【課題】成長基板に成長したシート状基板をその成長基板から自動的に剥離するシート状基板剥離装置と、シート状基板を成長基板から剥離するシート状基板剥離方法を提供する。
【解決手段】シート状基板剥離装置１はシート状シリコン基板を成長させるための成長用基板３と、シート状基板を剥離するための真空吸着パッド１１と、シート状基板を搬送するためのベルヌーイ吸着パッド１３とを備えている。成長基板３には、成長基板３を掴むようにシート状シリコン基板を成長させる第１面、第２面および第３面が設けられている。真空吸着パッド１１は、成長基板において第２面が位置する一端側から第２面と対向する他端側に至る長さの３分の１以下の距離にところに位置する部分に成長したシート状シリコン基板の部分が吸着される。 （もっと読む）

【課題】吸着の面内不均一が生じない静電チャック部材およびそれを用いた静電チャック装置を提供する。
【解決手段】 静電チャック部材は、絶縁性材料よりなる絶縁層１と、該絶縁層を介して電位差を生じさせるための該絶縁層の一面に設けた電極パターンを有する第１の電極層２および他面に設けた第２の電極層３と、これら２つの電極層の表面を被覆する絶縁性薄膜４、５とよりなり、そして第１の電極層の電極パターンが網状電極２１よりなり、また、第２の電極層が複数の島状電極３１よりなる電極パターンを有するものであって、前記第１の電極層の網状電極２１と第２の電極層の島状電極３１とが、電極層面に対して垂直方向から見て、互いに重なり合わないように配置されている。この静電チャック部材を、基材上に第２電極層が基材側に位置するように貼着して静電チャック装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】 吸着面側の電界強度を強めた静電チャック部材およびそれを用いた静電チャック装置を提供する。
【解決手段】 静電チャック部材は、絶縁性材料よりなる絶縁層１と、該絶縁層を介して電位差を生じさせるための該絶縁層の一面に設けた電極パターンを有する第１の電極層２および他面に設けた電極パターンを有する第２の電極層３と、これら２つの電極層の表面を被覆する絶縁性薄膜４、５とよりなり、そして前記第１の電極層のパターン状電極２１と第２の電極層のパターン状電極３１とが、電極層面に対して垂直方向から見て、互いに重なり合わない部分が存在するように配置されている。この静電チャック部材を、基材上に第２電極層が基材側に位置するように貼着して静電チャック装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】 薄い接合用フィルムを負圧で吸着してフィルムに部分的な変形が生じても、基板などの平坦な被マウント面にボイドを残留させることなくマウントするコレット。
【解決手段】 平坦な矩形の吸着面２１の中央部ｍを除く周辺部ｎの複数箇所にエアー出入穴２３を形成し、各エアー出入穴２３から吸着面２１の四辺の外周縁２２に延在させてリーク溝２４を形成する。各リーク溝２４は、その両端がエアー出入穴２３と外周縁２２で開口する。吸着面２１でフィルム１を負圧で吸着するとき、中央部ｍにフィルム中央部を密着させる。 （もっと読む）

【課題】薄板ガラス等を収容した多数のトレーを容易に出し入れ可能で、収容物の波損なく搬送可能で、製造ライン等の収容物の供給場所あるいは使用場所への搬送をも適切に効率よく行えるコンテナを提供する。
【解決手段】外部パレット、側板及び上蓋により形成されるコンテナ内部空間に、薄板ガラスを収容したトレー６０を多数内部パレット４２に載置した状態で収容する。内部パレット４２上には底板５４が設けられてその周囲に枠部材５６が設置されており、トレー６０は枠部材５６により位置が規定されてずれないように固定される。トレー６０の上には、押え板７０が載置され、押え板７０と上蓋２０との間に緩衝材７２が介在される。これによりトレー６０の上下方向の移動も抑止され振動も吸収される。 （もっと読む）

本発明は、従来のガラス基板を用いる液晶表示素子製造ラインをそのまま利用し、プラスチック基板などのフレキシブル基板を用いるフレキシブル表示素子を製造するためのフレキシブル基板搬送用粘着剤組成物に関する。特に、フレキシブル基板搬送用粘着剤１００重量部及び帯電防止剤０．００１〜５重量部を含むフレキシブル基板搬送用粘着剤組成物、上記組成物を含む粘着シート、及びこれらを用いたフレキシブル基板搬送方法に関するものである。 （もっと読む）

