【課題】本発明は、上記の問題点を鑑み、材料やイオンビーム照射角度に依存しない加工をする手法を提供することを目的としている。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、イオンビームを試料に照射して試料を加工する加工装置において、前記イオンビームに対し、試料を回転傾斜させる試料傾斜回転機構を備え、当該試料回転機構は、試料をイオンビームに対し回転させる回転軸と、当該回転軸に対して直行し、前記試料をイオンビームに対して傾斜させる傾斜軸を備え、前記試料の回転と傾斜を同時に行うことを特徴とする加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室内を大気開放することなく容易な作業により短時間で差動排気絞りの着脱，位置調整，交換が行え、高分解能化が可能になる環境制御型電子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、電子線を放出する電子銃と、電子銃から放出された一次電子線を試料上に集束する対物レンズと、前記対物レンズ下に配置される試料室と、前記試料室内に備えられた試料微動装置と、前記試料室内の真空度を制御する排気系とを備えた電子顕微鏡において、前記試料微動装置に、差動排気絞りを着脱する交換部材を設置し、前記試料微動装置による前記交換部材の駆動により差動排気絞りを前記対物レンズに対して着脱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持および位置決め構造体を提供する。
【解決手段】本発明は、テーブル上のターゲットを支持および位置決めするための支持および位置決め構造体を備えた荷電粒子システムに関し、支持および位置決め構造体は、第一の部材と、第二の部材と、第二の部材に対して第一の部材を移動させる少なくとも一つのモーターを備えており、前記少なくとも一つのモーターによって発生される電磁場から少なくとも一本の荷電粒子ビームをシールドするシールドが存在し、支持および位置決め構造体は、第一の部材と、第一の部材とテーブルとターゲットの重量を少なくとも部分的に支えるための第二の部材を機械的に結合しているスプリングをさらに備えている。
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【課題】試料の軸を試料台の回転軸に合わせ、省スペースにおいて試料の位置調整を行う顕微鏡用試料台を提供する。
【解決手段】線状体の試料における周方向の異なる位置を顕微鏡で観察し検査するための顕微鏡用試料台である。回転軸21（回転軸a）を有する回転体20（回転体Ａ）と、回転体20に対して、回転軸21と偏心した回転軸31（回転軸b）にて回転自在に支持される回転体30（回転体Ｂ）、と、回転体30に対して、回転軸21及び回転軸31の双方と偏心した回転軸41（回転軸c）にて回転自在に支持され、前記試料の軸を回転軸21と実質的に平行に保持する試料ホルダ10を有する回転体40（回転体Ｃ）、とを備える。前記回転軸21、回転軸31、回転軸41及び試料ホルダ10は、回転体40及び回転体30の少なくとも一方を回転することで、試料Sの軸を回転軸21と同軸に調整するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、放出ガスの発生個所であると考えられる摺動部から放出される放出ガスを高効率、且つ簡単な構成で除去する真空排気方法及び真空排気装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、真空室内に移動装置を備えた真空装置において、前記移動装置の移動に伴って、摺動する摺動機構を備え、当該摺動機構の被摺動部を、活性金属材料を含むゲッタ面とし、摺動部を当該ゲッタ面を摩擦する摩擦部材とすることを特徴とする真空装置、及び移動機構の移動に伴って、活性金属材料表面を摩擦することで、ゲッタ面を新生する真空排気方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある
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【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】試料台の回転中心位置を特定する回転中心探索方法及び回転中心探索システムを提供する。
【解決手段】観察対象の試料７を固定する平面部４２を有する試料台４１の平面部４２に予め定めた観察点１０を設ける。試料台４１を平面部４２に沿う方向に回転しつつ、観察点１０の各角度における座標を記憶する。記憶された座標に基づいて図形１１を描画する。描画された図形１１の内部の点を試料台４１の平面部４２における回転中心を特定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、冷却しながらの荷電粒子による加工もしくは観察を効率的に行うことに関する。特に、熱ダメージの影響が懸念されるような材料を冷却した状態で加工観察することに関する。また、荷電粒子を用いた試料加工法による影響を冷却により効果的に軽減することに関する。
