【課題】吸着板の反りによる面精度の低下をなくして空気漏れによる吸着保持力の低下を防止すると共に、吸着板の製造コストと張り合わせコストが掛からず、吸着補助板の分だけ薄形化及び軽量化し、内部洗浄の容易化と接着剤による汚染の防止を図った真空ピンセットの吸着ユニットを提供すること。
【解決手段】各吸引口８を開口させた吸着面で吸着対象物Ｗをハンドリングする真空ピンセットの吸着ユニット２であって、所望の平面形状で平板状に形成した吸着板本体５の吸着面とは反対の上面側には、上部側の嵌合用溝部７ａと下部側の連通用溝部７ｂで形成した溝穴７を各吸引口８に沿って延在する態様で設け、下部側の連通用溝部７ｂは各吸引口８にそれぞれ連通させると共に、真空圧源に接続する吸引流路１０に連通させ、上部側の嵌合用溝部７ａには弾性シール部材６を着脱可能に装着した。 （もっと読む）

【課題】従来、人間によって指定又は調整を行なわなければならず問題であった基準マークの登録、ＸＹθステージと同上システムとの間の座標軸の自由度調整、カメラの配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側かの判定・調整および基準マークのカメラ視野内への捕捉を完全に自動化したＸＹθステージ位置アライメントシステムを提供する。
【解決手段】 カメラの視野から幾何学的に特徴的なパターンを特別な画像処理アルゴリズムにより基準マークとして抽出・登録し、ＸＹθステージの所定の動作に対するカメラの撮像画像上での動きを計測してＸＹθステージの座標軸の方向・符号と位置アライメントシステムのそれとの関係の調整と、カメラのＸＹθステージに対する配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側にあるかの判定・同上システムでの調整を行い、また独自の視野移動方法で基準マーク含む探索パターンのカメラ視野内への捕捉を自動的に行う。 （もっと読む）

【課題】従来、人間によって指定又は調整を行なわなければならず問題であった基準マークの登録、ＸＹθステージと同上システムとの間の座標軸の自由度調整、カメラの配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側かの判定・調整および基準マークのカメラ視野内への捕捉を完全に自動化したＸＹθステージ位置アライメントシステムを提供する。
【解決手段】 カメラの視野から幾何学的に特徴的なパターンを特別な画像処理アルゴリズムにより基準マークとして抽出・登録し、ＸＹθステージの所定の動作に対するカメラの撮像画像上での動きを計測してＸＹθステージの座標軸の方向・符号と位置アライメントシステムのそれとの関係の調整と、カメラのＸＹθステージに対する配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側にあるかの判定・同上システムでの調整を行い、また独自の視野移動方法で基準マーク含む探索パターンのカメラ視野内への捕捉を自動的に行う。 （もっと読む）

【課題】多大な製造コストをかけずにシート状プラスチック基板等のシート材を水分吸収を抑制しつつ保管するシート材巻き付け具を提供する。
【解決手段】プラスチック基板保管装置１は、シート材を巻き付ける芯部材２と、芯部材２のシート材巻き付け部分の両側のそれぞれに軸方向に可動に設けられ、内側のシート材巻物端面当接部分が水分非透過性材料で形成されたフランジ部材３，３’と、フランジ部材３，３’をシート材巻物端面に押圧するように内向きに付勢する付勢部材６，６’と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス薄板やフィルム基板の製造工程において、基板の洗浄・乾燥などの処理や収納・搬送などの際に、カセット内の基板同士が接触することがなく、基板へのダメージ等が生ずるおそれがなく、基板の姿勢を安定化させ、処理性能の効率アップに有効な基板保持構造を提供する。
【解決手段】カセット内に基板２０，２１を収納するための基板保持構造において、前記基板２０，２１は矩形板状体の形状を成し、前記基板２０，２１は撓ませられた曲面状態にして、前記カセット内に保持される基板保持構造とし、また、この基板保持構造において、前記カセットは、外枠構造部材と、その内部に前記基板２０，２１を収納するための略直方体形状の収納部と、を備え、前記基板２０，２１は、前記収納部内に複数枚数が所定間隔で並列的に配置される。 （もっと読む）

【課題】絶縁性のフィルムを隙間無く吸着する静電吸着装置を用いた吸着方法の提供。
【解決手段】吸着装置１０は、絶縁性の電極基盤１１と電極基盤１の表面に同心状に配置された複数の電極２１〜３６を有している。電極２１〜３６の隣り合う二個を一組とし、内側の組から外側の組に向けて一定時間毎に段階的に大きな電圧を印加する。複数の領域Ａ〜Ｄに区分けし、各領域Ａ〜Ｄ毎に電圧を印加してもよい。絶縁性でフィルム状の吸着対象物を吸着する際、浮きが外側に押し出されるため、吸着対象物と吸着装置との間の密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 薄くて撓みやすいフレキシブル基板や、撓みにより破損し易いガラス基板を、撓ませずに搬送することができるようにする。
【解決手段】 矩形シート状の基板Ｐの少なくとも４隅近傍部分を、同一平面内に位置する複数のクランプ部材１３で把持しつつ、これらのクランプ部材１３で前記基板Ｐの中心から離れる向きに前記平面内で均等に引っ張りながら、これらのクランプ部材１３を一体的に移動させて基板Ｐを搬送する。基板の自重や搬送中の振動により基板が変形したり、破損したりする事故を防止することができ、特に、エッチング処理工程等において基板を搬送しながら処理する場合に、ノズルから基板表面に向けて噴射される処理液の圧力を受けても、基板が撓んだり波打ったりすることがなく、処理中の基板の破損や変形を効果的に防止できる。 （もっと読む）

