電荷を選択部により選択された薄膜トランジスタを介して出力する信号配線S1とを備える。 (もっと読む)


【課題】ゴーストや配線パターン等の写り込みを回避しつつ、高速動作を可能とする。
【解決手段】半導体装置11は、第1面に半導体素子としての固体撮像素子11Aが形成された半導体基板111と、半導体基板111の第1面と反対側の第2面側に形成され、少なくとも一部に接地線を含む配線パターン116と、半導体基板111を第1面から第2面にかけて貫通し、固体撮像素子11Aと配線パターン116とを電気的に接続する貫通電極116aと、半導体基板111の第2面と配線パターン116が延在する面(または層)との間に形成され、配線パターン116の接地線と電気的に接続されたGNDプレーン117と、を備える。 (もっと読む)


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