説明

Fターム[5F031CA09]の内容

ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理の対象物 (12,583) | 可撓性基板,フィルム (101)

Fターム[5F031CA09]に分類される特許

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【課題】 加工中又は搬送中には十分な保持力で部品を保持固定でき、完成後には部品を容易に取り外すことのできて、部品を破損させることのない、部品の加工及び搬送に使用する部品保持具を提供する。
【解決手段】 上面が平坦に形成されたベース部材2と、該ベース部2の上面に少なくとも周縁部5で接着固定された上面に粘着部3が形成された粘着弾性シート部材4とを有し、ベース部材2又は粘着弾性シート部材4には圧縮気体を注入・排出する通気孔6が設けられ、該通気孔6から圧縮気体を注入することにより粘着弾性シート部材4が膨張して上方に隆起することで、粘着弾性シート部材4に取り付けられた部品Pと粘着弾性シート部材4との密着部の一部が剥がされるようにする。 (もっと読む)


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