【課題】本発明は、プラスチックディスク、特に成型ウエハを熱処理する方法及び装置を提供するものである。
【解決手段】当該方法は、成型ウエハ(15)における樹脂硬化温度(T_H)以下の第１の温度(T1)で、第１の保持手段(5,50)上に保持し、第１の保持手段上に保持された成型ウエハを第１の温度より高く硬化温度(T_H)以上である第２の温度(T2)に加熱し、第１の保持手段の保持を終了し、第２の温度(T2)に加熱された成型ウエハを第１の保持手段から第２の保持手段(9、90)に実質的に非接触で搬送し、成型ウエハを第２の保持手段上に保持し、第２の保持手段上に保持された成型ウエハを第２の温度より低く前記硬化温度以下である第３の温度(T4)まで冷却し、第２の保持手段による保持を終了するステップを有する。 （もっと読む）

【目的】ワーク基板を加熱しながら移送する加熱機能付きコンベアにおいて、ワーク基板の縦横サイズの変更に対応するための加熱機能付きコンベアの縦横サイズの変更を極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、移送中のワーク基板に対してワーク基板全体を均一に加熱することができる、加熱機能を備えたコンベアを提供する。
【構成】ワーク基板の移動方向に延びる支持フレームと、アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材と、前記複数個の各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体とを備えており、前記各切断済み押出材には、その内部の空洞部内に、その長手方向と平行な方向に延びる筒状パイプであって棒状ヒーターが挿入可能な一つ又は複数の筒状パイプが一体に形成されているねことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】液状の接着材を用いて、所定の領域内に接着層を確実に形成する。
【解決手段】可撓性基板を表面に保持するための保持基板１０ａと、保持基板１０ａの表面に設けられ、可撓性基板を接着するための液状の接着剤１２ａとを備えた基板搬送用治具２０であって、保持基板１０ａの表面には、可撓性基板が保持されたときに接着剤１２ａを内部に封入するための枠状の粘着層１１ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】搬送装置におけるエアの消費量を抑制して省エネ化を促進すると共に、ワークの保持状態を確実且つ簡便に確認する。
【解決手段】本体部１４には、エアが供給される第２供給通路４４とベース部材１２の吐出孔２４との連通状態を切り換える供給切換機構１６が設けられ、前記第２供給通路４４に連通した連通路３６におけるエアの圧力がワークの接近によって上昇することにより、前記供給切換機構１６によって前記第２供給通路４４と吐出孔２４とが連通状態へと切り換えられる。 （もっと読む）

【課題】 高精度な駆動回路又は薄膜トランジスタを可撓性の基板に形成する表示素子用の製造装置を提供する。
【解決手段】 表示素子の製造装置は、可撓性の長尺基材（ＦＢ）の上に表示素子を形成する製造装置（１００）である。そしてこの製造装置は、長尺基材を所定方向に搬送する搬送ローラ（ＲＲ）と、長尺基材が搬送ローラの外周面に倣う領域を増やす領域増加手段（ＳＲ１、ＳＲ２）と、長尺基材が搬送ローラの外周面に倣う領域で長尺基材に対して表示素子を構成する材料の液滴を塗布する液摘塗布装置（２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可撓性基板を逆方向に巻き戻しても、基板搬送高さを維持し、可撓性基板の下がりを抑制して把持ローラからの脱落を防ぎ、基板通しの初期位置や成膜する位置の変更を可能とし、逆方向の搬送においても成膜することが可能な薄膜積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】送り室１０から巻き取り室７０へ回転駆動し可撓性基板１を搬送する搬送ロールと押さえロールとの間に可撓性基板の上端および下端を把持する把持ローラ４４ｂを備え、複数の成膜室内に対向して設置された電極間に基板を通し、表面上に成膜する薄膜積層体の製造装置において、把持ローラは、水平方向に対して時計回り方向である任意の傾き角を持った正把持ローラと、水平方向に対して反時計回り方向である任意の傾き角を持った逆把持ローラと、対ローラであるこれら正把持ローラと逆把持ローラを把持開閉する把持機構とを具備し、任意の間隔で基板の端部を把持しながら搬送する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性のワークを搬送する際の帯電を抑制することが可能な搬送システムおよびコンベア装置を提供する。
【解決手段】搬送システム１００は、ガラス基板Ｗをトレイ１に載置して搬送する搬送システムであって、ローラ２５と、トレイ１とを備えている。ローラ２５は、搬送方向に並んで複数配置されている。トレイ１は、絶縁性のガラス基板Ｗを載置する。そして、トレイ１とローラ２５とにおいて、少なくとも互いの接触部（外側フランジ１１およびローラ２５）が導電性を有しており、接触部は接地されている。 （もっと読む）