【課題】単体では強度や剛性が不足しているプラスチック基板であっても回路基板を簡便に製造することができるようにする。
【解決手段】支持基板上に粘着材を塗布または貼付して該支持基板上に粘着材層を形成し；前記粘着材層に対し粘着力制御処理を選択的に施し、前記粘着材層中に弱粘着力領域と該弱粘着力領域よりも粘着力が強い強粘着力領域の少なくとも２つの領域を形成し；複数の粘着力領域が設けられた前記粘着材層に対し、プラスチック基板を真空度３００Ｔｏｒｒ以下の環境下で圧着し；前記粘着材層に圧接した前記プラスチック基板の面とは反対側の面上であって、前記弱粘着力領域の直上に相当する領域内に回路を形成し；前記回路を形成したプラスチック基板の領域を、前記粘着材層の弱粘着力領域を剥離層として切り出し、プラスチック基板上に回路を有する回路基板を得る。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板などの絶縁基板を真空中で確実に吸着する方法を提供する。
【解決手段】 吸着面に真空吸着用の穴が開口するとともに吸着面の平均粗さ（Ｒａ）を０．７μｍとした静電チャックを用い、大気雰囲気から真空雰囲気まで連続して静電チャックにて基板を吸着するにあたり、大気雰囲気での相対湿度を４５％以上７３％以下とする。大気中ではガラス基板は表面吸着水によって覆われており、大気中で一旦静電吸着することで、発生した電界によって表面吸着水はイオン化され、真空雰囲気になってもそのまま残り導電性物質と同じような働きをし、吸着力が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】シール性及び耐衝撃性を向上させ半導体ウエハＷ等を安全に枚葉収納して搬送する。
【解決手段】互いに着脱可能な複数枚の載置トレイ１６を積層し、各載置トレイ１６の間の隙間に半導体ウエハＷをそれぞれ挟持して収納するトレイ収納体１２と、このトレイ収納体１２を内部に収納する外部収納容器１３とからなる薄板収納容器１１である。各載置トレイ１６の対向する両側端に、外部機械装置の処理アームが嵌合して把持する一対の把持部２０を設けた。外部収納容器１３は、容器本体３１と、蓋体３２と、これら蓋体３２と容器本体３１との間に設けられて内部をシールするシール材３３と、上記トレイ収納体１２を支持する一対のトレイ収納体支持部３４と、上記容器本体３１内に収納された上記トレイ収納体１２を底面側と蓋体側とから挟持して支持するトレイ収納体押さえ３５を備えた。 （もっと読む）

【課題】 被保持物品の破損防止や必要な剛性を確保することができ、製造ラインに新たな設備や工程を設ける必要がなく、作業時間の短縮やコスト削減を図ることのできる吸着治具を提供する。
【解決手段】 剛性を有する板体１の表面に凹み穴２を形成し、凹み穴２を弾性変形可能な保持層４により被覆し、保持層４の表面に、バックグラインドされた口径３００ｍｍの薄い半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持するものであって、板体１に穿孔されて保持層４に被覆された凹み穴２内の空気を外部に導く排気路５と、凹み穴２の底面に配設されて保持層４を接着支持する複数の支持突起３と、板体１と保持層４とに連通状態に穿孔されて保持層４と半導体ウェーハＷとの間に空気を給排する給排路７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 作業効率を向上させ、作業の迅速化を図ることのできるチャック治具を提供する。
【解決手段】 ＸＹＺの三次元方向に移動可能、そして回転可能に設置された治具本体１と、この治具本体１の複数の面にそれぞれ形成された複数の凹み穴１０と、各凹み穴１０を被覆して半導体ウェーハＷ等の被保持物品を着脱自在に密着保持する複数の保持層２０と、各保持層２０に被覆された凹み穴１０の空気を外部に排気する複数の排気路３０とを備える。半導体ウェーハＷを片面持ちではなく、両面持ちで密着保持することができるので、作業の迅速化が期待できる。 （もっと読む）

【課題】薄板を安全に且つ確実に支持する。
【解決手段】少なくとも１枚の薄板を支持する載置トレイ１３である。一側面に設けられ少なくとも１枚の薄板が載置される第１載置部１８と、他側面に設けられ他の載置トレイ１３の上記第１載置部１８と嵌合して外部環境と隔離した収納空間を形成すると共に当該収納空間内で上記薄板を挟み持って上下を逆にした際に当該薄板が載置される第２載置部１９と、一側面に設けられ他の載置トレイ１３と結合するフック３０と、他側面に設けられ他の載置トレイ１３のフック３０と結合するフック係止機構３１とを備えた。この載置トレイ１３を、上記薄板の枚数に合わせた枚数だけ重ね合わせて薄板保持容器１１を構成する。この薄板保持容器１１は薄板を上下いずれからでも支持することができる。 （もっと読む）

【課題】薄板の受け渡し等の際に載置トレイを正確に位置決めする。
【解決手段】外部機械装置側に嵌合するための一対のベーストレイ１２と、当該各ベーストレイ１２の間に挿入されて薄板を収納するための１又は複数の載置トレイ１３と、当該各載置トレイ１３の間や上記ベーストレイ１２と載置トレイ１３との間を任意の位置で互いに独立して結合・結合解除する結合・解除手段１４とを備えた。上記載置トレイ１３の側面の対向する２箇所の位置には、外部機械装置側の処理アームが嵌合して把持する把持部２１が形成された。当該把持部２１は、上下方向の位置決めをする、互いに傾斜した２つの傾斜面を備えた、縦断面形状を楔状に形成された。把持部２１には、載置トレイ１３の左右方向の位置決めをする、互いに傾斜した２つの傾斜面を備えた装置位置決め溝５２が設けられた。 （もっと読む）

