【課題】従来のガスイオン化室では、グロー放電を避けるためにはガス圧を下げるしかなく、ガス導入圧を高めることでイオン電流を増やすことができないという課題があった。本発明は、ガス導入圧を高めることでイオン電流を増やすとともに、イオン化ガスによるビーム散乱を防ぐことを目的とする。
【解決手段】ＧＮＤ電位の構造体からガスを供給することで、ガス圧力のより高いイオン化ガスの導入口近傍に高電圧が印加されないようにする。また、加速・集束レンズを構成するレンズ電極のレンズ開口部から差動排気することでイオンビームが通過する領域に存在するイオン化ガスを優先的に減らす。 （もっと読む）

【課題】 本願の目的は、ゲッタポンプを用いて荷電粒子源周辺を排気する構成において、荷電粒子源駆動中の排気性能の低下を抑制する。
【解決手段】 荷電粒子線の成形を行うアパーチャであって、前記アパーチャは表面に非蒸発型ゲッタポンプを有し、前記非蒸発型ゲッタポンプが前記荷電粒子線の照射を受ける位置に設置される。 （もっと読む）

【課題】磁場界浸型Cold-FE電子銃において、長時間の観察においても電子銃や電子光学系の再調整の必要が無く、効率のよい観察を可能とする。
【解決手段】永久磁石を備えた磁路を持ち収束作用を有する磁石レンズ１２０と電子源１０１を備える電子銃１の周辺または内部にゲッターポンプ１６aを備えることで電源を必要とする真空ポンプの設置を不要とし、電子銃１内部の真空度を高く維持する事により、電子源１０１を清浄化しプローブ電流の回復機能を持たせ、電子光学系の再調整を不要とする。 （もっと読む）

【課題】Ｗ（３１０）面からの放出電流の減衰の仕方の特徴を用いて、電界放出型電子源をより安定して使う方法の開示を目的とする。
【課題手段】本発明では、タングステンの＜３１０＞単結晶からなる電界放出電子源と、当該電子源が配置される真空室と、前記真空室を排気する排気系と、前記電子源と接続され、電流を流して前記電子源を加熱するフィラメントと、当該フィラメントに電流を流す電源と、当該電子源から放出される総電流量を測定する電流計と、を備える荷電粒子線装置であって、前記総電流量を定期的に測定し、当該総電流量が、最初の電子線放出直後の前記電子源からの総電流量、または前記フィラメントに電流を流した直後の前記電子線からの総電流量に対して所定の比率以下になったときに、前記電源が前記フィラメントに電流を流すように制御する制御部を備えることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを放出中であっても高真空を維持可能な小型荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の電子光学系の差動排気の上流に非蒸発ゲッター
ポンプを配し，下流に必要最小限のイオンポンプ配して，両者を併用することにより達成
される。さらに，取り外し可能なコイルを電子銃部に実装することにより，別の課題を解
決する。
【効果】カラム内の真空度を１０^−８Ｐａ台の高真空で維持できる小型荷電粒子線装置，例えば，小型の走査型電子顕微鏡，複数のカラムを有する荷電粒子ビーム装置を得ることができる。さらに，半導体の電気特性を直接計測するプローバ装置の探針の位置をモニタする小型ＳＥＭカラムを容易に内蔵できる。その他にも，半導体素子検査用のミラープロジェクション方式の電子線検査装置の電子線照射カラムの小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
非蒸発ゲッターポンプを用いて電子ビーム放出した状態でも電子源近傍の真空度を１０^−８から１０^−９Ｐａという超高真空に保ち，かつ脱落異物の影響を受けない荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】
荷電粒子源２（電子源、イオン源等）を配する真空容器と、直接電子ビームと向かいあわない位置に非蒸発ゲッターポンプ６を備え，非蒸発ゲッターポンプ６から脱落した異物が電子光学系に向かわないように非蒸発ゲッターポンプ６を水平方向上向きとして電極４の溝４’内の底に落とし込む構造を有する。あるいは遮蔽手段で覆う構造を備える、もしくは，非蒸発ゲッターポンプ面の直上に電子線を見ない位置に設置し，非蒸発ゲッターポンプ下部に脱落異物を捕獲可能な凹部構造を有する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】
ガス電界電離イオン源において，真空粗引き時のコンダクタンス増大化とイオンの大電流化の観点からの引き出し電極穴の小径化とを両立する。
【解決手段】
電界電離イオン源１において，ガス分子イオン化室１５を真空排気するコンダクタンスを可変とする機構を備える。すなわち、ガス分子イオン化室１５からイオンビームを引き出す時と，引き出さない時で，ガス分子イオン化室１５を真空排気するコンダクタンスを可変とする。このコンダクタンスを可変とする機構を構成する部材の一部であるふた３２を、バイメタル合金で形成することにより、ガス分子イオン化室１５の温度に対してコンダクタンスが可変となり、比較低温ではコンダクタンスが比較小となり，比較高温ではコンダクタンスが比較大となる。 （もっと読む）

