【課題】基板を搬送ローラにより搬送しながら、より安価に効率良く基板を冷却する。
【解決手段】冷却処理部１Ｃは、加熱処理後の基板Ｓを搬送ローラ１４により搬送しながら、この搬送ローラ１４により基板Ｓを冷却するように構成される。すなわち、基板Ｓを搬送ローラ１４により搬送しながらノズル２６により搬送ローラ１４の内部に常温の冷却水を散水し、この冷却水を前記搬送ローラ１４の有する熱により気化（蒸発）させて外部に排気することにより搬送ローラ１４を冷却し、これによって基板Ｓを冷却するようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送ローラにより基板を搬送しながら、効率良く基板面内に均一に冷却処理を施す。
【解決手段】冷却処理部１Ｃは、加熱処理後の基板Ｓを搬送しながら基板Ｓを冷却するものであり、中空に形成された複数の搬送ローラ１４と、隣接する搬送ローラ１４間に配設されて当該搬送ローラ１４に沿って延び、かつ搬送中の基板Ｓに対して冷気を吐出する冷気吐出部材１８と、各搬送ローラ１４の内部に冷気を供給する導入用配管２８等の冷気供給手段と、搬送ローラ１４に供給された冷気を冷気吐出部材１８に導入する連絡用配管３６等とを備えている。 （もっと読む）

【課題】露光装置に対する基板の搬送を効率的に行う。
【解決手段】露光装置１０への基板の搬入、及び露光装置１０からの基板の搬出を行う際に、基板が載置されたトレイを露光空間と基板交換位置との間で、移動機構５０により移動する。これにより、基板ホルダＰＨと投影光学系ＰＬとの間の露光空間が上下方向に狭い場合であっても、露光装置１０に対する基板の受渡を広い空間で行うことが可能となり、基板ホルダに対する基板の搬送を効率的に行うことが可能となる。 （もっと読む）