【課題】高精度に試料の不純物濃度分布を測定する方法を提供する。
【解決手段】本発明の試料の不純物濃度分布を測定する方法は、走査工程、フィルタ工程、二次電子の強度を測定する強度測定工程、ハイパスフィルタ１７のカットオフエネルギー値Ｅｃを段階的にＮ−１回上昇させる工程、及び、二次電子の強度のエネルギー分布曲線ＲＬ、ＲＨを評価する工程とを備える。カットオフエネルギー値Ｅｃの各段階において、走査工程、フィルタ工程、及び、強度測定工程が行われる。ｍを１以上Ｎ以下の任意の整数、ｐを１以上Ｎ−１以下の任意の整数、ｍ段階目のカットオフエネルギー値ＥｃをＥ_ｍ、カットオフエネルギー値ＥｃがＥ_ｍである際に測定された二次電子の強度をＩ_ｍとしたとき、Ｉ_ｐ＋１−Ｉ_ｐの値を、Ｅ_ｐ以上Ｅ_ｐ＋１以下のエネルギーを有する二次電子の強度とみなす。 （もっと読む）

本発明は、入射面と出射面とを有するトロイダルエネルギアナライザ、好ましくは半球アナライザを有する荷電粒子用結像エネルギフィルタに関する。位置及び角度の解像度レベルがより高く、より大きい受光角で動作可能な結像エネルギフィルタ、又は結像エネルギフィルタを有する分光器を提供するために、本発明によれば、荷電粒子用のミラー素子が設けられ、前記出射面を経て前記トロイダルエネルギアナライザから出射する荷電粒子が前記ミラー素子によって前記トロイダルエネルギアナライザへと反射されることによって、前記荷電粒子が反対の進行方向に前記トロイダルエネルギアナライザを再度通過するように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 収差補正カソード・レンズ顕微鏡機器を提供すること。
【解決手段】 収差補正顕微鏡機器が提供される。機器は、第１の非分散電子回折パターンを受け取るように配置された第１の磁気偏向器を有する。第１の磁気偏向器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に第１のエネルギー分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に配置された静電レンズ、並びに、第１の磁気偏向器と実質的に同一の第２の磁気偏向器を有する。第２の磁気偏向器は、静電レンズからの第１のエネルギー分散電子回折パターンを受け取るように配置される。第２の磁気偏向器はまた、第２の磁気偏向器の第１の出射面に第２の非分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器は、１つ又は複数の収差を補正するように構成された電子鏡も有する。電子鏡は、第２の磁気偏向器の第２の出射面に第２のエネルギー分散電子回折パターンを投射するために第２の非分散電子回折パターンを第２の磁気偏向器へ反射するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 ウィーンフィルタの持つ収差補正の特性を十分に生かし、アナライザで損失する電子を低減して感度の低下を抑えることができるウィーンフィルタ型アナライザの提供を目的とする。
【解決手段】 ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ１１は、電極１３とヨークレスコイル１４による磁極を１２極にしている。このため、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ１１は、２次収差、３次の開口収差までを消去できるような電場Ｅと磁場Ｂを発生することができるようになった。ヨークレスコイル１４は、磁極をコイルのみに置き換えたものであり、コイル受け台１５上に配設されている。磁極をヨークレスコイルに置き換えたことにより、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ１１は、アナライザの内径を大きくすることができ、感度を向上させることができた。また、磁性体を用いていないため、磁性体のヒステリシスを考慮しなくて良く、再現性の良い磁場を得ることができた。 （もっと読む）

荷電粒子（例えば光電子）スペクトロメータは、解析される試料の組成に関するエネルギースペクトラムを生成する第１のモード、および解析される試料の表面の荷電粒子画像を生成する第２のモードで動作可能である。検出器が、双方の動作モードで生成される荷電粒子を検出するために用いられる。スペクトロメータの動作方法は、第１と第２のどちらのモードが用いられるか選択し、検出器がそれに従って動作される工程を含む。
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