【課題】走査電子顕微鏡にて凹凸を多く含む試料の観察において所望の箇所で精度よく焦点合わせを行うことができる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査電子顕微鏡は、観察倍率以下の倍率で焦点合わせを行い、視野範囲の中で部分的に焦点の合う焦点距離を求め、その前後の焦点距離における像を記憶する。これをとり得る全ての焦点距離に対して行った後で、記憶した画像をもとに、観察範囲の中で焦点距離ごとに焦点の合う領域を求める。この後、焦点の合う位置が複数存在することを表示装置上に観察視野内に焦点の合う候補を囲むような枠や、印を表示させることで示す。使用者が該枠や印を選択するようにすることで、その部位における焦点の合う焦点距離を中心にして再度、焦点合わせを行い、最適な焦点距離を与えるレンズの励磁条件を求め、設定する。 （もっと読む）

【課題】電子線を走査して試料を観察するにあたって、高い分解能を有するとともに、電子線の走査に要する時間を短くできる試料観察装置を提供する。
【解決手段】ステージに載置された試料ＳＭに電子線ＩＢを照射して、試料ＳＭからの電子線を検出することにより試料を観察する電子線検査装置に於いて、１つの電子筒体５０は、試料ＳＭに照射される複数の電子線ＩＢ及び試料ＳＭからの電子線が通る電子線路を形成する複数の電子線照射検出系により構成される。ここで、複数の電子線照射検出系を同時に用いることで、検査の高速化を実現する。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡装置を操作するための使用しやすいユーザ・インタフェースを提供すること。
【解決手段】低倍率基準画像と高倍率画像とを同一スクリーン上で組み合わせて、電子顕微鏡の高倍率画像に慣れていないユーザが、サンプル上のどこで画像が得られているかを容易に判断し、その画像とサンプルの残りとの関係を理解できるようにする走査型電子顕微鏡装置を操作するためのユーザ・インタフェース。タッチ・スクリーンを介してユーザが指示を入力することにより、電子画像の視野を変えてサンプルの異なる画像を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】検査物の急速放電のためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームシステム１００の変調器９００が、インダクタ４００に供給する変調信号を生成するように構成され、インダクタ４００が、この変調信号を受け取って、荷電粒子ビームシステム１００のための供給電圧信号をインダクタンスにより変調する。供給電圧信号の変調により、荷電粒子ビームシステム１００により生成された荷電粒子ビームの焦点距離を変更する。 （もっと読む）

【課題】試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる光電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡において、前記対物レンズに、２以上の電極を備えさせ、２以上の前記電極を、前記光が２つの電極間を通るように設置する。このような構成をした光電子顕微鏡は、試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、走査型電子顕微鏡に関し、複数の近接した電子ビームを使って同時並列に画像を得るが、その際に、それぞれの電子ビーム走査によって発生する２次電子を分離して検出することを目的とする。
【構成】試料を搭載して平面内で試料を移動可能な移動機構と、複数の１次電子ビームをそれぞれ細く絞って移動機構に搭載した試料上にそれぞれ独立に照射する複数の微小対物レンズと、複数の微小対物レンズに対応付けて設け、それぞれ１次電子ビームを移動機構に搭載した試料上で走査するように偏向するそれぞれの偏向器と、複数の微小対物レンズに対応付けて設け、それぞれの試料から放出された２次電子が微小対物レンズの磁場で軸上に収束されて１次電子ビームの試料上への照射方向と逆の軸上の方向に設けた、それぞれ独立に２次電子を検出・増倍するそれぞれの検出器とを備える。 （もっと読む）

【課題】傾斜した試料の表面をチルトビームおよび左右視差角像で、焦点を連続的に補正しながら観察する際に、発生する視野ずれを抑制することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 試料１０表面に一次荷電粒子線の焦点を結ばせる対物レンズ７と一次荷電粒子線をチルトさせる傾斜角制御用偏向器５３の中間に、視野補正用アライナー５４を設置し、傾斜角制御用偏向器５３のチルト角、レンズ条件、対物レンズ７と試料１０までの距離からもとまる補正量にて、一次荷電粒子線のチルト時に発生する視野ずれを、対物レンズ７の焦点補正に連動して補正する。 （もっと読む）