【課題】微小化構造を有する物体を検査及び加工するための電子顕微鏡、微小化構造を有する物体の製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、反応ガスを供給すると同時に、加工すべき箇所に電子ビームを当てて、材料を堆積するか、あるいは、材料を切除することにより、物体を加工する工程と、物体の表面を電子ビームによって走査し、生成された後方散乱電子及び二次電子をエネルギー選択器７に導入し、二次電子をエネルギー選択器７によって反射させ、エネルギー選択器７を通過する後方散乱電子を検出し、検出された後方散乱電子に応じて走査領域の電子顕微鏡像を形成して、物体を検査する工程と、形成された電子顕微鏡像を調べて、材料のさらなる堆積又は切除を実施すべきか否かを決定する工程とを含む。並びに、この方法を実施するように構成された電子顕微鏡及び加工システム。 （もっと読む）

【課題】電子光学系の各部品及び差動排気用オリフィスの保守点検が容易に行え、またパイプの芯出しの容易な差動排気走査形電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】差動排気走査形電子顕微鏡は、電子線を発生する電子源を配置する電子銃室１と、試料を配置する試料室２とを、鏡筒部７で連絡し、この鏡筒部７には、内部を電子線が通過するインナーパイプ１４を設けると共に、少なくとも前記電子銃室１からの電子線の収束手段であるコンデンサレンズ８、１３と、試料室２内の試料に収束させる対物レンズ９とを備えている。そして、インナーパイプ１４は、電子銃室１側から試料室２上部までの一体の長さに形成すると共に、試料室２側に位置する先端部に差動排気用オリフィス兼用対物絞りユニット１６を取り付けている。インナーパイプ１４の電子銃室１側内には、コンデンサ絞りユニットとなるライナーチューブ１５を装着する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズである静電レンズに微量な塵が付着してしまうことを防止し、静電レンズに高電圧を印加することが可能な荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１は、チャンバー内排気手段４によって内部２ａを排気可能なチャンバー２と、チャンバー２の内部２ａに配置された試料Ｓに対して荷電粒子ビームＢ１を照射する鏡筒３とを備えている。鏡筒３は、荷電粒子ビームＢ１が放出される照射口６が形成された筒体５と、筒体５の内部５ｂの基端５ｃ側に収容され、荷電粒子ビームＢ１を放出する荷電粒子供給部７と、筒体５の内部５ｂの先端５ａ側に収容され、電界を発生させ、荷電粒子供給部７から放出された荷電粒子ビームＢ１を集束させる静電レンズを有した対物レンズ１１とを備えている。鏡筒３の筒体５には、筒体５の内部５ｂにガスＧを供給可能な給気手段１２が、対物レンズ１１の基端側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】
非蒸発ゲッターポンプを用いた荷電粒子線装置において、電子線を放射中であっても高真空を維持すると共に、異物発生をしない小型荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子源１と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線を試料上に集束し走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系を排気するための真空排気手段とを備えた荷電粒子線装置において、前記真空排気手段は、二つ以上の真空室を開口を介して結合した差動排気構造とし、真空度の高い上流側の真空室に非蒸発ゲッター合金からなるポンプ３を配して、前記非蒸発ゲッター合金のガス吸着表面が他の部材と非接触に保持するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】 プローブ電流の大小に拘わらず、差動排気絞りの汚染を抑止できる電子線装置を提供する。
【解決手段】 電子線装置１０１は、内部空間が超高真空に保たれ一次電子ビーム３を発生する電子銃部３１と、内部空間が電子銃部３１よりも低い真空度に保たれ、電子銃部３１で発生した一次電子ビーム３を試料１２上に集束させた電子プローブにより試料１２の走査を行う鏡体部３２と、電子銃部３１と鏡体部３２との内部空間を連通させるとともに、一次電子ビーム３を通過させる差動排気絞り３３と、電子線装置１０１内の各部を制御するための制御部４０とを具備している。さらに、第二陽極４と第一収束レンズ６の間には、相異なる複数の開口径の絞りを持った絞り機構３４が配置され、この絞りによって、第一収束レンズ６方向へ進行する一次電子ビーム３のプローブ電流Ｉ_ｐの最大値が決定される。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡、電子描画装置等の電子銃において、小型で高真空維持が達成可能
な電子銃を提供する。
【解決手段】 非蒸発ゲッターポンプ、加熱ヒータ、フィラメント、電子源位置決め機構
により構成される電子銃において、粗引き用開口とその自動開閉バルブと、非蒸発ゲッタ
ーポンプ用の不活性ガス／化合物ガスの電離分解手段を設ける。
【効果】 高さ、幅とも１５ｃｍ程度の小型電子銃を用いて電子銃から電子を放出した状
態で、イオンポンプを必要とせず、１０^−１０Ｔｏｒｒの高真空維持を達成できる。 （もっと読む）

本発明は、荷電粒子ビームコラムのチャンバに荷電粒子ビーム（１７）を提供する荷電粒子放出コンポーネント（１００）を提供する。この装置は、荷電粒子放出コンポーネントを収容する銃チャンバと、荷電粒子ビームを放出する放出器（１６）と、少なくとも１つのビーム整形要素（１０９、１８、１０８、４０２）と、放出器直後の残留ガス拡散障壁（１０６、２０６）とを備える。 （もっと読む）