【解決手段】本発明は、イオンビーム照射により試料から摘出された試料片を固定できる試料台と、該試料台を所望方向に回転させる回転機構と、を備え、イオンビーム装置と透過電子線顕微鏡装置に装着可能であり、前記試料台と冷却源とを熱的に接続する可動な熱伝達物と、前記試料台と該熱伝達物質を熱的に外界から隔離する隔離物質を有する試料ホールダに関する。本発明により、効率的に冷却しながら荷電粒子線による加工や観察を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の傾斜方向からのビーム走査が可能な荷電粒子線装置において、高分解能の維持と、ステージ構造の簡素化の両立を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料の２つの移動方向に対し、垂直な方向に荷電粒子線光軸を有する第１の荷電粒子光学系と、試料ステージの移動方向に対し、傾斜した方向に荷電粒子線光軸を有する第２の荷電粒子光学系と、試料を真空雰囲気内に保持する試料チャンバと、真空雰囲気内にて回転させると共に、第１の荷電粒子光学系光軸と平行な回転軸を持ち、試料を回転する回転機構と、回転機構と試料ステージとの間で、当該試料を搬送する搬送機構を備えた荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】無限回転可能な試料ステージを有し、試料周辺の電界の乱れを抑制することで、試料全面を画像歪みなく観察可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料には回転ステージの回転中心にてホルダ受けと接触するリターディング電極を通じて電圧印加し、試料外周部には電界歪みを補正するための電界制御電極を備える。電界制御電極に電圧印加することで、電界制御電極上の等電位面を変化させ、それに伴い、試料端部における等電位面を補正し、試料端部まで観察可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料を取り外すことなく、試料を多方向から加工することを可能にする、集束イオンビーム加工装置と透過型電子顕微鏡に用いる共用試料ホルダーを提供することを課題とする。
【解決手段】試料ホルダー本体と、回転操作のための突起を有する円弧状回転台と、試料を搭載する試料台であって前記回転台の突起に嵌合するための穴を有する試料台と、前記試料ホルダー本体に装着された前記試料台を当該試料台の上から押さえる試料台押さえ手段と、前記試料台押さえ手段を試料ホルダーに固定する固定手段と、を少なくとも有すると共に、試料ホルダー本体に、ＦＩＢが入射する側の一部に形成されたＦＩＢ加工用の切り欠き部と、ＴＥＭ観察用の電子線通過穴と、該通過穴に沿った円弧状の溝と、が前記円弧状回転台を嵌合可能に形成されており、試料台押さえ手段によって、前記試料ホルダーに前記試料台を固定する試料ホルダーである。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハーの大口径化、微細化に対応した、小形で、高性能のステージシステムを備えた安価な荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】回転アーム１２は一方端が回転アーム支持軸により支持され、アーム１２の他方端部の下面部を支持する円弧ガイド１３上を旋回する。回転アーム１２の駆動は回転アーム１２の先端に接触している超音波モータ１４で駆動され、回転角度検出器１６のより回転アーム１２の回転角度を検出する。超音波駆動モータ１４はパルス駆動で回転アーム１２を極めて精度良く、ステップ送りすることが可能である。回転アーム１２は回転支持ベアリング１５により支持され回転し、円弧ガイド１３上を他方端が回動することより、剛性を向上させており、上下方向のガタを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】小型で低価格でありながら、検査対象のパターン微細化に対応した検査精度が向上された荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】被検査試料の検査位置（ウェハー座標系）を検査機構の配置位置（ステージ座標系（極座標系））に変換し、回転アーム１０２を回転させると共に、回転ステージ１０３を回転させて、検査機構の配置位置に、被検査試料の検査位置を移動させる。このとき、回転ステージ１０３の中心のずれ量等を算出して、補正することを可能としたので、２軸回転ステージ機構を有する荷電粒子線装置において、検査対象のパターン微細化に対応して、検査精度を向上することができる。また、回転アーム１０２の回転により描かれる回転ステージ１０３の中心の移動軌跡上に、複数の検査装置を配置する構成としたので、小型でありながら、複数種類の検査が可能な荷電粒子線装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数の試料、例えば、観察したい試料と、収差補正の標準調整試料を同時に装着し、それぞれの試料を観察できる試料ホルダーにより、大幅な利便を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、試料ホルダーを駆動するための試料ホルダー駆動機構を有する試料ホルダーであって、前記試料ホルダー駆動機構は、前記試料ホルダーの略長手方向において前記試料ホルダーを可変可能であることを特徴とする。また、本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、前記試料ホルダー駆動機構は、前記試料ホルダーとは別個に設置された試料ホルダーの略長手方向の駆動機構とは無関係に、試料ホルダーの保持筒への試料ホルダーの挿入深さを可変することが可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２つの結晶の方位関係と結晶粒界の特性をリアルタイムで正確に確認できることを特徴とし、透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係と結晶粒界の特性を測定する測定装置及びその測定方法を提示する。
