【課題】手動にて、ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくはウェハキャリアから取り出す場合において、ウェハ同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止する。
【解決手段】ウェハキャリア用の治具であって、ウェハキャリア１１が備える複数のスロット１２の数に対応し、スロット１２の並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定されたウェハ保護プレート群２０からなり、各ウェハ保護プレート２１は、スロット１２内に収納されるウェハ１０の直径以下の幅を有しスロット１２に差し込まれる挿入部２２と、挿入部２２の幅方向に延びてスロット１２の開口面１５に接する一対のストッパー部２３とを有し、挿入部２２が隣り合うウェハ１０同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止することを特徴とするウェハキャリア用治具１。 （もっと読む）

【課題】手作業による操作ミスがあったとしても被処理体の吸着ミスを防止し、確実に吸着・脱着動作を行うことが可能な真空ピンセットを提供する。
【解決手段】本発明の真空ピンセットは、長尺状の本体２と、前記本体の一端部に設けられ、平板状の被処理体を吸着し保持する第一機能部１０、および、前記被処理体とは異なる対象物の有無を識別する第二機能部２０と、を少なくとも備えた真空ピンセット１Ａ（１）であって、前記第二機能部における前記対象物の有無の識別結果に基づき、前記第一機能部における前記被処理体の吸着条件を切り替える制御手段３０を有すること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大口径の半導体ウェーハであっても安定に吸着保持することが可能な吸着保持装置を提供すること。
【解決手段】使用者が片手の掌全体で把持可能な支持部と、上記支持部側面の長手方向に一列に立設配置され、かつ該支持部内部に設けられた吸引流路と連通する吸引流路を内部に有する連結管部と、上記連結管部の先端に取り付けられ連結管部からの吸引負圧により被吸着物を吸着する吸着板と、を有し、かつ、全吸着板は同一方向から半導体ウェーハの一主表面を吸着保持する、半導体ウェーハ吸着保持装置。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、この本体２の端部に設けられ、複数の吸着面４〜６を有する吸着部３と、吸着面４〜６毎に少なくとも一つ設けられ、被処理体を吸着する吸着孔７と、を備え、少なくとも一つの吸着面は、一辺に屈曲部１１を有し、被処理体に対して吸着孔７が接近又は離間するように、屈曲部１１を中心に回動可能に構成されていることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】反りがある半導体ウエハに対して、安定して吸着することができる真空ピンセット。
【解決手段】長尺状の本体２と、本体２の端部に設けられ、平坦部を有する先端部３と、先端部３の平坦部３ａに設けられた複数の突部４と、を備え、突部４のうち少なくとも１つが、可撓性を有する材料からなる吸着部４であることを特徴とする真空ピンセット１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ワークの浮上量を所望の値に設定するための部材点数を抑えることができる非接触保持装置を提供する。
【解決手段】非接触保持装置１０は、ワークＷに対向する保持面３１を有して内部に圧縮空気が導入される保持体１２と、保持面３１に開口を有して保持体１２に導入された圧縮空気を開口から流出する旋回流発生室３４を備え、旋回流発生室３４に流入した圧縮空気の旋回流によって負圧を形成し、保持面３１に設けられた開口から流出する圧縮空気によって保持面３１とワークＷとの間に正圧を形成することによって、保持面３１に接触しない位置にワークＷを保持する。そして、保持体１２には、旋回流発生室３４と保持体１２の外側の領域である外側領域Ｓとを連通させることによって、旋回流発生室３４内に流入した圧縮空気を保持体１２の外側領域Ｓへ漏出させる連通路３６を備える。 （もっと読む）

【課題】板状物を保持する際に、この板状物に局所的な変形が生じないようにすることができる板状物保持具を提供する。
【解決手段】可撓性の材料からなり、厚さ方向の一方の面が被保持物である板状物５の表面に略密着するように張り付くことができるシート状の部材１１ａと、このシート状の部材１１ａよりも変形が困難であって、略平面に形成される接合面を有するとともにシート状の部材１１ａの厚さ方向の他方の面に接合面が接合される支持部材１２ａとを備え、シート状の部材１１ａには支持部材１２ａの接合面１２１ａの外周よりも外側に延出している延出部が設けられる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを安定してハンドリングでき、接触等による半導体ウエハのスクラッチや欠けを防止することができる半導体ウエハ用真空ピンセットを提供する。
【解決手段】ハンドグリップ部と、中心角が１８０度超３６０度未満の開環形状の吸着板、及び前記吸着板に配設される吸着口及び前記複数の吸着口を接続する第1真空吸引経路を有する吸着部と、角度調整機構を有し、前記ハンドグリップ部と前記吸着部とを接続する接続部と、一端が前記第１真空経路に接続され他端が半導体ウエハを吸着する真空吸引力を生成する真空圧源に接続されて、前記真空圧源の生成した前記真空吸引力を前記吸着口に伝達する第２真空吸引経路と、を有し、前記吸着板は、半導体ウエハの半径をＲとした場合に、外周の大きさが０．７１Ｒより大きく０．８５Ｒ未満であり、且つ内周の大きさが０．５Ｒ以上０．６１Ｒ未満であることを特徴とする半導体ウエハ用真空ピンセット。 （もっと読む）