【課題】吸着面を一段と平坦にし得る吸着ステージを提供すること。
【解決手段】表裏面間を連通する複数の粗孔１３ａを有する平板１３の一方の面から空気を吸引することにより前記平板１３の他方の面に被吸着物Ｗを吸着する吸着ステージ１１であって、前記粗孔１３ａの孔径より小さく前記粗孔１３ａと同方向に通気性を有する細孔１４ａが形成されたシート部材１４を、前記平板１３の他方の面に具備することとした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、又は複雑な装置を必要とせず、粘着保持した薄板状物を変形させることなく剥離することのできる保持治具及び薄板状物の剥離方法を提供する。
【解決手段】保持治具１は薄板状物５を粘着保持することのできる粘着部１４を頂面に有する突出部材１２と、非粘着部３２を表面に有する板状部材３０とを備え、板状部材３０は、突出部材１２に対して相対的に前後進可能に配置される。この保持治具１に粘着保持された薄板状物５を剥離させるには、板状部材３０を、突出部材１２に対して相対的にその軸線方向に前進させて、薄板状物５を突出部材１２の粘着部１４から引き離す。 （もっと読む）

【課題】枚葉状の可撓性基板を、処理中に抜け落ちることなく湾曲、撓み又はしわ等の発生を防止し、容易に固定出来る可撓性基板保持具及びこの可撓性基板保持具を使用した有機ＥＬパネルの製造方法の提供。
【解決手段】矩形状の可撓性基板を平面状態に保持する可撓性基板保持具であって、前記可撓性基板は前記可撓性基板保持具への取り付け孔を有し、前記可撓性基板保持具は、矩形枠状の枠体と、前記枠体に取り付け部材を介し片持ち状態で一体に形成された梁構造の梁部とを有し、前記枠体の前記取り付け部材と対向する辺の２隅に前記取り付け孔にそれぞれ挿通される第１係止ピンと、前記梁部の両端に前記取り付け孔にそれぞれ挿通される第２係止ピンとを有することを特徴とする可撓性基板保持具。 （もっと読む）

【課題】 さまざまな振動数の振動を吸収して検査基板等の板状部材への振動の伝達を防ぐ振動吸収装置を提供する。
【解決手段】 振動吸収装置は、真空吸引手段に接続されて、被載置対象となる部材を保持する吸着テーブルに用いる板状のものである。この振動吸収装置は、一方側に被載置部材を載せ、他方側が真空吸引手段に接続され、真空吸引手段との接続部位と一方側を連通連結する通気路を備え、通気路が、点接触で結合された金属細片から構成された壁面によって形成された異なる大きさの多数の小孔から構成されていて、真空吸引手段に起因する振動を吸収して被載置部材に振動が伝わることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正する。
【解決手段】可撓性基板１５に対向して配置された対向物１６に対する可撓性基板１５の位置ずれを検出する検出部と、検出部によって可撓性基板１５の位置ずれが検出された場合に、少なくとも１つのローラー１０である修正ローラー１１の回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、可撓性基板１５の位置ずれを修正する修正機構と、修正ローラー１１の外周面と可撓性基板１５の表面との間の摩擦力を増大させる摩擦力増大手段とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】柔軟シート状部材を真空吸着して所定位置に保持する場合には、真空吸着により上記柔軟シート状部材に吸着痕が生じ、吸着力が高すぎると柔軟シート状部材に部分的な凹みや損傷をもたらせていた。本発明は、上記柔軟シート状部材を真空吸着する場合に、柔軟シート状部材に吸着痕や損傷をもたらすことを防止することを目的とする。
【解決手段】真空吸着装置１の基台２は、柔軟シート状部材であるフレキシブル回路基板２０を載置する載置面４と、載置面４に露出して形成されフレキシブル回路基板２０を載置面４に真空吸引する吸引孔６と、吸引孔６に連通する連通路７と、連通路７内の気体を吸引するように外部の真空ポンプに接続する真空ポンプ接続口８とを備え、外部気体を取り入れるとともに連通路７に連通する外部気体取入口１１を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】一対の搬送部材で物品を挟持する物品の搬送具であって、 前記物品を挟んで対峙する第１の搬送部材及び第２の搬送部材と、前記第１の搬送部材または前記第２の搬送部材の少なくとも一方の周縁部に設けられ、前記第１の搬送部材と、前記第２の搬送部材とを、前記物品を挟持しつつ接続する接続手段とを備えたこと、を特徴とする物品の搬送具が提供される。 （もっと読む）

