【課題】パルスビームを高周波化できるとともに、パルスビームの最大値や最小値の値を任意にコントロールでき、品質の高い溶接を可能にする電子ビーム加工機を得ることである。
【解決手段】電子銃の陰極とバイアス電極間に電圧を印加して電子ビームを制御するバイアス電源が、直列に接続された、高安定電源と高応答電源とで形成されており、高安定電源が、ビーム電流を計測する電流検出回路から出力されたビーム電流信号に基づき、ビーム電流をフィートバック制御する電圧を出力し、高応答電源が、パルス信号発生器で発生したパルス基準信号により制御されたパルス電圧を出力するものである。 （もっと読む）

【課題】アライメントの精度や信頼性などを向上させることができ、また、製造原価のコストダウンを図ることができる電子ビーム加工装置及び電子ビーム加工方法、並びに、電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射方法の提供を目的とする。
【解決手段】電子ビーム溶接装置１は、電子銃２と、集束コイル４と、アライメントコイル３１、デジタル観測光学系３２、デジタル画像処理コントローラ３３及び情報処理装置３４を有するアライメント制御手段３とを備え、情報処理装置３４が、アッパーフォーカス状態とロアーフォーカス状態で電子ビームをターゲット１０に照射し、これらの照射画像の位置座標の差分から算出した補正値にもとづいて、アライメントコイル３１に、アライメント制御信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、加工対象物を広範囲でかつ適切に加工することが可能なビーム加工装置を提供すること。
【解決手段】ビーム加工装置は、ワークの加工を行うためのビームを出射するビーム出射源３と、ビーム出射源３から出射されたビームが通過するビーム通過路８を有する真空チャンバー４と、ビーム通過路８に連通しビーム通過路８を通過したビームが通過する通過空間２０およびワークに向けてビームを出射する出射孔１７ａを有する局所真空チャンバー９と、ワークに照射されるビームの焦点を調整するために出射孔１７ａの下方に配置される被照射部材３５を有する焦点調整手段７とを備えている。このビーム加工装置１は、ビームを用いて真空チャンバー４および局所真空チャンバー９の外部の大気圧中に少なくとも一部が配置されるワークの加工を行う。 （もっと読む）

本発明は、粒子線によって対象物（５）の画像を生成するための方法および装置（１）に関する。この方法または装置（１）では粒子線が対象物（５）上にラスタ走査される。本発明は、粒子線によって対象物（５）の画像を生成するための方法および装置（１）において、良好な画像が常に保証されているように冷陰極電界エミッタ（２）と共に使用可能であるものを提案することを課題としている。この課題は、本発明による方法において、ビームのパラメータが変化した場合に、補正されたパラメータにより対象物（５）のラスタ走査を繰り返すことにより解決される。本発明による装置（１）は、このために対応する手段（４，６，７）を有している。
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【課題】三相遮断素子が故障しているか否かの判別が困難であったという点である。
【解決手段】電子ビームを発生する電子銃と、前記電子銃の加速電圧を検出する加速電圧検出回路と、前記電子銃のエミッション電流を検出するエミッション電流検出回路と、加速電圧検出信号とエミッション電流検出信号に基づいて前記電子銃の放電を判定する判定回路と、を備えたことを特徴とした電子ビーム発生装置。また、加速電圧検出信号が所定の加速電圧設定値より低く、エミッション電流検出信号が所定のエミッション電流設定値より高い場合に、前記電子銃の放電と判定し、遮断回路により前記電子銃に供給される電流を遮断することを特徴とする電子ビーム発生装置。 （もっと読む）