【課題】本発明は、真空排気時等の巻上げによって生ずるパーティクルの試料への付着を抑制する低汚染ローダ、及び低汚染ローダを備えた荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、枝分かれした粗引き配管を持つロードロック室を備えた低汚染ローダであって、当該複数の排気管に流入する気体の圧力を検出する複数の圧力センサと流量調節機構を備え、排気管内部の圧力が等しくなるように流量を調節しながら、前記ロードロック室の真空排気を行う低汚染ローダ、及び当該低汚染ローダを備えた荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ホトマスクの表裏面に押圧部材を押し当てることなく、ホトマスクの搬送及び測定，検査時に、当該ホトマスクの除電を行う試料保持装置の提案を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、真空試料室と、予備排気室との間で搬送され、ホトマスクを保持する試料保持装置であって、ホトマスクのパターンが形成された面を正面としたときに、ホトマスクの側面よりホトマスクを押圧する押圧機構を備え、押圧機構は、ホトマスクの側面に平行な回転軸を持つ回転部材を有し、回転部材は、回転軸と交差する２つの辺の間に形成される頂角部を有し、頂角部が前記ホトマスクの側部との接触部となるように構成した。 （もっと読む）

【課題】安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡等の真空機器に備えられた試料交換棒の折り曲げ操作をオペレータが良好に行うことのできる真空機器を提供する。
【解決手段】真空排気される試料室と、開閉バルブを介して試料室に接続された試料交換室と、試料交換室の側壁を貫通し、先端部に支持する試料を開閉バルブを通して試料室内と試料交換室内との間で搬送するための折り曲げ可能な試料交換棒１とを備えた真空機器において、試料交換棒１は、シャフト５と、シャフト５の周囲を覆うパイプ６を有しており、試料交換室の側壁１１の外側には、試料交換棒１のパイプ６側面に当接したときにはシャフト５への係合動作が制動されるとともに、試料交換棒１のパイプ６から露出されたシャフト５側面に当接したときにはシャフト５と係合するとともにパイプ６の一端と接触し、これによりパイプ６の移動を制限する係合部材５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ホトマスクのような試料を測定対象とする荷電粒子線装置において、試料裏面に帯電が付着していたとしても、高精度に装置条件の調整を行い得る荷電粒子線の提供を目的とするものである。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料の搬送過程において、試料裏面の電位分布を測定し、その測定に基づいて、試料の除電の程度を制御、又は試料ホルダ等に試料を配置したときの試料表面の電位分布を推定、或いは計算する装置を提案する。当該態様によれば、ホトマスクのようなパターン面とは異なる面に大きな帯電が付着する試料であっても、高精度且つ高速に測定、或いは検査を行うことができる荷電粒子線装置を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料搬送機構に関し、試料搬送棒が突き出てじゃまにならないようにした試料搬送機構を提供することを目的としている。
【解決手段】試料室１と予備排気室３との間で試料５を搬送する搬送機構の一部に試料搬送棒７を用いた試料搬送機構において、前記予備排気室３の端部に試料搬送棒７と一体となった回転ユニット１０を設け、試料交換以外の時には、前記回転ユニット１０を所定角度回転させて、試料搬送棒７を試料搬送方向と上下左右の任意の方向となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は荷電粒子ビーム装置用試料ホルダ及び荷電粒子ビーム装置の予備排気室に関し、試料と試料ホルダを正しくそして確実に試料室内に搬送することができる荷電粒子ビーム装置用試料ホルダ及び荷電粒子ビーム装置の予備排気室を提供することを目的としている。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置用試料ホルダであって、その一角を変形させ、前後／左右／表裏方向に非対称となるように構成される。本発明によれば、試料と試料ホルダを正しくそして確実に試料室内に搬送することができる荷電粒子ビーム装置用試料ホルダ及び荷電粒子ビーム装置の予備排気室を提供することができる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子顕微鏡による観察状態にある試料の引張を行う引張装置に関し、試料室内で回転、傾斜、移動して、引張状態の試料上の任意の場所、角度などの画像を容易に撮影することを目的とする。