【課題】撓んだ肉薄ワークであっても吸着可能であり、吸着時にもワークに損傷を与えることなく搬送時においてワークの移動を防止でき、且つ薄型化および小型化可能な簡素な構成のベルヌーイチャックを提供する。
【解決手段】ワークＷを吸着保持するベルヌーイチャック１において、円板状の吸着保持板７の平面状の吸着面７Ａに、吸着保持板７の外周側面７Ｂに開口する外端１１Ａを有する４本の直線状の溝１１を放射状に設け、吸着保持板７の内部に、吐出ポンプに連通する圧縮空気供給路１０を穿設するとともに、放射状に設けた分配流路１２によって圧縮空気供給路１０と各溝１１の内端１１Ｂとを連通させる。 （もっと読む）

【課題】
吸着保持面３を実質的に拡大させてベルヌーイ効果による吸着保持力を増強させ且つ、吸着保持したワークＷのスライドを防止すると共に、共通のベルヌーイチャックを用いてチャック補助部６のみを交換し、形状や口径の異なるワークＷに適合させて最適な吸着保持を可能にすることなどを目的としたベルヌーイチャック１を提供する。
【解決手段】
高圧気体の吐出口を設けた吸着保持面３の外周囲に対し、吸着対象となるワークＷとほぼ等しい外形で吸着保持面３の外周囲を包囲するガイドリング２８と、ガイドリング２８の外周囲から突出形成したワーク係止片２９で構成したチャック補助部６を着脱可能に装着した。 （もっと読む）

【課題】吸着板の反りによる面精度の低下をなくして空気漏れによる吸着保持力の低下を防止すると共に、吸着板の製造コストと張り合わせコストが掛からず、吸着補助板の分だけ薄形化及び軽量化し、内部洗浄の容易化と接着剤による汚染の防止を図った真空ピンセットの吸着ユニットを提供すること。
【解決手段】各吸引口８を開口させた吸着面で吸着対象物Ｗをハンドリングする真空ピンセットの吸着ユニット２であって、所望の平面形状で平板状に形成した吸着板本体５の吸着面とは反対の上面側には、上部側の嵌合用溝部７ａと下部側の連通用溝部７ｂで形成した溝穴７を各吸引口８に沿って延在する態様で設け、下部側の連通用溝部７ｂは各吸引口８にそれぞれ連通させると共に、真空圧源に接続する吸引流路１０に連通させ、上部側の嵌合用溝部７ａには弾性シール部材６を着脱可能に装着した。 （もっと読む）

【課題】 真空源から導かれる真空度が不可抗力的に低下した場合であっても確実にウェハを保持可能な真空ピンセットを提供する。
【解決手段】 ウェハ１０を吸着する真空吸着面１ａと、真空吸着面１ａにキャピラリーチューブ２を介して接続されたハンドリング本体４と、ハンドリング本体４の内部に設けられ、真空吸着面１ａと連通するバッファタンク５と、バッファタンク５と真空源７とを接続するスパイラルキャピラリーチューブ６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハを出し入れする際の作業性を向上させたウエーハ収納ケースを提供する。
【解決手段】 下ケース１０と上ケース２０とを有し、下ケース１０と上ケース２０との間に形成される収納空間にウエーハＷを収納するウエーハ収納ケース１００であって、下ケース１０の外周の一部分から当該下ケース１０の収納空間下の部分にかけて、ピンセットＰの先端部を挿入可能な切欠き１が設けられている。このような構成であれば、下ケース１０と上ケース２０との間に形成される収納空間にウエーハＷを収納する際に、ウエーハＷを保持したピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることができる。また、上記収納空間からウエーハＷを取り出す際も、ピンセットＰの先端部を切欠き１内に潜り込ませることができる。 （もっと読む）

【課題】周囲に気体の排出を減少させ、そのため周囲のゴミの巻き上げなくすためクリーンルームにて使用が可能な、構造の簡略で、操作が簡易、装置の製造コストが低減化できる非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】対象物９を非接触で搬送する装置Ａであり、基部１の下方に開口するクッション室６の中央部に、上部が気体送入口２、下部がノズル５に通じる気管３を内部に設けた柱状の気体噴出部４を設ける。気体噴出部４の周囲に形成した対象物９と対向する平面部７に、気体噴出口４より噴出した排気を補足し、上方へ排出する排出口８を設けた。 （もっと読む）

【課題】 常時気体を噴出させることなく対象物を吸着させて、対象物に異物が付着することを防止することができ、さらに、位置ずれを防止することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 対象物８を吸着する吸着面１ａと、吸着面１ａ上に形成された気体流路５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄと、気体流路５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ内に気体を流通させる気体吹き出し口４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄと、吸着面１ａ上に形成された吸引口７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅとを備える。 （もっと読む）