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Fターム[5E049GC00]の内容

磁性薄膜 (4,742) | スパッタリング法 (344)

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【課題】パターンマスクの除去効率を損なうことなく処理時間の短縮を図ることができる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る磁気記録媒体の製造方法は、磁性層12を磁気分離するためのイオン注入工程に際して基板11をレジストパターン13の除去反応温度域にまで昇温させ、イオン注入後はその基板温度を利用してレジストパターン13のアッシング処理を実施する。これにより、レジストパターンの除去効率を損なうことなく、レジストパターン除去のための処理時間を短縮することができる。 (もっと読む)


【課題】TbFeCo合金を磁化固定層として優れた磁気特性を有する垂直磁気異方性の磁気抵抗素子を提供する。
【解決手段】磁気抵抗素子1は、磁化固定層11と中間層12と磁化自由層13とを積層して備えるスピン注入磁化反転素子であり、磁化固定層11がTbx(Fe,Co)1-x(0.20≦x≦0.25)の組成を有するTbFeCo合金からなることを特徴とする。磁化固定層11をこのような組成とすることで、飽和磁化を低く抑えて磁化自由層13への磁界の漏れを減少させ、磁化自由層13の正の磁化反転電流I1と負の磁化反転電流I0をほぼ同じ大きさとすることができる。 (もっと読む)


【課題】低保磁力、低磁歪および低RA値を確保しつつ、高いTMR比を得る。
【解決手段】フリー層18は、トンネルバリア層17の側から第1の強磁性層、挿入層および第2の強磁性層が順に積層された複合構造を有する。第1の強磁性層は、CoFe合金、または、そのCoFe合金にNiなどを添加してなる合金を含み、かつ、正の磁歪定数を有する。挿入層は、Fe,CoおよびNiから選択される少なくとも一種の磁性元素と、Ta,Ti,W,Zr,Hf,Nb,Mo,V,MgおよびCrから選択される少なくとも一種の非磁性元素とを含む。第2の強磁性層は、CoFeやNiFeなどからなり、負の磁歪定数を有する。 (もっと読む)


【課題】 特に、高抵抗軟磁性膜(A−M−O)を用いた磁性シートにおいて、従来に比べて適切に軟磁気特性の向上を図ることが可能な磁性シートを提供することを目的としている。
【解決手段】 樹脂シート5上に、Cr膜9と、A−M−O(ただし元素AはFeまたはCoまたはその混合物を表し、元素Mは、Hf、Ti、Zr、V、Nb、Ta、Mo、W、Al、Mg、Zn、Ca、Ce、Y、Siのうち少なくともいずれか一種を表す)から成る磁性膜6とが順に積層されている。磁性膜6は、元素MとOの化合物を含むアモルファス相と、前記アモルファス相中に点在するFeまたはCoから選ばれる一種または二種を主体とした平均結晶粒径30nm以下の微結晶相との膜構造で形成されている。 (もっと読む)


【課題】ノイズ特性、熱揺らぎ耐性に優れた磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】基板1上に、第1下地膜2、第1垂直磁性膜3、第2下地膜4、非磁性中間膜5、第2垂直磁性膜6、保護膜7が形成され、第1垂直磁性膜3の磁気異方性エネルギーが、第2垂直磁性膜6の磁気異方性エネルギーよりも高く設定されている。 (もっと読む)


【課題】垂直磁気記録層の磁性粒子の配向性を改善し、かつ磁性粒子を微細化し、記録再生特性の良好な垂直磁気記録媒体を得る。
【解決手段】非磁性基板上に、軟磁性層、微細結晶構造を有し、PdまたはPd合金からなる第一の非磁性下地層、RuまたはRu合金からなる第二の非磁性下地層、及び垂直磁気記録層を積層する。また、前記第一の非磁性下地層が、第一の非磁性下地層が、Pd−Si層であることを特徴とする。前記第一の非磁性下地層は、ガス圧0.5Pa以下の雰囲気で蒸着される。 (もっと読む)


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