【構成】引張対象の試料を固定すると共に試料を引張する引張機構と、引張機構と直交あるいは平行に、引張機構に接続して電気駆動可能な駆動源とを配置して固定したベースを備え、電子顕微鏡の試料室の側面に設けた交換棒あるいは交換機構で、電子顕微鏡の試料室内に設けたＸＹ方向に移動可能なステージ上に固定されているベースを取り外して予備排気室に移動させたり、あるいは予備排気室内のベースを移動してステージ上に固定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、静電チャックのクリーニングを容易にし、また静電チャック汚染による不稼働時間を低減可能な走査電子顕微鏡の提供を目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために、電子ビームによる測定，観察を行うために予備排気室を経由して、試料を導入する電子顕微鏡において、前記予備排気室とは異なる静電チャックの交換室と、当該交換室を真空排気するための真空ポンプを備えた電子顕微鏡を提案する。このような構成によれば、静電チャックのために試料室を大気に戻す必要がなく、且つ静電チャックの清浄化を効果的に行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 膜に保持された試料の試料交換を迅速に行うことができるとともに、分解能の低下を防ぐことができ、また真空室内の汚染を防止することができる試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システムを提供する。
【解決手段】 試料検査装置は、第１の面３２ａに試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、真空室１１内において、３２膜と一次線照射手段１との間の空間を仕切るための開閉バルブ１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子線描画装置に用いられる搬送装置の簡略化を図る
【解決手段】搬送装置１００を水平方向へ相互に摺動可能な第１スライドテーブル５３Ａ、及び第２スライドテーブル５３Ｂを備える多段スライダ５０と、第１スライドテーブル５３Ａ、及び第２スライドテーブル５３ＢそれぞれをＸ軸方向へ駆動するレージトングアーム７０とを含んで構成する。そして、開閉ユニット６０によりレージトングアーム７０を伸長又は伸縮されることで、複数のスライドテーブル５３Ａ、５３Ｂそれぞれを一括して駆動する。これにより、複数のスライドテーブル５３Ａ、５３Ｂを個別に制御することが不要となり、搬送装置１００の駆動機構を単純化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料搬送機構内のクリーン度悪化の兆候を的確に検知し、試料を異物付着から保護すること。
【解決手段】 半導体用走査電子顕微鏡用の試料搬送システムＳは、試料室１、試料交換室２、ロードポート１１、試料搬送経路、試料１３の搬送手段、搬送手段を制御する制御装置を備えている。また、試料搬送経路は、除塵用のファンフィルター機構を有し、防塵カバー１４に覆われている。そして、制御装置は、ファンフィルター機構の動作状態、防塵カバー１４の内外の気圧差、防塵カバー１４の内部の気流、および、ファンフィルター機構の寿命、のうち少なくとも１つに基いて、防塵カバー１４の内部のクリーン度が悪化したと判断する。 （もっと読む）

【課題】予備排気室の真空排気時に結露が生じることがない検査装置を提供することにある。
【解決手段】試料室１０と予備排気室２０とを備えた検査装置において、予備排気室２０内を真空排気する前に、試料ホルダ２上に保持された試料１を予備排気室２０内に配置し、大気側ゲート弁２２閉じ、給気弁２８を開け、２〜４気圧の乾燥窒素を予備排気室２０内に導入する。大気開放弁２６を開き、予備排気室２０内の空気が排気され、乾燥窒素に置換される。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等基板上で発生した回路パターンの欠陥、異物、残渣等を二次電子像を比較することにより検査する方法において、絶縁材料を有する回路パターンを高速、安定、高精度に検査可能とする。
【解決手段】被検査基板９に、高速に大電流の電子線１９を照射して回路パターンの部材の電位が変動する前に電子線画像を形成する。また、検査用画像を形成するための第一の電子線以外に第二の荷電粒子線１０４を被検査基板９に照射し、部材の電位状態を安定させた後に検査を実施する。また、二次電子検出信号をデジタル化してから転送し、高効率に高ＳＮ比で良質な電子線画像を取得する。
【効果】上記検査方法により、絶縁材料を有する回路パターンの検査が可能となった。これにより半導体装置など各種基板製造プロセスの過程で発生した従来技術では検知できない不良や異常を発見できるようになり、基板製造プロセスの不良率を低減し信頼性を向上した。 （もっと読む）