【課題】シート体に吸着跡が発生することがなく、平面性を維持して高精度な描画を行う。
【解決手段】吸着プレート６０を支持台５８に固定するねじ部材７１の頭部が収容される座繰り穴６７が長孔６３及び連通路７３を介して大気に連通しているため、吸着プレート６０の孔部６２を介して基板Ｆを吸引する際に座繰り穴６７内が負圧になることがなく、平面性を高精度に維持して基板Ｆを吸着プレート６０に吸着保持することができる。 （もっと読む）

【課題】発熱源からの輻射熱を有効に遮断するようにして、シートフイルムの熱膨張を効果的に抑制することができ、シートフイルムへの例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行う。
【解決手段】露光装置１０のワーク搬送装置１８は、シートフイルム３２が載置され、且つ、シートフイルム３２を位置決め保持するワーク載置面３４を有する露光ステージ３６と、該露光ステージ３６を上下方向に移動駆動する昇降機構３８と、定盤１４上に配設されたガイドレールに沿って移動駆動する移動ステージ４０と、該移動ステージ４０を移動駆動するための移動機構４２とを有する。そして、露光ステージ３６の下面（移動ステージ４０と対向する面）の一部に遮熱部材８０を取り付ける。本実施の形態では、露光ステージ３６の下面のうち、その周辺部分に遮熱部材８０を取り付けるようにしている。 （もっと読む）

【課題】発熱源である駆動モータの発熱量を有効に低減するようにして、シートフイルムの熱膨張を効果的に抑制することができ、シートフイルムへの例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行う。
【解決手段】制御ユニットからの指令を受け取り（ステップＳ１）、受け取った指令が駆動指令であるか否かが判別され（ステップＳ２）、駆動指令である場合は、駆動指令の値に応じた駆動電流を駆動モータに供給する（ステップＳ３）。これにより、露光ステージが上下方向に移動することになる。一方、制御ユニットからの指令が駆動指令ではなく、停止指令であると判別された場合は、最小の駆動電流を駆動モータに供給する（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置、デバイス製造方法及びそれによって製造されたデバイスを提供すること
【解決手段】基板処理装置は、放射の投影ビームを供給するための照明システム、投影ビームの断面にパターンを付与するべく機能する個々に制御可能な複数のエレメントのアレイ、及びパターン化されたビームを基板の目標部分に投射するための投影システムを備えたリソグラフィ装置を備えている。また、基板処理装置は、少なくとも１つの完全な長さの基板を送り出すようになされた基板サプライと、投影システムがパターン化されたビームを個々の完全な長さの基板に沿った一連の目標部分に投射することができるよう、基板サプライから送り出される個々の完全な長さの基板を投影システムの先へ搬送するようになされた基板搬送システムとを備えている。特定の実施例では、長さの長い基板がロールから供給されるが、別法として一連の個別シートを供給することもできる。 （もっと読む）

【課題】搬送部の被案内面に外周面を接触させて回転する搬送ローラを備えた真空搬送装置の発塵を低減し、耐久性を向上する。
【解決手段】この真空搬送装置は、基板がセットされる台車１と、台車１の下に取り付けられた搬送レール２と、搬送レール２の被案内面を外周面で案内する搬送ローラ３と、を備えている。搬送ローラ３の少なくとも外周面（搬送部２の被案内面２２ａを案内する案内面）を含む部分をセラミックス製にする。 （もっと読む）

【課題】 フレキシブル基板に折れまたは傷を生じさせることなく、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥離できるフレキシブル基板の剥離装置を提供する。
【解決手段】 フレキシブル基板１が貼着されている粘着シート２を、ケース３上に載置する。吹き出し器４から、吹き出し口４ａを介して圧空を上方に吹き出す。吹き出された圧空は、圧空流路３ａ、孔２ａを通って上方に送出されて、孔２ａの上側開口から流出される。この際、圧力／流量調整部５によって、吹き出し器４から吹き出される圧空の圧力及び流量が調整される。孔２ａから流出された圧空は、粘着シート２の上面とフレキシブル基板１の下面との間に入り込む。この結果、フレキシブル基板１と粘着シート２との間に空隙が生じる。そして、この空隙が生じている状態で、ピンセットを用いて、フレキシブル基板１を粘着シート２から剥離する。 （もっと読む）

