【課題】透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査透過型電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、集束イオン・ビーム（ＦＩＢ）システムなどの集束粒子ビーム・システム用の荷電粒子源を提供すること。
【解決手段】この源は、荷電粒子システムの軸を中心とすることができる小さな領域内にある独立してアドレス指定可能な多数の放出器を使用する。１つのチップから放出させ、または２つ以上のチップから同時に放出させることを可能にするため、これらの放出器は全て、個別に制御することができる。１つの放出器だけが活動化されるモードは高輝度に対応し、複数の放出器が同時に活動化されるモードは、高い角強度およびより低い輝度を提供する。単一の放出器を逐次的に使用することによって源の寿命を延ばすことができる。全ての放出器に対する機械／電気組合せアラインメント手順が記載される。 （もっと読む）

【課題】アパーチャの寿命を長くでき、カラムバルブを閉じた際にも、コンタミの増加を防止し、また、再起動も短時間で行える集束イオンビーム装置を提供することにある。
【解決手段】高圧電源制御器１８１は、カラムバルブ１４の閉動作時に、引出電極１７に印加する引出電圧を下げ、または、制御電極１６に印加する制御電圧を下げて、エミッションを０μＡにする。また、カラムバルブ１４の開動作時に、引出電極１７に印加する引出電圧を元に戻し、または、制御電極１６に印加する制御電圧を元の電圧に戻す。 （もっと読む）

【課題】イオン源内の損傷を抑えつつビーム照射電極の被膜を除去できるビーム照射電極の被膜除去装置、これを備えたイオン源、及びビーム照射電極の被膜除去用部材を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、ビーム照射電極２５の先端と対向する位置で当該ビーム照射電極２５との間に電圧が加えられることによって、ビーム照射電極２５の先端部に供給されたイオン原料ガス又は液体金属を強電界により電界電離してイオン化しこのイオン化されたイオン原料ガス又は液体金属をイオンビームとして引き出し、このイオンビームと衝突して二次電子を放出する二次電子放出部５１が移動部材１５０に設けられ、この二次電子放出部５１は、ビーム照射電極２５の先端と対向して二次電子の放出が可能な放出位置Ｐ２にあるときにイオンビームの進行を遮る形状を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体金属イオン源のエミッションを安定して維持することができる集束イオンビーム装置の制御装置を提供する。
【解決手段】ＬＭＩＳ３１から荷電粒子線２を引き出す引出電極３２と、ＬＭＩＳ３１と引出電極３２の間に引出電圧Ｖｅｘｔを印加する引出電源２７の間に制限抵抗２８を設け、制限抵抗２８の抵抗値Ｒｏと引出電源２７の出力電圧ＶｅｘｔとＬＭＩＳ３１から引き出された荷電粒子線２のエミッション電流Ｉｅとを用いて、ＬＭＩＳの状態の評価値としての状態判別電圧値Ｖｏｘ＝Ｖｅｘｔ−Ｉｅ×Ｒｏを算出し、状態判別電圧値が予め定めた状態判別電圧範囲外の場合は、ＬＭＩＳの状態を回復するためにフラッシングを行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、高加速から低加速に亘って従来の集束イオンビーム装置に比べはるかに大きいビーム電流が得、かつ、小さい収差で集束イオンビームを形成することに関する。
【解決手段】本発明は、液体金属イオン源と、液体金属イオン源からイオンビームを引出す引出電極と、イオンビームを加速する加速（アース）電極と、イオンビームを収束する静電レンズと、を備え、液体金属イオン源の加速電圧が液体金属イオン源のエミッション閾値電圧より低い場合は、引出電極の電圧を加速（アース）電極より低い電位とする集束イオンビーム装置において、引出電極に印加される電圧の極性に連動して静電レンズに印加する電圧の極性を切り換えることに関する。本発明によれば、高加速電圧では静電レンズの耐電圧から減速モード集束法で行い、低加速電圧では加速モード集束法を同じ焦点距離の静電レンズで実施できる。 （もっと読む）

【目的】 MEMSや半導体デバイス半導体素子の構造解析や不良解析において、より高速、かつ高精度の加工と高分解能の像観察を実現する。
【構成】 イオン源１のエミッタ先端からイオン源に最も近い集束レンズ２を構成している接地電極までの距離が５〜１４ｍｍの範囲にある２段レンズ光学系をFIB装置に搭載する。 （もっと読む）

本発明は、液体金属イオン源を制御する為のシステム及び方法を提供し、液体金属イオン源は、先端、第１電極、第２電極を備え、上記方法は、（ｉ）第１電圧レベルの範囲内で第１電極を維持し、第２電圧レベルの範囲内で第２電極を維持し、液体金属イオン源のアクティブモード動作中、液体金属イオン源の先端に形成される金属イオンを抽出するステップ、（ｉｉ）第３電圧レベルの範囲内で第１電極を維持し、第４電圧レベルの範囲内で第２電極を維持し、液体金属イオン源のアイドルモード動作中、先端からの金属イオンの抽出をかなり減少させるステップを含む。第３電圧レベルの範囲と、代替え的あるいは追加的に、第４電圧レベルの範囲は、ゼロ電圧レベルを含まない。第１電圧レベルの範囲は、第３電圧レベルの範囲とは異なる。
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