【課題】気体電界イオン源を用いて試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを有する汎用性、長器信頼性に優れたイオン顕微鏡を実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。試料からオージェ電子、二次イオン、二次中性粒子、一次中性粒子、散乱イオン及び光子等の追加の粒子を検出することにより試料についての情報を決定するように構成する。 （もっと読む）

【課題】中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器を提供する。
【解決手段】本発明による中エネルギーイオンビーム散乱を用いた分光分析器は、イオンを発生させるイオン源１０と、イオンを平行ビームとするコリメータ（collimator）２０と、平行ビームを加速する加速器３０と、加速されたイオンビームをパルス化するイオンビームパルス発生器４０と、パルス化されたイオンビームを試片１に集束させる集束対物レンズ５０と、集束されたイオンビームが試片１で散乱されたイオンビームパルスの分光信号を検出する検出器６０と、検出器６０により検出された分光信号を分析処理するデータ分析器７０と、を含んで構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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【課題】 超伝導スペクトロメータ内部に余計な装置を設けることなしに，散乱イオンのサイクロトロン周回数を判別することが可能な平行磁場型ラザフォード散乱装置を提供すること。
【解決手段】 イオンビームが超伝導スペクトロメータ内に入射される前にイオンビームをパルス化し，前記イオンビームをパルス化してから，試料に散乱された散乱イオンが検出器に検出されるまでの時間を測定することにより，前記散乱イオンの飛行時間を測定し，前記飛行時間から前記散乱イオンのサイクロトロン周回数を判別する平行磁場型ラザフォード散乱装置として構成される。 （もっと読む）