【課題】 画面周辺部で発生するシェーディングを補正すること。
【解決手段】 光を電荷に変換する受光素子と、受光素子上に形成された色フィルタと、受光素子上に形成された少なくともひとつ以上のマイクロレンズとから構成される画素が複数配置された画素領域を備えた撮像素子において、前記色フィルタの膜厚を、前記画素領域の中心部から周辺部に向かって徐々に変化させ、さらに、前記マイクロレンズを、色フィルタの厚みに応じたずらし量で配置し、シェーディングを補正することを特徴とする撮像素子。 （もっと読む）

【課題】 高い測定精度を有しつつ、測定時間の短縮が可能なマイクロレンズのモニタ用構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体装置は、画素領域に設けられたマイクロレンズと、画素領域の他の領域である周辺領域の上に設けられ、マイクロレンズの形状と相関があり、基板に垂直な面に含まれる断面の形状が同一のモニタ用構造体を有する。 （もっと読む）

【課題】感度特性に優れた固体撮像素子を提供する。
【解決手段】第１レンズ層３１と、第２レンズ層３２とを備え、第１レンズ層３１により形成される第１マイクロレンズ３２の少なくとも外周部に第２レンズ層３３が形成されている。そして、第１マイクロレンズ３２の中心部に、外周部よりも厚さの小さい、又は、厚さのない第２レンズ層３３を有する。 （もっと読む）

【課題】高集積化を図ることができる固体撮像装置及び情報端末装置を提供する。
【解決手段】入射した光を電荷に変換して蓄積する光電変換素子が形成された第１面及び前記第１面と反対側の第２面を有する複数の画素が２次元的に配置され、前記複数の画素の前記第１面によって上面１１が形成され、前記複数の画素の前記第２面によって裏面１２が形成された撮像基板１０と、前記撮像基板１０の前記上面１１側に設けられた遮光部材１３と、を備える。前記複数の画素は、前記遮光部材１３の上方から光が照射された場合に、前記遮光部材１３によって、遮光される画素と、遮光されない画素とに区別され、前記遮光されない画素の前記光電変換素子によって蓄積された前記電荷は、前記遮光される画素の前記第２面に形成されたＡＤ変換回路によってデジタル信号に変換される。 （もっと読む）

【課題】被写体の動きを容易に検知することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】第１の画素１３ａ、第２の画素１３ｂ、および単位セルの出力回路１７を有する。第１の画素１３ａは、第１の信号電荷を発生させる第１のフォトダイオード１１ａ、および第１のフォトダイオード１１ａ上に形成された第１のマイクロレンズ１２ａを有する。第２の画素１３ｂは、第２の信号電荷を発生させる第２のフォトダイオード１１ｂ、および第２のフォトダイオード１１ｂ上に形成された、第１のマイクロレンズ１２ａより小さい第２のマイクロレンズ１２ｂを有する。第２の画素１３ｂは、第１の画素１３ａに対して１／ｎ倍の感度と、ｎ倍の光電変換期間とを有する。単位セルの出力回路１７は、第１の信号電荷の電荷量に基づく第１の検出信号と、第２の信号電荷の電荷量に基づく第２の検出信号との差分信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】縞状フレア光の発生を抑制することのできる回折格子レンズおよびそれを用いた撮像用光学系、撮像装置を提供する。
【解決手段】
本発明の回折格子レンズは、ｑ本の輪帯から構成される回折格子を有する回折格子レンズであって、光軸側から数えて１番目、２番目、ｍ-１番目、ｍ番目の輪帯の幅をそれぞれ、Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ_m-1、Ｐ_mとしたとき、３<ｍ≦ｑを満たす少なくとも１つのｍが下記（数３）を満たす。
【数３】
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【課題】 １画素内に構成される複数の光電変換部を感度を持たない領域により分離した場合に、該領域による画素の感度低下や、入射角特性の劣化を低減すること。
【解決手段】 撮像素子（１０３）は、複数の画素を有し、前記複数の画素の内の少なくとも一部の画素が、それぞれ、複数の光電変換部（４０２ａ、４０２ｂ）と、マイクロレンズ（４４２）と、複数の光電変換部と前記マイクロレンズとの間に形成され、複数の光電変換部にそれぞれ対応するように一体的に構成された複数の層内レンズ（４４５ａ、４４５ｂ）とを有し、複数の層内レンズは、複数の層内レンズへの入射光を、それぞれ対応する複数の光電変換部に入射させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な加工プロセスにより、高感度化および微細化を実現することが可能な撮像素子を提供する。
【解決手段】イメージセンサ１は、２次元配置された複数の画素Ｐを備え、各画素Ｐが、フォトダイオードを含む受光部２０と、入射光を受光部２０へ向けて集光する集光部１０とを有する。集光部１０では、その画素位置に応じた特定の凹凸構造１１Ａを表面に有する１または複数の光学機能層（例えばオンチップレンズ１１）を含んでいる。特定の凹凸構造１１Ａを有することにより、オンチップレンズ１１表面における反射率が低減すると共に、瞳補正の効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、短射出瞳距離での混色や色シェーディング特性の悪化を改善する固体撮像装置を提供するものである。
【解決手段】撮像領域に配列された受光部と、各受光部上に配置された各色の色フィルター３２Ｒ，３２Ｇ，３２Ｂと、各色フィルター３２Ｒ，３２Ｇ，３２Ｂ上に配置されたマイクロレンズ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂとを有し、撮像領域の中心から同じ距離に配置された受光部上における各マイクロレンズ３３Ｒ，３３Ｇ，３３Ｂは、各受光部上に配置された色フィルター３２Ｒ，３２Ｇ，３２Ｂの色毎に、当該受光部の中心４１に対して異なるずれ量で配置されている固体撮像装置。 （もっと読む）

