【課題】パッド部に流れる過電流が抑制されてパッド部におけるＥＳＤ耐性が向上された半導体装置を提供する。
【解決手段】基板２上に第１の電位が与えられた第１のパッド８と、パッド８に電気的に接続された第１の導電層５が設けられている。基板２との間に少なくとも１層の第１の導電層５を挟んで第１の電位とは異なる第２の電位が与えられている第２のパッド１３が設けられているとともに、少なくとも１層の第２の導電層１０がパッド１３に電気的に接続されてパッド８，１３と基板２との間に設けられている。基板２上には、複数層の絶縁層４が積層されて設けられている。各絶縁層４は、パッド８および導電層５の少なくとも一方とパッド１３および導電層１０の少なくとも一方との間で容量絶縁膜となる。 （もっと読む）

本発明は、ボンディングパッドで発生する応力に対する強度を向上させることが可能な半導体装置を提供することを目的とする。本発明に係る半導体装置においては、半導体チップ上にボンディングパッド（１）が複数個設けられる。それぞれのボンディングパッド（１）においては、最上層の配線層を用いて形成された第１メタル（１１）の下に、ライン状の第２メタル（１２）が複数個設けられる。そして、上記目的を達成するために、ボンディングパッド（１）は、第２メタル（１２）の長手方向に並べて配設される。つまり、第２メタル（１２）の長手方向（Ｌ１）と、ボンディングパッド（１）の配列方向（Ｌ２）とが同じ方向になるように、ボンディングパッド（１）を並べて配設する。 （もっと読む）

【課題】半導体素子の局所的な温度上昇を防止することが可能な半導体集積回路を提供する。
【解決手段】放熱セル２は、発熱セル１に対して隣接して配置され、電源電位配線３又は接地電位配線４と同じ第１配線層に放熱部材６及び放熱部材７を備え、さらに放熱部材６及び放熱部材７は、ビア９を介して第２配線層８に接続される。発熱セル１で発生した熱は、電源配線３、接地配線４に伝導し、放熱部材６及び放熱部材７で放熱される。また、放熱部材６及び放熱部材７からビア９を介して第２配線層８に熱が伝導することにより、更に放熱を促進し、発熱セル１が局部的に高温になることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、多層構造の配線層に加わるパッケージの熱収縮による応力を効果的に緩和し、チップの保護膜であるパッシベーション膜のクラックの発生などを防止できる半導体装置を提供することである。
【解決手段】上記課題は、半導体基板１１上に層間絶縁膜１４を介して下層配線と１３上層配線１５とが形成される多層配線構造を備えた半導体装置において、層間絶縁膜１４の面積が広くとれるように該層間絶縁膜１４に開ける開口を小さくすることを特徴とする多層配線構造を備えた半導体装置にて解決される。 （もっと読む）

【課題】 機械的強度が強く、かつ、放熱性に優れた半導体装置を提供する。
【解決手段】 シリコン基板１０上に形成される配線層のうち、第１層から第３層を、コンタクト部１１及びビア１４ａ，１４ｂにタングステン、配線１３ａ〜１３ｃに銅をそれぞれ用いてシングルダマシン工程によって形成し、第４層から第６層を、ビア１５ａ〜１５ｃ及び配線１３ｄ〜１３ｆに銅を用いてデュアルダマシン工程によって形成し、かつ、第４層から第６層におけるビア１５ａ〜１５ｃの径を第１層から第３層におけるコンタクト部１１及びビア１４ａ，１４ｂの径の１２．９倍以上とする。 （もっと読む）