【課題】吸着ヘッドの吸着面が物品に接触するときの衝撃を十分に小さくして、機械的に脆い物品でも安定かつ確実に吸着保持し、搬送可能にする。
【解決手段】固定部と吸着部との間に設けられて、それらの間に閉じられた気室を形成するベローズを備え、吸着部の吸着面を物品へ接触させる時には、物品に接触する際に生じる衝撃力により吸着部が持ち上がる程度の第１の圧力で、吸着部の吸着面にて吸着された物品を搬送する時には、第１の圧力よりも大きく、搬送中にストッパ部が固定部から離れない程度の第２の圧力で、可動部材のストッパ部が固定部に当接するように、ベローズ内の気室の圧力を調整して物品を吸着保持することを特徴とする吸着ヘッド。 （もっと読む）

【課題】静電チャックの吸着面において、さらに良好な面精度を実現できる分割静電チャック構造を提供する。
【解決手段】分割静電チャック構造を構成するベースプレート３１と静電チャック３０とをピエゾ素子アクチュエータに連なる絶縁性昇降支柱３２ａ、３２ｂ、３２ｃの上下両端により連接し、静電チャック３０の各下面３０Ｂ内で平面を成す少なくとも３点を、支柱３２ａ、３２ｂ、３２ｃの上端のそれぞれで支持することにより、静電チャック３０を傾動可能とする。またベースプレート３１の静電チャック３０は、互いに隣接する静電チャック３０から成る配列方向のうち、少なくとも１つの配列方向で電極の正負が互いに異なる配列とする。そして、静電チャック３０上を走査するレーザ変位計により測定された傾斜状態に基づき、各静電チャック３０が水平姿勢となるように、ピエゾ素子アクチュエータを伸縮する。 （もっと読む）

【課題】薄くて剛性の低いフレキシブル基板であっても安定して搬送可能で、コンパクトな機構で搬送効率に優れたワークの搬送装置および搬送方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板６を保持した基板保持部２０を循環経路に沿って移動させることにより基板６を作業位置に搬送するワークの搬送装置において、基板保持部２０の移動をガイドし相互に一方から他方への基板保持部２０の乗り移りが可能な可動レール１１ｂ、１２ｂ、１６，１７および固定レール１８によって、基板６を載置したワーク保持部が循環する循環経路を形成し、循環経路に設定された停留位置において基板保持部２０を停留させる構成を採用する。これにより、少ない個数の基板保持部２０によって、薄くて剛性の低い基板６を安定して効率よく搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】 振動膜生産のための薄膜伸長工程を自動化できる薄膜伸長装置を提供すること。
【解決手段】 本装置は、下板モールドを挿入するための溝が上面に形成され、下板モールド挿入溝の周辺には真空吸入部が形成され、中央部には音圧印加ホールが設置されるベース；ベースの上面に垂直に離隔されて位置し、ベースに対して垂直に上下運動する上下移送部；上下移送部の末端に脱着可能に付着され、ベースに対して上下運動して最低点で下板モールドと結合する上板モールド；ベースと上下移送部の間に離隔されて位置し、ベースに対して上下運動して最低点で下板モールドの外郭部に位置する、薄膜を圧着する外郭クランプ；真空吸入部に真空を提供する真空ポンプ；及び、ベースの底面に付着されて音圧印加ホールを通して、薄膜に試験音圧を提供する音圧発生部を含めて構成される。 （もっと読む）

【課題】 基板処理において基板に皺が発生するのを防止又は抑制でき、それにより基板処理の不均一性を抑えることができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の基板処理装置では、各処理室に設置されるヒータの可撓性基板との接触部の表面に所定の波形状を有する溝部を形成した。このため、表面処理時における可撓性基板の熱膨張分が吸収される。その結果、可撓性基板の熱膨張による皺の発生およびそれに伴う表面処理の不均一性を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の搬送装置において、簡単な構造で、且つ、発塵や頻繁なメンテナンスを伴うことなく、長期間に亘って、確実に基板の静電気を除去する。
【解決手段】基板の搬送装置１０は、ローラー軸１２Ａ〜１２Ｄ，１２Ｈ〜１２Ｊに取付けられたローラーによってシート状の絶縁材料、例えばガラス基板を搬送するものであって、ローラー軸の外端に設けられた軸受け様プーリ２４Ａ〜２４Ｄ，２４Ｈ〜２４Ｊの外輪に、導電性ワイヤー２６が順次、少なくとも１回巻き掛けられて、導電性引張りばね２８を介して接地され、ガラス基板の静電気をアースするものである。 （もっと読む）

【課題】多様なサイズや品種の異なる基板であっても吸着エリアの設定を個別に行なうことができ、基板の吸着状態や記録品位を高度に維持できる基板吸着搬送装置を提供する。
【解決手段】吸着プレート１８の吸引孔２３は、該吸引孔２３に対応する位置に配設されベースプレート１９から昇降可能に設けられた吸引孔開閉部材２４により個別に開閉可能になっている。 （もっと読む）