【課題】金属材料の保護性能を向上させた金属保護膜の形成方法及び金属保護膜の成膜システムを提供することにある。
【解決手段】制御装置１３が、各チャンバＦ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４を駆動制御し、基板１４を磁性層形成チャンバＦ２に搬入して基板１４に磁性層１５を形成する。また、制御装置１３が、基板１４をタンタル層形成チャンバＦ３に搬送し、斜め入射スパッタ法を用いて磁性層１５の全体にわたりタンタル層１６を被覆する。また、制御装置１３が、基板１４を酸化チャンバＦ４に搬送し、タンタル層１６の表面全体を酸素ラジカルに晒してタンタル層１６を酸化する。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンで形成され、該凹凸パターンの凸部として記録要素が形成された記録層を有し、磁気ヘッドの良好な浮上特性が得られる信頼性が高い磁気記録媒体、これを備える磁気記録再生装置及びこのような磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体１２は、基板の上に所定の凹凸パターンで形成され、該凹凸パターンの凸部として記録要素２４Ａが形成された記録層２４と、記録要素２４Ａの間の凹部２６に充填された充填要素２８と、充填要素２８よりも電気抵抗率が低く、充填要素２８の上に形成された導電膜３０と、記録要素２４Ａ及び充填要素２８を被覆し、且つ、導電膜３０の上面に接して形成された保護層３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 磁気ヘッドのみでも十分に記録可能となり、且つ、熱安定性と垂直磁気特性とに優れたＦｅＰｔ規則合金膜を記録層として備える磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 Ｆｅ及びＯを主成分とする下地層と、上記下地層上に形成されたＦｅＰｔ合金を主体とする記録層と、上記記録層上に形成されたＳｉＯ_２を主成分とする保磁力制御層とを備え、上記記録層の結晶が膜面に対して垂直配向していることを特徴とする磁気記録媒体を提供する。 （もっと読む）

【課題】 高密度記録可能で、耐久性に優れた磁気記録媒体を提供することを可能にする。
【解決手段】 非磁性基板２上に形成された軟磁性層４上に分離して設けられた凸形状の強磁性体からなる複数の記録トラック６と、記録トラックの上面および側面ならびに記録トラック間に設けられた凹部８の底面を覆う保護膜１０と、記録トラック間の凹部を充填するように凹部の保護膜上に設けられ保護膜の材料と組成が異なる材料からなる充填部１２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 優れたヘッドの浮上安定性を与えることのできる磁気記録媒体およびヘッドスライダならびに優れたヘッドの浮上安定性を有する磁気記録装置ならびに、このような優れたヘッドの浮上安定性を与えることのできる磁気記録媒体およびヘッドスライダを短時間で製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気記録媒体またはヘッドスライダまたはその両方について、保護層を下層とその上にある上層との二層で構成し、下層のイオン化ポテンシャルが上層よりも小さく、上層の表面自由エネルギーが４５ｍＮ／ｍ以下であるようにする。 （もっと読む）

【課題】その電磁変換特性を損なうことなく容易に磁気記録層をパターニングした磁気記録媒体を得る。
【解決手段】磁気記録層とフォトレジストとの間にシリコン系保護膜を形成して、ドライエッチング、及び酸素プラズマ処理に供する。 （もっと読む）