【課題】縦方向と横方向の曲率に対して最適なレンズ形状とすることにより、平面視で縦方向と横方向の長さが異なる照射対象に対しても中央部分に確実に集光させて集光効率を向上させる。
【解決手段】平坦化膜上に感光性レジスト膜を成膜する感光性レジスト膜成膜工程と、透過率階調マスクを用いて照射光量を平面的に制御して、感光性レジスト膜をレンズ形状に形成するレンズ形状形成工程とを有し、レンズ形状を、マイクロレンズ３７として、平面視縦方向および横方向のうちの少なくともいずれかの方向に端部同士が重なりを有したアレイ状に形成する。平面視外形が円形のレンズ形状から、縦方向および横方向の少なくともいずれかの方向に重なりを有したアレイ状に形成する。 （もっと読む）

【課題】感度向上と混色低減とを実現した固体撮像装置を提供する。
【解決手段】実施の形態によれば、固体撮像装置１は、半導体基板１０と、市松状の配置で半導体基板１０に形成された各々複数の光電変換部１１ｇ、１１ｂ、１１ｒと、光電変換部１１ｂ、１１ｒに対応する各位置に設けられた複数のマイクロレンズＭＬｂ、ＭＬｒを含むマイクロレンズ配列ＭＬＡ１と、光電変換部１１ｇに対応する各位置に設けられたマイクロレンズＭＬｇを含み、マイクロレンズ配列ＭＬＡ１よりも受光面側に配されたマイクロレンズ配列ＭＬＡ２とを有する。マイクロレンズＭＬｇの周縁部とマイクロレンズＭＬｂ、ＭＬｒの周縁部とが重なっている。 （もっと読む）

【課題】異なる高さのマイクロレンズを有する固体撮像装置を、製造工程を増加させることなく製造可能な固体撮像装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板上の透明樹脂層を露光する工程と、互いに高さが異なる第１、第２の樹脂パターンを形成する工程と、互いに高さが異なる第１、第２のマイクロレンズを形成する工程と、を具備する固体撮像装置の製造方法。露光する工程は、第１の透過領域、およびこの領域よりも高い透過率の第２の透過領域を有するグレーティングマスクを用いて透明樹脂層を露光する工程である。第１、第２の樹脂パターンを形成する工程は、透明樹脂層を現像することにより、第１の樹脂パターンおよびこのパターンよりも低い第２の樹脂パターンを形成する工程である。第１、第２のマイクロレンズを形成する工程は、第１の樹脂パターンおよび第２の樹脂パターンを熱処理することにより、第１のマイクロレンズおよびこのレンズよりも低い第２のマイクロレンズを形成する工程である。 （もっと読む）

