【課題】斜出射ＥＰＭＡ分析において、複数の波長分散形Ｘ線分光器に対するＸ線取出し角度を簡単に設定できるようにする。
【解決手段】回転機構の上に傾斜角調整機構が載っている構造を有する試料ステージに分析試料を載置する。波長分散形Ｘ線分光器と同一のＸ線取出し各度に設定されたエネルギー分散形Ｘ線分光器を用いて、分析に用いる特性Ｘ線の全反射角またはその近傍の取出し角度になるように分析試料の傾斜角度を設定する。分析試料の傾斜角度を保ったまま、各々の波長分散形Ｘ線分光器のＸ線取出し方向に試料を回転させて測定を行う （もっと読む）

本発明は、物体を分析または加工するためのナノマニピュレータに関する。このナノマニピュレータは、少なくとも一つの物体を分析位置または加工位置に対して相対的に移動させるために、移動すべき物体または物体ホルダを支持し、移動実施のために変位可能な複数の移動要素を装備しており、これらの移動要素は、それぞれ移動すべき物体または物体ホルダ用の支承面を有しており、これらの移動要素はナノマニピュレータの軸方向で少なくとも一つの支持平面を支えている。このナノマニピュレータは、支持平面を移動させるための、剪断圧電素子を含む移動要素を備えていることを特徴とする。
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【課題】 パーティクルの発生および装置の複雑化を招くことなく、ステージ上における基板の重心位置および回転角を検出することができる荷電粒子ビーム描画装置を提供すること。
【解決手段】 荷電粒子ビーム描画装置は、複数の端面を含む基板５上に電子ビーム１１を照射し、基板５上にパターンを描画するための試料室２と、試料室２内に設けられ、基板５が搭載され、移動可能なステージ３と、基板５の複数の端面のうち、少なくとも隣接する二つの端面を検出するためのＺセンサ１２，１３，２８と、基板５の少なくとも隣接する二つの端面に基づいて、ステージ３上における基板５の重心位置および回転角を算出する算出手段２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 試料全領域の観察を行うような場合でも、特定試料部を光軸位置に正確に合わせることができる、複合観察装置を実現する。
【解決手段】 比較的倍率が低い像を観察する第１の観察装置で、被検査試料の広い範囲を観察して詳細に観察したい特定点を見いだし、その特定点の試料上の位置を示すデータと共に被検査試料を比較的高い倍率の像を観察する第２の観察装置のステージ上にセットし、試料の特定点を比較的高い倍率の像により詳細に観察するようにした複合観察装置において、第１の観察装置の試料移動ステージは、ステージのＸ、Ｙの直線状の移動により、試料表面のほぼ全領域を観察できる大型のステージを有しており、第２の観察装置は、Ｘ、Ｙ方向の２次元移動と回転動とが可能な試料ステージを有しており、回転動とＸ、Ｙ２方向の直線移動を組み合わせることにより、試料表面のほぼ全領域を観察できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】電子カラムをモーショニングさせ、試料の動きを最小化することによって、従来の装置に比べ、装置を小型化することを目的とし、さらに、電子カラムを多重化し、モーショニングを可能にして使用することにより、短時間に多くの電子ビームで多くの単位表面積をスキャンして時間的にも有利な装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームを放出する電子カラムと前記電子ビームが照射される試料間に相対運動を与えるモーショニング装置を提供する。このモーショニング装置は、試料に電子ビームを放出するマルチマイクロカラム；前記マイクロカラムを支持する支持部；および前記支持部を動かして前記マイクロカラムを移動させる駆動手段；前記試料を低真空または高真空に維持するための真空室；を含む。 （もっと読む）

イオンビーム中を通過してワークピースをスキャンするための往復駆動システム及び装置が提供される。第１軸回りに個々に回転可能なロータとステータを含むモータは、イオンビームに対してワークピースを往復移動するように作動可能である。ロータにより回転駆動されるシャフトは、第１軸に沿って伸び、スキャンアームは、このシャフトに連結され、そして、ワークピースを支持するように作動可能である。モータによるシャフトの周期的な逆回転によりスキャンアームを回転させて、第１スキャン経路に沿ってイオンビーム中を通過するワークピースをスキャンさせる。ステータは、ロータの回転に対して反動質量として作用する。コントローラは、さらに、ロータとステータ間の電磁気力を制御するように作動し、ロータとステータの回転位置を決定する。
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