【課題】微細な測定物の大きさの測定に適用することができて、作業者による測定値のばらつきが発生せず、測定精度が高い測長装置及び測長方法を提供する。
【解決手段】試料搭載部１６の上に結晶格子間隔が既知の単結晶試料２０を搭載し、ＳＴＥＭ検出器１７及び画像解析部１８により結晶格子像を取得する。画像解析部１８は、結晶格子像をフーリエ変換して回折スポット像を取得し、その回折スポット像の回折スポットの位置が理論上の回折スポットの位置と一致するように画像の倍率、縦横比及び歪みを補正する。そして、補正後の回折スポット像を逆フーリエ変換して実空間の画像とするとともに、スケールを逆数に変換して実空間のスケールとする。 （もっと読む）

【課題】試料本来の電場に由来する電場情報を得ることができるようにする。
【解決手段】電子線バイプリズムを備えた電子顕微鏡において、該顕微鏡の電子銃１と試料１１を保持するホルダの間に電子線を遮蔽するマイクロプローブ１５を設ける。該マイクロプローブ１５は上下前後方向に移動可能とする。さらに、参照波に試料１１からの電磁波を遮蔽するシールド壁を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、暗視野信号に基づく画像が、適正な原子番号コントラストを備えているか否かを判断するのに好適な荷電粒子線装置、それに用いられるコンピュータプログラム、及び試料観察方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記目的は、入力された参照情報，明視野像或いは後方散乱電子像と、暗視野像を比較し、その相関値、或いは暗視野像が所定のコントラストを有しているか否かを判定することで実現される。このような構成によれば、暗視野像が適正な原子番号コントラストを備えているか否かを判断する情報を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】生体環境下で電子顕微鏡により生体環境内の生体ユニットを観察可能である電子顕微鏡による生体ユニットの観察法を提供する。
【解決手段】ステップＡ）は、電子顕微鏡９０内の試料腔室９１において生体環境１１を提供し、生体環境１１内に生体ユニット１８と所定の環境条件を整え、環境条件を生体ユニットが基本的な生理機能を維持可能に設定し、生体環境１１の上下方に向かい合う観察窓１２を設け、生体ユニット１８を異なる臨界電荷密度に耐えられる二種以上の物件を有するように設定する。ステップＢ）は、所定区域において、所定の時間で観察窓１２から生体ユニット１８に対し所定の強度の粒子束を照射し、電子顕微鏡９０の結像装置に結像する。所定の電荷密度は粒子束の所定の強度と所定の時間との相乗であり、所定の電荷密度は生体ユニット１８の照射された区域中の観察対象物の臨界電荷密度より小さいか或いはそれに等しい。 （もっと読む）

【課題】実像と電子回折像を測定する際の微小径かつ平行な電子線を、明るくかつ均一な強度分布にする位相回復方式の電子顕微鏡による観察技術を提供する。
【解決手段】位相回復方式の電子顕微鏡にあって、前記実像を観察する際には、収束電子線を試料３の注目領域２に走査しながら照射し、撮像素子１１で検出した透過電子線の強度を前記収束電子線の走査と同期させてモニター１７に表示することによって前記注目領域２を画像化し、前記電子回折像を観察する際には、前記注目領域２の形状と面積に一致する孔を有する制限視野絞り１５を前記試料３の直上に挿入し、静止した平行電子線を前記制限視野絞り１５を通して前記試料３の注目領域２に照射し、前記試料３を透過した電子線が作る電子回折像を前記撮像素子１１により検出する。 （もっと読む）

【課題】
ユーザの熟練を必要とせずに高コントラストな暗視野ＳＴＥＭ像を得るのに好適な走査電子顕微鏡に代表される電子線装置を提供する。
【解決手段】
電子線装置に、検出散乱角αd又はこれに対応する数値（ＺコントラストＣz）を入力又は表示するためのＧＵＩ画面４０を設けた。また、最適な検出散乱角αdの条件を容易に見つけるためのアシスト機能として、検出散乱角αdの異なる複数のプリスキャン画像５２-ｎを取得して表示するためのプリスキャンウィンドウ画面５２を設け、複数のプリスキャン画像をその画像を取得したときの暗視野検出器１４の位置ｄ（検出散乱角αdの条件）と対応させて登録する手段を設けた。そして、プリスキャンウィンドウ画面５２のプリスキャン画面５２-ｎに表示されたプリスキャン画像の選択によって、対応する検出散乱角αdの観察条件を設定するようにした。 （もっと読む）