【課題】遮光膜の開口をマイクロレンズの光軸とずらして形成することによって位相差検出画素を構成する固体撮像素子において、位相差検出画素の受光量の増加を図る。
【解決手段】固体撮像素子であるＣＣＤイメージセンサ１０は、第１位相差検出画素１２と第２位相差検出画素１３とを有している。各位相差検出画素１２、１３には、下凸半球状に形成された下凸型インナーレンズ３７ｂ、３７ｃが設けられている。第１平坦化層３３の基となるＢＰＳＧ膜に対して等方性のエッチングを行うことにより、半球状に凹んだ凹部をＢＰＳＧ膜に形成し、この上にＳｉＮ膜を製膜してＳｉＮで各凹部を埋めることにより、下凸型インナーレンズ３７ｂ、３７ｃを形成する。こうすれば、各位相差検出画素１２、１３の下凸型インナーレンズ３７ｂ、３７ｃを下凸半球状に適切に形成することができ、各位相差検出画素１２、１３の受光量の増加を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】位相差検出方式によるフォーカス調整の精度を向上させる。
【解決手段】イメージセンサ２００には、１対の受光素子間を隔てる分離領域を設け、光を集光するマイクロレンズの光軸を基準にして、大きさおよび性能が同一である１対の受光素子が非対称となるように配置されている画素が、焦点検出画素として所定の規則に基づいて配置されている。この焦点検出画素は、分離領域の中心と１対の受光素子のいずれか一方の受光素子の分離領域側の端部との間に光軸が位置するようにその１対の受光素子が配置される。制御部１４０は、１対の焦点検出画素により生成された焦点検出信号に基づいて、合焦判定を行う。 （もっと読む）

【課題】固体撮像装置において、光学混色の低減及び／又はＭｇフレアの低減により、画質の向上を図る。
【解決手段】裏面照射型のＣＭＯＳ固体撮像装置であって、光電変換部ＰＤと画素トランジスタＴｒからなる複数の画素２４が配列された画素領域２３と、画素領域２３に形成された遮光膜３９とを有し、遮光膜３９が接地されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、構造を複雑化することなく、入射光を利用効率するのに適した構成の固体撮像素子を提供する。
【解決手段】本発明を例示する固体撮像素子は、同一基板上に配列された画素群と、前記画素群を構成する各々の画素（２０）に設けられたマイクロレンズ（６５）とを備え、前記各々の画素（２０）には、少なくとも２つの受光部（４１、４２）が配列されており、前記各々の画素（２０）のマイクロレンズ（６５）には、入射光に対して正の屈折力を有したメインレンズ面（６５Ｍ）と、入射光に対して前記屈折力より弱い屈折力を有したサブレンズ面（６５Ｓ）とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】反射回折光によるゴーストの発生を効果的に抑制可能な撮像素子等を実現する。
【解決手段】撮像素子１０の第１画素１０１においては、アレイレンズ１６の一部である第１マイクロレンズ１６１が厚く、入射光Ｌの反射光路長が長い。これに対し、第２、第３画素１０２、１０３では、アレイレンズ１６の第２、第３マイクロレンズ１６２、１６３が第１画素領域１６１よりも薄いため、入射光Ｌの反射光路長が短い。このような反射光路長差を設けるように光路長の異なる画素を不規則に配置して、画素間で生じる回折光のコントラストを低下させ、反射回折ゴーストによる画像劣化を抑える。 （もっと読む）

【課題】CMOSイメージセンサにおいて、画素内の低感度のフォトダイオードの飽和レベルを色毎に異なる値にして、ダイナミックレンジを大きくする。
【解決手段】高感度のフォトダイオードPD1 と、高感度のフォトダイオードで光電変換された信号電荷を読み出す第１の読出しトランジスタREAD1 と、低感度のフォトダイオードPD2 と、低感度のフォトダイオードで光電変換された信号電荷を読み出す第２の読出しトランジスタREAD2 と、フローティングディフュージョンFDと、リセットトランジスタRST と、増幅トランジスタAMP とを有する単位画素1が複数配列された撮像領域10と、異なる分光透過特性を有する少なくとも第１、第２の色フィルタを含む複数の色フィルタとを具備し、第１の色フィルタに対応する低感度のフォトダイオードの飽和レベルをQSAT1 とし、第２の色フィルタに対応する低感度のフォトダイオードの飽和レベルをQSAT2 としたときに、QSAT1 ＞QSAT2 の関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、色分離特性が向上した裏面照射型の固体撮像素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 受光部は、第１受光部と、半導体基板裏面を基準として前記第１受光部より深い位置に配された第２受光部とを含み、第１受光部は、光電変換によって発生した電荷が、信号電荷として収集される第１導電型の第１半導体領域を含む。読出し部は前記第１半導体領域に収集された電荷が半導体基板表面側に読み出されるように、深さ方向に延在して配された第１導電型の第２半導体領域を含む。第２半導体領域に入射する光量を低減する手段を有する。 （もっと読む）