【課題】モード変更やこれに伴うパラメータ調整といった面倒な作業を行うことなく、電子顕微鏡の倍率変更をシームレスに行えるようにする。
【解決手段】第一倍率制御モードで設定されるパラメータ値セットと、第二倍率制御モードで設定されるパラメータ値セットとを記憶するためのパラメータ値セット記憶手段１８９と、電子線撮像手段１１で撮像される電子顕微鏡画像の電子顕微鏡倍率を調整するための電子顕微鏡倍率調整手段と、倍率制御モード切替手段による倍率制御モードの切り替えに伴って、パラメータ値セット記憶手段１８９に記憶されたパラメータ値セットを切り替えて設定するためのパラメータ値セット設定手段１８８とを備え、倍率制御モード切替手段が、電子顕微鏡倍率調整手段で調整される表示倍率が所定の倍率制御モード切替倍率に達したとき、第一倍率制御モードと第二倍率制御モードとを切り替える。 （もっと読む）

【課題】高倍率化しても有効視野が小さくなることがない走査荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明の走査荷電粒子線装置によると、試料の観察時に、倍率の高低に応じて試料の表面の凹凸の全てが焦点深度領域内となるように試料が配置される。 （もっと読む）

【課題】精度の良い試料表面検査を行える方法及び装置を提供する。
【解決手段】電子線式試料表面検査装置を用いて試料表面を検査する方法であって、前記試料表面検査装置の電子銃から発生した電子ビームを前記試料表面に照射し、前記試料表面から発生した二次電子を検出器の電子検出面に向けて結像させ前記試料表面を検査する方法において、前記検出器の検出面における前記二次電子の結像条件を、前記試料表面の電位が前記試料表面に照射された電子ビームの量に応じて変化するように制御する。 （もっと読む）