【課題】ロンチグラムから収差係数を決定し各収差を補正する信号を装置にフィードバックすることにより、指定した分解能を有する走査透過像を得ることができることを特徴とした走査透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子線源１、収束レンズ３、スキャンコイル７、暗視野像検出器１３、Ａ／Ｄコンバータ１８、ＣＰＵ２１などから構成される走査透過電子顕微鏡装置において、対物前磁場レンズ８前段に収差補正器５を搭載し、カメラ１５により取得したロンチグラムと任意の構造に対する計算像とのフィッティングにより決定される収差係数から各レンズ、収差補正器の駆動電流をＣＰＵ２１により算出、フィードバックする。 （もっと読む）

【課題】 従来の検出手法では、干渉縞の検出において、
（１）設定及び調節が複雑で困難。
（２）位相像と振幅像を同時に表示できない。
（３）電子線の検出効率が低い。
という問題があった。
【解決手段】走査干渉電子顕微鏡において、電子線干渉縞の検出効率を上げ、ユーザが簡単に最良の条件で、試料の微小領域の電気的及び磁気的情報を高Ｓ／Ｎ比の走査像として観察できる走査干渉電子顕微鏡を実現する。 （もっと読む）

【課題】 電子線回折像の観察領域を重複及び欠落なしに、見つけ出すことができる透過型電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 電子線回折モードにて、視野絞りの孔径を視野絞りの孔における像の拡大率によって除算した値を単位として、試料ステージを移動させる。電子線回折象に、回折スポット像が出現したら、周期構造であると判定し、目的とする視野を見つけ出したことになる。周期構造であると判定したら、電子線回折像、及び、制限視野像を、試料ステージの位置を含む観察条件、Ｘ線スペクトル等と共に１つのデータ群として保存する。 （もっと読む）

【課題】 ヤングフリンジ法用いて透過形電子顕微鏡の情報限界を測定する際に、信頼性の高い二重露光像を簡易に撮影できる装置を提供する。
【解決手段】
ヤングフリンジ法撮影に必要な条件を、記憶装置26に予め記憶させておき、ヤングフリンジ法撮影が選択されると、電子顕微鏡像をずらす量と露光時間と偏向を繰り返す回数等の撮影に必要な条件を記憶装置26から読出し、装置を設定する。撮影条件に基づいて偏向コイル9を制御し、ヤングフリンジ法撮影を自動的に行う。 （もっと読む）

【課題】
散乱電子線検出器の取り込み角度範囲の設定と独立にエネルギー分光器の取りこみ角度範囲が設定でき、散乱電子線検出器の取り込み角度範囲の変化に対してエネルギー分光器の条件を変更する必要がない走査透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
エネルギー分光器１８を備えた透過走査電子顕微鏡にあって、試料３２によって散乱された電子線を検出する散乱電子線検出器の上方に散乱電子線の取り込み角度を設定するための第１の回転対称型レンズ６を設置し、散乱電子線検出器とエネルギー分光器１８との間に第２の回転対称型レンズ１３を設置し、第１の回転対称型レンズ６により散乱電子線の取り込み角度を設定し、第２の回転対称型レンズ１３によりエネルギー分光器１８の物点を設定することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、明視野コントラストと暗視野コントラストとに相当する信号が同時に透過中に検出される走査型電子顕微鏡の試料チャンバ用の検出器システムに関する。検出器システム（１４）は、平面（２５）内に４台の検出器（１５〜１８）を有し、それらの間に電子の自由な通過用の穴（１９）がある。この穴（１９）の後方に第２の平面（２６）内に別の検出器（２７）が配設されている。この検出器は、好ましくはダイオードである。より試料に近い第１の平面（２５）内の検出器（１５、１６、１７、１８）は、暗視野コントラストに相当する信号の発生に使用される。別の試料からより遠い検出器（２７）は、明視野コントラストに相当する信号を検出する。第１の平面（２５）内の４個のダイオード（１５、１６、１７、１８）のずらされた配列により、ダイオード間と穴（１９）周りの、電子に対して不感性のデッドスペースがより大きくなることを回避できる。
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