【課題】セット領域上に描画シートを適切に吸着セットすることができるセットステージ等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴を受ける描画シートＳを、吸着セットするセットステージ１０７であって、吸着セットされる描画シートＳに対応するセット領域に形成した複数の吸着孔１２５と、複数の吸着孔１２５に連なる真空吸引手段１１３と、真空吸引手段１１３を低圧吸引と高圧吸引とに制御可能な圧力制御手段６５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】検査対象となる基板を所定の検査位置に載置して検査を行う場合に、基板の載置される位置を正確に把握して検査を行うことを可能とする基板検査装置における位置合わせ方法及び基板検査装置の提供。
【解決手段】複数の配線パターンが形成される基板を所定検査位置に載置して、該配線パターンの良不良を判断する基板検査装置における基板の位置合わせ方法であって、基板が載置される載置台を撮像手段が配置される撮像位置へ移動させ、前記撮像位置において、前記基板の第一位置情報を前記撮像手段により取得し（ステップＣ）、前記載置台を前記撮像位置から、基板の検査が行われる検査位置へ移動させ、前記検査位置において、前記基板の第二位置情報を検査手段により取得し（ステップＤ）、前記第一位置情報と前記第二位置情報を比較することによって、前記撮像位置と前記検査位置との補正位置情報を得る（ステップＥ）ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】軽量で強度のある吸着浮上パネルを提供する。
【解決手段】アルミ合金のハニカムパネル構造のパッド基板５上に、通気性のある多孔質のカーボン材からなるカーボンパッド１が装着され、カーボンパッド１の裏面側には、通気溝１１が形成される。通気溝１１に通気穴３が開口しており、該通気溝１１に送気する。或いは通気溝１１を吸引する。カーボンパッド１は境界線１５と境界線１６により示される３種類のエリアを使い分けることが可能である。 （もっと読む）

【課題】比較的に簡単な方法で吸着エリアを変えることが可能な真空吸着テーブルを提供する。
【解決手段】テーブル本体２０の径方向ｄ１が、テーブル受け部３０の吸引路３４の延び方向に一致している場合、当該最大径ｄ１の同心円上の両端吸着孔２２，２２、及び、それら両端吸着孔２２，２２の間に位置する吸着孔２２だけが吸引路３４に連通する。従って、最大径ｄ１の同心円上の両端吸着孔２２を囲む領域Ｅ１が、ワークＷを吸着可能な吸着エリアとなる。回転駆動機構１２がテーブル本体２０をテーブル受け部３０に対して相対的に回転させると、両端吸着孔２２，２２が径ｄ４の同心円上に位置する吸着孔群が、吸引路３４に対応した位置にあり、当該径ｄ４の同心円上の両端挿通孔２２を囲む領域Ｅ２が、ワークＷを吸着可能な吸着エリアとなる。 （もっと読む）

【課題】 真空ピンセットを構成する吸着シールと保持部材との接合構造の安定性を高めるとともに保持性能を長期に渡り維持可能とする。
【解決手段】 負圧を利用して被吸着物を吸着保持する真空ピンセットにおいて、一方の面に溝１１が形成され、溝１１の底部１１ａに開口するとともに真空ポンプに連通する通路１７を備えた吸着シール保持部材４と、溝１１に嵌合する形状を有するベース部５Ｂ及び、ベース部５Ｂから突設され、内面が通路１７と連通して被吸着物との間に負圧領域を形成する外周壁６を備えた吸着シール５とを有し、溝１１の側面には溝１１の長手方向に沿って保持部材凹条１６が形成され、ベース部５Ｂの側面には保持部材凹条１６に対応する吸着シール凸条１５が形成され、ベース部５Ｂには、外周壁６の内面と通路１７とを連通する連通孔９が穿設された構成とする。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板のリソグラフィプロセスの制御性を向上させ、フレキシブル基板がキャリジの露光領域の近傍にある場合にもパターンジェネレータを支持するキャリジの精密な走査運動が阻害されないようにする。
【解決手段】放射ビームを形成する照明系と、ビームをパターニングするパターンジェネレータと、フレキシブル基板の目標部分にパターンビームを投影してフレキシブル基板をパターニングする投影系と、フレキシブル基板の運動を制御する運動系とが設けられており、フレキシブル基板の目標部分はパターンビームによる露光中にもほとんど延伸せずにとどまる。 （もっと読む）