【解決手段】このため結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対してゴニオメ−タを利用してＸ傾斜軸及びＹ傾斜軸にそれぞれ垂直する軸である（Ｔｘ，Ｔｙ）値を測定し、測定された結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対する３つの（Ｔｘ，Ｔｙ）値から（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）結晶軸の挟角を求める。次いで（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の結晶指数から結晶学的な方法で（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角を求める。次いで、測定された（Ｔｘ，Ｔｙ）値から得た（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角と結晶学的に算出した挟角とを比較して、その差を最小化する（Ｔｘ，Ｔｙ）値を正確な測定値として選択して、傾斜軸と結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）間の関係を樹立する。次いで２つの結晶間の脱角行列を利用して結晶粒界の特性を糾明する。 （もっと読む）

【課題】単純な構造で安価に製造できるチルトステージにより試料片等比較的小さな対象物を観察する際、微細な角度でチルティングと回転が可能な、かつ操作性の優れた機能を提供する。
【解決手段】頂部に小球を配し、内部に圧電素子２１を有し、外部を与圧ホルダー２２によって補強された３本の支持脚２、観察物を搭載するステージ部１１を有し、該支持脚上に載った球体１、より主に構成され、該支持脚を伸縮し上下に位置移動することにより該球体（ステージ半球）をあらゆる方向に傾斜可能で、かつθ回転可能な、物体或いは観察対象試料を該ステージ部上に載せて観察、操作、検討することを目的としたチルティング装置及びステージ部調整方法。 （もっと読む）

【課題】トモグラフィー法にあって、試料を試料台の回転軸上に容易に搭載でき、全回転角において、観察・分析を正確に行うことができるようにする。
【解決手段】電子顕微鏡にも共用される、試料台が備えられている試料回転ホールダにあって、試料台の軸心上の試料搭載側先端に球体部を設け、粉体試料を効率よく回転軸中央に装着し、試料回転ホールダ及び試料台それぞれの各回転角で、三次元再構成時の取得画像の位置合わせが正確に行え、三次元再構成像を高精度で得ることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】試料を変形させずに試料そのものの形状を観察することのできる手段を提供する。
【解決手段】開口部を有する試料保持部材（例えば、マイクログリッドやメッシュ等）にイオン液体を保持し、そこに試料を投入することによってイオン液体中に試料を浮かして観察する。さらに、試料保持部材の近傍に、イオン液体を注入する機構（イオン液体導入機構）及び／又は電極を設けている。電極に電圧を印加すると、試料がイオン液体中で移動・変形でき、移動したり変形したりする様子を観察することができるようになる。また、試料保持部材の近傍に、蒸着装置を設けて蒸着しながらイオン液体内に試料を投入できるようにする。さらに、試料保持部材の近傍に、マイクロキャピラリーを設け、液体状の試料をイオン液体内に投入できるようにする。また、試料保持部材は回転できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】試料を電子光学軸に対して傾けても、試料の透過像を得ることが出来る電子顕微鏡の試料装置を提供する。
【解決手段】
電子銃２からの電子ビーム３を試料室９に配置された試料Ｓに照射し、試料を透過した電子ビームに基づく試料像を得る様に成した電子顕微鏡の試料装置で、試料保持体３３を支持する試料ホルダ３２、試料Ｓの移動及傾斜を行うゴニオメータ３１、その一端部が試料室９内に位置する様に試料室壁に設けられたゴニオメータ支持体３０、先端面に当たる部分が吹き抜けており、電子光学軸Ｏに垂直な上壁及び底壁それぞれ電子ビーム通過孔が開けられたガス雰囲気容器３４、及び、ガス雰囲気容器３４内を先端に取付け、容器３４内にガスが導入可能に成され、試料室９内で電子光学軸Ｏに垂直な方向に移動可能に試料室壁に設けられた容器支持管３７を備えている。 （もっと読む）

回転台（１９）上に実装された加工物用遊星運搬台（２２）が真空チャンバ内に設けられる。雲の中心軸（Ａ_ＣＬ）が回転台（１９）の回転軸（Ａ_２０）と交差するように、イオン含有雲（ＣＬ）の供給源（２４）が設けられる。雲（ＣＬ）は、遊星軸（Ａ_２２）の移動経路（Ｔ）でのイオン密度プロファイルが、前述の中心軸（Ａ_ＣＬ）から遊星運搬体（２２）の直径のせいぜい半分の距離で最大イオン密度の５０％に低下する。遊星運搬台（２２）上の加工物がイオン含有雲によってエッチングされるとき、エッチング除去された材料は、実質的に、隣接した遊星運搬台上に再堆積されるのでなく、真空チャンバの壁の方へ放出される。
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