【課題】 例え基板が薄い場合でも、ハンドリング時等に容易に破損するのを抑制できる吸着装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハＷを保持する吸着治具１を吸着パッド１０に取り外し可能に支持させ、吸着治具１を、板体２と、板体２に形成される凹み穴３と、凹み穴３を被覆して半導体ウェーハＷを保持する変形可能な保持層５と、板体２に設けられて保持層５に被覆された凹み穴３の空気を排気する排気孔６とから構成して凹み穴３に、保持層５用の複数の支持突起４を設ける。また、吸着パッド１０を、吸着治具１の板体裏面に重なるパッド１１と、パッド１１から伸びるアーム１４から構成してパッド１１に、吸着治具１の板体裏面に対向する対向溝穴１２と、吸着治具１の排気孔６に連通する連通溝穴１３をそれぞれ設け、パッド１１とアーム１４には、パッド１１の対向溝穴１２に連通する給排路１５、及びパッド１１の連通溝穴１３に連通する排出路１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】被粘着物を十分な保持力で保持可能であると共に容易に取り外すことができ、耐久性に優れた保持治具を提供する。
【解決手段】保持治具１は、周壁部２０と、前記周壁部２０で包囲された内部空間２２に形成された少なくとも一つの凸状体３０と、前記周壁部２０と前記凸状体３０との間隙部に連通する通気孔４０とを有する基体１０、及び、前記基体１０上に接着固定又は密着固定され、前記凸状体３０上に位置する上面に弱粘着部又は非粘着部を有する粘着性シート５０を備え、前記凸状体３０は曲面部又は面取部３３を有する頂部とを備える。 （もっと読む）

【課題】コストアップを招くことなく、振動等の異常発生による画像品質の劣化を抑制する描画装置及び描画方法を提供する。
【解決手段】感光材料が載置された移動ステージ１５２及び露光ヘッド１６６を走査方向に相対移動させながら、描画素子により描画点を描画させることにより、感光材料上に画像を描画する描画装置において、位置ずれ量演算部７５は、ステージ位置測定部２０によって測定された移動ステージ１５２の位置情報に基づいて移動ステージ１５２の位置ずれ量をリアルタイムで演算する。フレームデータ作成部７４は、描画素子毎に予め定めた取り出し位置から所定数のデータを画像データ記憶部７１に記憶された画像データから取り出すことにより、描画素子毎に描画点データを生成する。制御部１０は、検出した位置ずれ量に応じた取り出し位置の補正量をメモリ７６に記憶した補正テーブルデータから求め、フレームデータ作成部７４に出力する。 （もっと読む）

【課題】枚葉のフレキシブル基板をフラットに保ちながら温度を低く保つことが可能なプラズマ処理方法及び装置を提供すること。
【解決手段】真空室と、真空室内にガスを供給するガス供給手段と、真空室内を排気する排気手段と、真空室内を所定の圧力に制御する調圧弁と、基板を保持するトレイを載置する電極と、前記電極に電力を印加する電源とで構成されるプラズマ処理装置において、トレイはその表面に着脱可能な粘着シートを有し、かつ、粘着シートは凹凸を有する形状とすることで解決できる。 （もっと読む）

【課題】 加工中又は搬送中には十分な保持力で部品を保持固定でき、完成後には部品を容易に取り外すことができて、部品を破損させることがなく、特に薄板状の電子部品の取り扱いに適した部品保持具を提供する。
【解決手段】 上面に非粘着面若しくは弱粘着面を有する固定部４の平面内に、固定部４の上面よりも粘着力の大きな強粘着面５を上面に有する可動部６が配置されている部品保持具１であって、部品取り付け前の初期設定時には可動部６の上面が固定部４の上面と同一若しくはより高い位置にあり、かつ、部品取り外し時には可動部６の上面を固定部４の上面より低い位置に変更する切替手段を備える。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板またはフィルムの垂れ下がりを防止できるフレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイを提供する。
【解決手段】フレキシブルディスプレイ製造用フィルムトレイ１００は、支持板１１０と、前記支持板１１０の端部にお互いに対称となるように設置されて、フレキシブル基板またはフレキシブルフィルムを固定させるための開閉部１２０ａと開閉可能部１２０ａから所定の離間空間をおいて設置された支持部１２０ｂとかなるクランプ１２０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 幅寸法の異なる複数種類のＴＡＢテープを確実に吸着することが可能な、吸着装置５０を提供する。
【解決手段】 複数種類のテープの吸着面を構成する多孔質板５１と、各テープの幅方向の外形に沿って多孔質板５１の内部に複数形成された、多孔質板５１の水平方向の仕切部材５４と、隣接する仕切部材５４の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニット７１を、選択的に駆動しうる負圧発生機構７０とを備えている。これにより、多孔質板５１の内部を通って負圧がリークするのを防止することが可能になり、多孔質板５１の表面であって仕切部材５４の内側に配置されたテープを負圧によって確実に吸着することができる。 （もっと読む）