【課題】微細な構造であっても高い電気特性を有するトランジスタを歩留まりよく提供する。該トランジスタを含む半導体装置においても、高性能化、高信頼性化、及び高生産化を達成する。
【解決手段】酸化物半導体膜、ゲート絶縁膜、及び側面に側壁絶縁層が設けられたゲート電極層が順に積層されたトランジスタを有する半導体装置において、ソース電極層及びドレイン電極層は、酸化物半導体膜及び側壁絶縁層に接して設けられる。該半導体装置の作製工程において、酸化物半導体膜、側壁絶縁層、及びゲート電極層上を覆うように導電膜及び層間絶縁膜を積層し、化学的機械研磨法によりゲート電極層上の層間絶縁膜及び導電膜を除去してソース電極層及びドレイン電極層を形成する。 （もっと読む）

【課題】集光効率が高く、かつ画素間のクロストークが少ないイメージセンサ及びその製造方法並びに検査装置を提供する。
【解決手段】複数の受光素子を備え、入射した光を電気信号に変換する光源変換部と、各受光素子の直上域に配置され、その直下に位置する受光素子に向けて光を集光する複数のレンズと、このレンズ上に形成され、光透過材料からなる絶縁層とを備えるイメージセンサにおいて、絶縁層の表面に、受光素子毎にそれぞれ離間して形成され、その中心が、各受光素子の受光部の中心とその直上に配置されたレンズの中心とを結んだ線の延長線上に位置する検出領域を設ける。そして、検出対象の試料を、少なくともこの検出領域に固定する。 （もっと読む）

【課題】３次元実装技術を採用した裏面照射型の固体撮像装置においてダイシング時のチッピングの抑制を図る。
【解決手段】半導体基板３２のスクライブライン３内のブレード領域４と固体撮像素子２との間にチッピング防止壁５３を形成する。また、半導体基板３２のスクライブライン内３のブレード領域４とチッピング防止壁５３との間の領域に対応する配線層３８の領域にガードリング５４を形成する。 （もっと読む）

【課題】画素サイズの微細化による飽和電荷量の低下と、感度の低下とを抑制できるようにする。
【解決手段】固体撮像素子は、半導体層３１の上部に行列状に配置して形成された複数の単位画素１３を備えている。各単位画素１３は、半導体層３１の内部に形成されたｎ型の第１の半導体領域３２と、該第１の半導体領域３２の上に形成されたｐ型の第２の半導体領域３３とを有している。第２の半導体領域３３は、該第２の半導体領域３３の一部が第１の半導体領域３２の深さ方向に延びる少なくとも１つの延伸部３３ａを有し、第１の半導体領域３２と第２の半導体領域３３及びその延伸部３３ａとは接合容量を形成し、延伸部３３ａは半導体層３１の表面からの深さに応じて異なる不純物濃度を有している。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、白傷欠陥の発生及び重金属汚染を有効に抑制することができる裏面照射型固体撮像素子用ウェーハ、その製造方法及び裏面照射型固体撮像素子を提供することにある。
【解決手段】その表面４０ａ側に光電変換素子５０及び電荷転送トランジスタ６０を含む複数の画素７０を有し、裏面２０ａを受光面とする、裏面照射型固体撮像素子１００に用いるためのウェーハ１０であって、Ｃを含有するｎ型半導体材料からなる支持基板２０上に、絶縁層３０を介して、所定の活性層４０を形成してなるSOIウェーハ１０であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】むらのない高品質な放射線画像情報を得ることのできる放射線画像撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線検出器４８を構成する線状電極７２の延在方向と直交する方向に多数の発光素子を配列した読取光源部５０を前記延在方向に移動させ、前記発光素子から出力された読取光を線状電極７２を介して読取用光導電層６６に照射させることで電荷情報を取得する放射線画像撮影装置において、前記発光素子に供給される駆動電流の前記延在方向に対する向きが交互に設定されるように読取光源部５０の配線回路を構成することで、駆動電流により発生する変動磁界を相殺して、放射線検出器４８から不適切な電荷情報が発生する事態を抑制する。 （もっと読む）

【課題】放射線画像検出パネル内の放射線の照射量に応じて電荷発生する光導電層の感度を一定レベルに維持する。
【解決手段】放射線画像を静電潜像として記録する放射線画像検出パネル１０の、放射線画像を担持した記録用放射線の照射量に応じて電荷を発生する光導電層１２を、Ｂi₁₂ＭＯ₂₀（但し、ＭはＧｅ，Ｓｉ，Ｔｉ中の少なくとも１種である。）からなるものとし、３５０ｎｍ未満の波長を含まず、３５０〜８００ｎｍの波長領域の少なくとも一部の波長を含む消去光を光導電層１２に対して照射させる消去光源３０を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像素子に付着した異物を正確に除去することができる異物除去装置、異物除去方法、及び撮像素子装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる異物除去装置１７は、光源１０と、光源１０からの光が通過するロッド１２と、ロッド１２の光源１０からの光の出射側に形成され、ロッド１２から出射された光を撮像素子８上に集光する粘着材１３と、撮像素子８からの出力信号に基づいて、異物と粘着材１３との位置を調整するアライメント部２２とを有するものである。そして、アライメント部２２によって調整された位置でロッド１２を移動し、粘着材１３を撮像素子８上の異物に当接させて、粘着材１３に付着させることにより撮像素子８から異物を除去する。 （もっと読む）