【課題】スループット良く且つ高精度で試料の欠陥の検出が可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、真空状態のワーキングチャンバ３０と、Ｌ_aＢ_６電子源を備えた電子光学装置７０と、ワーキングチャンバへウェーハを搬出入するローダハウジング４０と、ワーキングチャンバに接続され、内部が雰囲気制御されているミニエンバイロメント装置２０と、を備える。ローダハウジング４０は、ミニエンバイロメント装置２０に接続する第１のローディングチャンバと、ワーキングチャンバに接続する第２のローディングチャンバと、第１及び第２のローディングチャンバの間の連通を選択的に阻止する第１のシャッタ装置２７と、第２のローディングチャンバとワーキングチャンバとの間の連通を選択的に阻止する第２のシャッタ装置４５と、を備え、第１及び第２のローディングチャンバには各々真空排気配管と不活性ガス用のベント配管とが接続される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、試料の交換作業を短時間で行なえる真空搬送装置を実現し、しかも、占有面積が小さく、スループットを向上させた荷電粒子線検査装置を提供する。
【解決手段】２つの駆動源２，１０により回転および上下動作が可能なアーム１と、このアーム１の両端に、アーム１の回転に伴って回転するように支持されて試料を載置する第１のハンド２２と第２のハンド２３とを上下方向に離間させて配置して、アーム１の回転と上下動作の制御のみにより試料の搬送とその交換を可能した真空搬送装置２６を構成し、また、この真空搬送装置２６を荷電粒子線検査装置の予備排気室ではなく真空試料室内に配置した。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、半導体ウェーハを検査する走査型電子顕微鏡において、ウェーハの交換に要する時間をさらに短縮することにより、ウェーハ検査のスループットを向上させる装置の提供を課題にする。
【解決手段】 本発明の電子顕微鏡は、未検査ウェーハ及び検査済ウェーハを交換するために設けられるウェーハ交換部(40)が、長手方向にスライドして往復する第１アーム(41a)と、この第１アーム(41a)の先端に設けられウェーハを把持／解放する第１ウェーハ把持部(45a)と、長手方向にスライドして往復する第２アーム(41b)と、この第２アーム(41b)の先端に設けられウェーハを把持／解放する第２ウェーハ把持部(45b)と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料を載置する際の位置ずれが生じない荷電粒子線装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、台座に置かれる試料保持台と、ウエハを含む試料を試料保持台に上げ下げする試料上下手段とを有する試料交換室が備わる荷電粒子線装置において、試料保持台に前記試料を載せる際に、試料保持台と前記試料との合わせ面に介在する気体を抜くことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、荷電粒子線装置およびそのコンタミネーション除去方法に関し、大気圧、減圧下、酸素などのガス環境下で、試料に紫外線を照射し試料のコンタミネーションの除去、低減し、測長装置などにおける操作性やスループットの低下を招くことなく、半導体ウェハーやフォトマスクのパターンの測長再現性などを向上させることを目的とする。
【構成】 試料を搬入し予備排気する予備排気室と、予備排気室内に搬入した試料の表面を一定時間、紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、予備排気室を予備排気した状態で、弁を開けて試料を観察する位置に搬送、あるいは観察する位置に設置されている試料を予備排気室に搬送する部屋である試料室とを備え、試料の試料室への搬入前あるいは搬入後あるいはその両方で予備排気室で紫外線照射ユニットにより試料の表面に一定時間、紫外線を照射し、試料の表面のコンタミネーションを除去する手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の電子顕微鏡は、あまりにも大きい為、試料を電子顕微鏡で観察する必要が生じた場合、これを、電子顕微鏡がある研究所などに持って行って観察しなければならず時間的、空間的に不便であった。本発明は、このような問題点を解決するために、マイクロカラムを使用して携帯または移動可能な電子顕微鏡を提供することをその目的とする。また、本発明は、時間的および空間的制限なしに、移動しながら試料を観察することが可能な顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロカラムを利用したポータブル電子顕微鏡を提供する。このポータブル電子顕微鏡は、マイクロカラム；低真空用ポンプ；高真空用ポンプ；超高真空用イオンポンプ；マイクロカラムおよび測定対象試料が収容固定され、前記ポンプによって真空が形成される第１チェンバー；コントローラー；および前記ポンプ、前記チェンバー、および前記コントローラーを収容するケース；を含む。 （もっと読む）