【課題】
複数本の二次電子ビーム調整を、効率良く実施することのできる半導体検査装置および欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
被検査対象物に複数の照射光を照射する照射光学系と、前記照射光学系により照射され、該被検査対象物から放出される複数の光を検出する検出光学系と、前記検出光学系で検出した複数の光に基づく信号の強度を比較する比較部と、前記比較部で比較された結果に基づき該複数の光の位置と前記検出光学系における該複数の光の検出位置とのずれ量を算出する補正量算出部と、該複数の光に基づく信号を処理して該被検査対象物の検査を行う処理部とを備える演算処理部と、を備え、前記検出光学系は、さらに、前記補正量算出部で算出されたずれ量に基づき前記照射光学系を調整する制御部を有することを特徴とする検査装置である。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置において、オートフォーカスを実行する際の焦点測度のステップ量を、焦点測度分布の近似曲線の広がりに対して最適な値に適正化する。
【解決手段】第一の倍率で撮像した画像または設計データから求まるレイアウト画像から得られる画像特徴量を用いて、オートフォーカス実行時の焦点測度のステップ量を補正する。得られたステップ量に基づきオートフォーカスを実行し、観察，計測あるいは検査対象試料を撮像する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、荷電粒子ビームに対する浮遊磁場の直接的な影響を抑制することが可能な荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子源と対物レンズの間に、荷電粒子ビームの集束位置を調整する集束レンズを備えた荷電粒子線装置において、当該集束レンズによる荷電粒子ビームの集束位置を変化させると共に、当該集束位置を変化させる過程で検出される荷電粒子に基づいて、異なる複数の集束位置における検出信号を取得し、像揺れ量或いは像ずれ量の評価値が相対的に小さい集束位置の集束レンズ条件を選択する荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】リフォーカス用の静電レンズの電極の配置誤差に起因する収差及び照射位置ずれを補正可能な電子ビーム露光装置を提供すること。
【解決手段】電子ビーム露光装置は、電子ビームを放射する電子銃と、電子ビームを試料面上へ結像させる投影レンズと、投影レンズの上方に設置され、電子ビームの焦点を補正する静電多重極電極からなるリフォーカスレンズと、リフォーカスレンズの各電極に対して光軸の回りに回転させて配置した静電多重極電極からなる寄生収差補正用レンズと、電子ビームの断面の面積に応じた電圧を、リフォーカスレンズを構成する電極及び寄生収差補正用レンズを構成する静電多重極電極に印加する制御手段とを備える。寄生収差補正用レンズを構成する多重極電極は、リフォーカスレンズを構成する電極に対し、隣接する２つの当該電極間の角度の１／２だけ光軸の周りに回転させた位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】静電電極を用いたリフォーカスレンズによるリフォーカス時間を短縮するとともにリフォーカス精度を向上させることのできる電子ビーム露光装置を提供すること。
【解決手段】電子ビーム露光装置は、電子銃と、電子ビームを整形するための開口を有する整形手段と、電子ビームの焦点を補正する静電多重極電極からなるリフォーカスレンズと、リフォーカスレンズの各電極に印加する補正用の電圧を生成するフォーカス補正電圧発生回路と、補正用の電圧に加算するオフセット電圧を生成するオフセット電圧発生回路と、フォーカス補正電圧発生回路及びオフセット電圧発生回路をそれぞれ独立に制御する制御手段と、を備える。制御手段は、オフセット電圧発生回路を、電子ビーム露光装置の筐体を基準として動作させ、フォーカス補正電圧発生回路を、オフセット電圧発生回路により出力されるオフセット電圧を基準として動作させるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明は共焦点像取得装置に関し、構成を簡単にした共焦点ＳＴＥＭ像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームを試料１０に照射し試料から放出される信号を検出する検出器６'と、該検出器で検出した信号を記憶するメモリ２２と、前記検出器を制御すると共にメモリに記憶した画像を読み出して所定の演算処理を行なう演算制御手段２１と、を具備し、前記演算制御手段２１は、メモリ２２に記憶した画像からその場所に対応する回折像を引き出し、ピクセル毎に回折像中心位置を選択して中心位置の補正を行ない、中心位置の補正を行なったピクセル毎の回折画像の中心位置を合わせた回折情報を有する画像セットを作成し、作成した画像セットのピクセル毎に中心位置の更に中心部のみを選択して回折画像からＳＴＥＭ画像を再生して共焦点ＳＴＥＭ像を得る、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】相対位置が固定された二段のコンデンサレンズから収束レンズが構成される場合に、各コンデンサレンズと対物レンズのそれぞれの中心に電子ビームの光軸が通るように軸合わせを行うことを可能とする。
【解決手段】それぞれ焦点調整が可能な二段の収束レンズ３１、３２と電子銃１との間に入口側ビーム偏向部２を、収束レンズ３１、３２と対物アパーチャ板５との間に出口側ビーム偏向部４を配置する。各ビーム偏向部２、４はそれぞれ軸Ｃ方向に配置された二段の偏向器からなる。収束レンズ３１、３２のレンズ中心が軸Ｃ上にない場合でも、入口側ビーム偏向部２でビームを二段階に偏向させることで両収束レンズ３１、３２のレンズ中心に光軸を合わせることができ、さらに、出口側ビーム偏向部４でビームを二段階に偏向させることで対物レンズ７の中心に光軸を合わせることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、焦点深度の深い観察条件においても、高精度なフォーカス調整を実現する。
【解決手段】一次電子線の不要な領域を除去する絞り板に複数の穴径の絞り穴を配置し、絞り穴を変更することで絞り穴を通過する一次電子線の開き角を制御し、集束レンズ、対物レンズのレンズ条件を変化させずに、高分解能と焦点深度の浅い条件に設定することで、フォーカスの合わせ精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】コストアップと装置の大型化を防ぎなから、試料の表面の立体形状を容易に得ることができる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】対物レンズにより電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第１の画像を生成して表示装置の画面へ表示させ、対物レンズの励磁を変えた後に電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第２の画像を生成して表示装置の画面へ表示させ、表示装置の画面に表示させた第２の画像の焦点が合うように制御電極に印加される電圧を調整した後に電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第３の画像を生成し、表示装置の画面に表示させる。 （もっと読む）

【課題】焦点合せを欠陥候補の撮像領域外で行って、撮像画像の帯電やコンタミネーションを防ぐとともに、焦点のずれのない撮像画像を得ることができるレビュー装置及びレビュー方法を得る。
【解決手段】試料を移動させて、欠陥候補の位置を含む撮像領域に電子ビームを位置付け、電子ビームの光軸を平行移動させて、欠陥候補の画像を撮像する領域の外の焦点合せ領域に光軸を位置付け、焦点合せ領域で電子ビームを偏向させるとともに、電子ビームの焦点位置を変えながら、焦点合せ領域から発生した二次信号の強度を取得し、該二次信号の強度に基づいて合焦点位置を求め、その後、焦点合せ領域に位置付けられた電子ビームの光軸を欠陥候補の位置に移動させ、撮像領域に電子ビームを照射して発生する二次信号から画像を形成する。 （もっと読む）