コンピュータ断層撮影及び他の撮像用途のための背面照射式フォトトランジスタ・アレイ。画素当たり１つの光センサとトランジスタとを有する、又は、画素当たり複数の光センサとトランジスタとを有する、バイポーラトランジスタ及び接合型ＦＥＴを使用した実施形態が開示される。
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【課題】 本発明は、検出信号の立ち上がり及び立ち下がりのジッタを低減できるエンコーダ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、複数の受光素子（１３１〜１３８）が搭載された受光装置において、複数の受光素子（１３１〜１３８）は、各々、矩形状の受光領域（Ａ１、Ａ２）を受光領域（Ａ１、Ａ２）の所定の対角線上で連結し、隣接する受光素子（１３１〜１３８）の受光領域の辺が接するように配置した構成とされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検査時の照明光軸と撮像面の傾きに対応して、撮像素子の検査精度を高める。
【解決手段】 本発明の検査装置は、検査対象の撮像素子に光を照射し、撮像素子の出力に基づいて、撮像素子の特性を検査する検査装置であって、照明部、および姿勢制御部を備える。照明部は、撮像素子に光を照射する。姿勢制御部は、光の照明光軸に対する撮像素子のアオリを判定し、アオリの判定結果に応じて、撮像素子の姿勢制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の撮像素子に照射される照明光の分光特性の変化を補正することができる照明光学装置、検査装置、および光源装置を提供する。
【解決手段】 光源１１を含み、光源の光を検査対象の撮像素子１０Ａに照射する照明光学系(１１,２Ａ,３Ａ,１４)と、撮像素子に照射される照明光学系からの照明光の一部を検知して、撮像素子に照射される照明光の分光特性と予め定めた分光特性との相違をモニタするモニタ手段１３,１５,１６,１８と、モニタ手段によるモニタ結果に応じて、光源の分光特性を調整する調整手段１６,１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 システム全体の検査時間を大幅に短縮できる固体撮像素子検査システムを提供すること。
【解決手段】 固体撮像素子検査装置の検査結果および画像データを外部の画像評価装置に取り込むように構成された固体撮像素子検査システムにおいて、
前記固体撮像素子検査装置に、固体撮像素子の検査結果および画像データを所定数Ｐ毎のロット単位でファイル化する手段と、ロット単位の検査結果および画像データを複数ｍ（Ｐ＞ｍ）個毎の複数群ｎに分割してロット分割ファイル化する手段とを設け、
前記画像評価装置は、ロット分割ファイル化された検査処理結果とそれらの画像データを取り込み、前記固体撮像素子検査装置における固体撮像素子の検査処理と並行に固体撮像素子の画像評価処理を実行することを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】 検査対象製品の種別変更にも容易に対応できる設計自由度の高い固体撮像素子検査システムを提供すること。
【解決手段】 固体撮像素子検査装置に画像処理部が接続される固体撮像素子検査システムであって、前記固体撮像素子検査装置には、検査装置上で動作するプログラムおよびパラメータが検査対象の種別に応じて複数組格納されるとともに画像処理部を駆動するためのソフトおよびパラメータが検査対象の種別に応じたデータセットとして複数組格納された制御用メモリと、検査対象とする固体撮像素子の種別に対応した所定のデータセット切替命令を設定入力する手段と、データセット切替命令に従って制御用メモリから読み出されたデータセットを複数の画像処理部に転送する手段を設け、前記画像処理部には、転送されてきたデータセットに基づき所定の画像処理ソフトを起動させる制御手段を設けたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】高歩留まりで安価に製造できる高感度な光電変換装置を提供する。
【解決手段】光電変換装置は、絶縁基板１上に、容量素子Ｃ１１と、ゲート電極２、絶縁層３、半導体層４、及び一方が容量素子Ｃ１１に接続され、他方が信号配線に接続されるソース・ドレイン電極６、７を有するスイッチ機能を有する光電変換素子としてのＴＦＴ（Ｔ１１）と、からなる画素が２次元状に複数配設された画素部と、複数の容量素子Ｃ１１と接続された複数のバイアス配線と、複数のゲート電極２と接続された複数の駆動配線と、複数のソース・ドレイン電極６、７の一方と接続された信号配線と、を含む光電変換基板を有する。ソース・ドレイン電極６、７は、ゲート電極２２の配設された領域上に存在しないよう配置されている。ソース・ドレイン電極６、７は、より多くの入射光量を得るため、透明電極であるＩＴＯにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】任意の色の光を照射することのできる光照射装置及びこれを備えた受光素子検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】光源からの光を色分解光学系で、第１色光、第２色光、第３色光に色分解する。色分解された各色光は、第１色光、第２色光、第３色光の光路にそれぞれ配置されたＮＤフィルターによって減光される。ＮＤフィルターを透過した各色光は、光量測定装置によって各色の光強度を測定し、所定の光強度になっているかどうか測定を行う。所定の光強度に調整された各色光は、第１色光、第２色光、第３色光を色合成する色合成光学系によって色合成され任意の色になり、受光素子に照射される。 （もっと読む）

【課題】光源装置から出射される平行光を受けて、固体撮像素子の受光面における中央部分から周辺部分へ向かうに従い受光面に対する垂直方向の光量より斜め方向の光量を強くする光学系を備えるプローブカード構成では、固体撮像素子に入射できない大角度の斜め光や、複数方向からの斜め光で方向別の特性評価ができない。
【解決手段】評価対象である固体撮像素子の受光面に対し、特定の斜め方向から光を照射するための発光源１１ａ〜１１ｈを備え、これら発光源１１ａ〜１１ｈがプローブカード上に配置されており、最初に光源２３から固体撮像素子の受光面に対して平行光を照射して出力信号を測定して特性評価を行い、次に、光源２３を消灯し、発光源１１ａ〜１１ｈを順に発光させ、発光させる発光源１１を切り換えるごとに出力信号を測定して特性評価を行う。 （もっと読む）